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本实用新型公开了一种可识别料片位置的取料设备，属于晶圆制造技术领域。本实用新型提供的取料设备，包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的待取料位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机...
该专利属于苏州科韵激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科韵激光科技有限公司授权不得商用。

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