一种样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及电镜配件技术领域，具体涉及一种样品台，包括样品安置组件、样品台本体、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台，样品安置组件、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台均安装在样品台本体上，针对现有电镜测量校准与样品雕刻台分离设置的技术问题，本实用新型专利技术突破了电镜测量校准与样品台集于一体的瓶颈。体的瓶颈。体的瓶颈。

【技术实现步骤摘要】
一种样品台


[0001]本技术涉及电镜配件
，具体涉及一种样品台。

技术介绍

[0002]电镜一般指电子显微镜。电子显微镜，简称电镜，英文名Electron Microscope(简称EM)，经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
[0003]电镜在进行电子束曝光雕刻前通常需要进行电子束的剂量测量、电镜分辨率测试以及校准电镜的放大倍数，然后再安装通用样品台对样品进行雕刻，当一个样品雕刻完成后，工作人员需要将通用样品台取下，再次对电镜进行测量以及校准一系列操作，此过程增加工作人员的工作负荷的同时，降低了样品雕刻的效率，且目前通用样品台只能安装设定规格的待雕刻样品，当待雕刻样品的规格发生变化时，则需更换相应的通用样品台，降低了样品雕刻的效率。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术中的缺点，提供了一种样品台，具有提高样品雕刻效率的优点，突破了电镜测量校准与样品台集于一体的瓶颈。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决：
[0006]一种样品台，包括样品安置组件、样品台本体、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台，所述样品安置组件、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台均安装在样品台本体上。
[0007]可选的，所述样品台本体包括雕刻样品放置区和电镜调节区，所述雕刻样品放置区的高度高于电镜调节区的高度。
[0008]可选的，所述放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台均安装在电镜调节区。
[0009]可选的，所述样品安置组件安装在雕刻样品放置区。
[0010]可选的，所述样品安置组件包括定位机构和压紧机构，所述定位机构和压紧机构均安装在雕刻样品放置区。
[0011]可选的，所述定位机构的高度高于所述放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台的高度。
[0012]可选的，所述定位机构包括定位件一和定位件二，所述定位件一与定位件二垂直。
[0013]可选的，所述压紧机构包括两组压紧件一和压紧件二，两组所述压紧件一平行设置，且两组所述压紧件一与定位件二垂直设置，所述压紧件二与定位块一垂直设置。
[0014]可选的，所述定位件一靠近压紧件一的一侧面开设有凹槽。
[0015]可选的，所述定位件二靠近压紧件二的一侧面开设有凹槽。
[0016]采用本技术提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
[0017]通过在样品台本体上增设放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台，实现电镜
在样品台本体上既可进行电镜测量，又可进行样品雕刻操作，降低工作人员的工作负荷，提高样品的雕刻效率，同时样品台本体上设置压紧件一和压紧件二，使得样品台本体上能安装不同规格的样品。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术实施例提出的一种样品台的结构图；
[0020]图2为本技术实施例提出的一种样品台的凹槽位置结构图。
[0021]附图标记：1、样品台本体；2、放大倍数校准台；3、法拉第杯；4、分辨率测量台；5、雕刻样品放置区；6、电镜调节区；7、定位机构；8、压紧机构；9、定位件一；10、定位件二；11、压紧件一；12、压紧件二；13、凹槽；14、安装孔。
具体实施方式
[0022]下面结合实施例对本技术做进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0023]如图1所示，一种样品台，包括样品安置组件、样品台本体1、放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4，样品安置组件、放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4均安装在样品台本体1上，样品台本体1的侧壁上设置有若干安装孔14。
[0024]工作人员在对样品进行雕刻时，首先将样品台本体1通过安装孔14安装在电镜上，然后通过电镜控制样品台本体1转动。
[0025]当工作人员需要测量电镜的电子束的剂量时，转动样品台本体1，使法拉第杯3位于电镜的电子束发射口的正下方，从而通过法拉第杯3测量电子束的剂量；
[0026]当工作人员需要测量电镜的分辨率时，工作人员先将某一分辨率的标准样品安装在分辨率测量台4上，然后转动样品台本体1，使分辨率测量台4位于电镜的镜口的正下方，从电镜进行分辨率的调节，且工作人员可根据实际需求，更换不同分辨率的标准样品，并安装在分辨率测量台4上，供电镜调节其分辨率。
[0027]当工作人员需要调节电镜的放大倍数时，工作人员先将某一放大倍数的标准样品安装在放大倍数校准台2上，然后转动样品台本体1，使放大倍数校准台2位于电镜光轴的正下方，从而电镜根据标准样品进行调节放大倍数，使得电镜能够清晰地看到该放大倍数的样品，且工作人员可根据实际需求，更换不同放大倍数的标准样品。
[0028]样品台本体1包括雕刻样品放置区5和电镜调节区6，雕刻样品放置区5的高度高于电镜调节区6的高度，放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4均安装在电镜调节区6，且雕刻样品放置区5的上端面与放大倍数校准台2、法拉第杯3以及分辨率测量台4的上端面在同一水平面上，样品安置组件安装在雕刻样品放置区5。
[0029]当电镜的分辨率和电子束的剂量测量完成，并完成电镜放大倍数的校准后，工作人员将需要雕刻的样品放置在雕刻样品放置区5上，并通过样品安置件进行位置固定和压
紧。
[0030]样品安置组件包括定位机构7和压紧机构8，定位机构7和压紧机构8均安装在雕刻样品放置区5，定位机构7的高度高于放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4的高度。
[0031]通过设定定位机构7的高度位置与放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4的高度位置的高度差，使得电镜在对样品进行雕刻时，通过定位机构7对放大倍数校准台2、法拉第杯3和分辨率测量台4起一定程度的隔离，防止电子束在放大倍数校准台2上校准时、法拉第杯3上测量电子束剂量时以及在分辨率测量台4测量时，不会对雕刻样品放置区5上的样品产生损坏。
[0032]如图2所示，压紧机构8包括两组压紧件一11和压紧件二12，定位机构7包括定位件一9和定位件二10，定位件一9与定位件二10垂直，定位件一9靠近压紧件一11的一侧面开设有凹槽13，定位件二10靠近压紧件二12的一侧面开设有凹槽13。
[0033]需要雕刻的样品均为规则的方形形状，工作人员在放置需要雕刻的样品时，首先将样品的放置在定位件一9和定位件二10所形成的垂直空间内，且需要雕刻的样品的两条边分别位于定位件一9和定位件二10的凹槽13内，从而通过凹槽13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品台，其特征在于，包括样品安置组件、样品台本体、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台，所述样品安置组件、放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台均安装在样品台本体上，所述样品台本体包括雕刻样品放置区和电镜调节区，所述雕刻样品放置区的高度高于电镜调节区的高度。2.根据权利要求1所述的一种样品台，其特征在于，所述放大倍数校准台、法拉第杯和分辨率测量台均安装在电镜调节区。3.根据权利要求1所述的一种样品台，其特征在于，所述样品安置组件安装在雕刻样品放置区。4.根据权利要求1所述的一种样品台，其特征在于，所述样品安置组件包括定位机构和压紧机构，所述定位机构和压紧机构均安装在雕刻样品放置区。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王义林，秦姗，周睿，
申请(专利权)人：镇江乐华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：