一种低耗高保温退火加热炉制造技术

本实用新型专利技术涉及加热炉技术领域，具体的说是一种低耗高保温退火加热炉，包括安装基座，所述安装基座上设置有曝气结构，所述曝气结构包括操作柜，所述安装基座与操作柜固定连接，所述操作柜内滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有弹簧，所述弹簧与操作柜固定连接，所述活动板上固定连接有连接架，所述连接架与操作柜和安装基座滑动连接，所述连接架抵触于旋转块，所述旋转块固定连接于电机上，所述操作柜上设置有出气结构和进气结构，所述出气结构包括出气管，所述操作柜与出气管固定连接，所述进气结构包括进气管，所述操作柜上固定连接有进气管；进行充氧，保证煤气燃烧时的氧气浓度，使得煤气燃烧充分，能耗较低，适用性较高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种低耗高保温退火加热炉


[0001]本技术涉及一种退火加热炉，具体为一种低耗高保温退火加热炉，属于加热炉


技术介绍

[0002]退火加热炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，退火加热炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火加热炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，传统的退火加热炉能耗较高。
[0003]退火加热炉在使用过程中，需要先进行加热处理，目前市场上常见的煤气退火炉在实际使用过程中，经常会因为氧气较少，从而出现煤气燃烧不充分，造成资源浪费，能耗较高，适用性较低的情况。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种低耗高保温退火加热炉，进行充氧，保证煤气燃烧时的氧气浓度，使得煤气燃烧充分，能耗较低，适用性较高。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种低耗高保温退火加热炉，包括安装基座，所述安装基座上设置有曝气结构，所述曝气结构包括操作柜，所述安装基座与操作柜固定连接，所述操作柜内滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有弹簧，所述弹簧与操作柜固定连接，所述活动板上固定连接有连接架，所述连接架与操作柜和安装基座滑动连接，所述连接架抵触于旋转块，所述旋转块固定连接于电机上，所述操作柜上设置有出气结构和进气结构，所述出气结构包括出气管，所述操作柜与出气管固定连接，所述进气结构包括进气管，所述操作柜上固定连接有进气管。
[0006]优选的，所述进气管与两个进气罩固定连接，所述进气罩通过进气管与操作柜相互连通。
[0007]优选的，所述进气管和出气管上均设置有单向阀，所述出气管与出气罩固定连接，所述操作柜通过出气管与出气罩相互连通，所述出气罩上设置有若干个出气喷头。
[0008]优选的，所述电机与安装基座固定连接，所述安装基座上固定连接有放置柜，所述放置柜与操作柜固定连接，所述放置柜与进气罩固定连接。
[0009]优选的，所述操作柜上固定连接有限位杆，所述限位杆与活动板滑动连接。
[0010]优选的，所述弹簧缠绕于限位杆上，所述安装基座上设置有加热结构，所述加热结构包括出火罩，所述出火罩与安装基座固定连接。
[0011]优选的，所述出火罩上设置有煤气加热器本体，所述煤气加热器本体与安装基座固定连接。
[0012]优选的，所述煤气加热器本体上安装有传输管，所述放置柜上设置有保温层，所述保温层上设置有耐热耐磨层。
[0013]优选的，所述连接架设置为L形，所述旋转块设置为椭圆形。
[0014]优选的，所述出气罩设置为圆环形，所述进气罩上设置有过滤网。
[0015]本技术的有益效果是：当工作人员使用该退火加热炉时，打开电机，电机带动旋转块进行旋转，在弹簧的配合下，使得旋转块驱动连接架进行移动，连接架带动活动板在操作柜内进行移动时，操作柜通过进气管对外界的空气进行吸附，再在活动板的作用下，将吸附进的空气，通过出气管转移到该退火加热炉内，从而达到充氧的效果，使得煤气燃烧的更加充分，降低能耗，提高该退火加热炉的适用性。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为图1所示的安装基座和放置柜的连接结构示意图；
[0018]图3为图2所示的安装基座和操作柜的连接结构示意图；
[0019]图4为图2所示的出气罩的结构示意图。
[0020]图中：1、安装基座，2、曝气结构，21、操作柜，22、活动板，23、弹簧，24、连接架，25、旋转块，26、电机，3、出气结构，31、出气管，32、出气罩，33、出气喷头，4、进气结构，41、进气管，42、进气罩，43、过滤网，5、限位杆，6、加热结构，61、出火罩，62、煤气加热器本体、63、传输管，7、保温层，8、隔热耐磨层，9、放置柜。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4所示，一种低耗高保温退火加热炉，包括安装基座1，所述安装基座1上设置有曝气结构2，所述曝气结构2包括操作柜21，所述安装基座1与操作柜21固定连接，所述操作柜21内滑动连接有活动板22，所述活动板22上固定连接有弹簧23，所述弹簧23与操作柜21固定连接，所述活动板22上固定连接有连接架24，所述连接架24与操作柜21和安装基座1滑动连接，所述连接架24抵触于旋转块25，所述旋转块25固定连接于电机26上，所述操作柜21上设置有出气结构3和进气结构4，所述出气结构3包括出气管31，所述操作柜21与出气管31固定连接，所述进气结构4包括进气管41，所述操作柜21上固定连接有进气管41。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，所述进气管41与两个进气罩42固定连接，所述进气罩42通过进气管41与操作柜21相互连通，通过设置进气罩42，提高操作柜21对空气的汇集能力。
[0024]作为本技术的一种技术优化方案，所述进气管41和出气管31上均设置有单向阀，所述出气管31与出气罩32固定连接，所述操作柜21通过出气管31与出气罩32相互连通，所述出气罩32上设置有若干个出气喷头33，通过设置出气喷头33，使得操作柜21对汇集而来的空气进行排放时，能排放的更加均匀，从而保证煤气与氧气充分接触，降低该退火加热炉的能耗。
[0025]作为本技术的一种技术优化方案，所述电机26与安装基座1固定连接，所述安装基座1上固定连接有放置柜9，所述放置柜9与操作柜21固定连接，所述放置柜9与进气罩42固定连接，通过将电机26与安装基座1固定连接，使得电机带动活动板22进行移动时，更加稳定，保证该退火加热炉的安全性。
[0026]作为本技术的一种技术优化方案，所述操作柜21上固定连接有限位杆5，所述限位杆5与活动板22滑动连接，通过设置限位杆5，使得活动板22进行移动时，更加稳定。
[0027]作为本技术的一种技术优化方案，所述弹簧23缠绕于限位杆5上，所述安装基座1上设置有加热结构6，所述加热结构6包括出火罩61，所述出火罩61与安装基座1固定连接，通过设置出火罩61，对火焰提供一定的限制作用，防止火焰对出气罩32造成损坏。
[0028]作为本技术的一种技术优化方案，所述出火罩61上设置有煤气加热器本体62，所述煤气加热器本体62与安装基座1固定连接，通过设置煤气加热器本体62，保证该退火加热炉能正常进行退火处理。
[0029]作为本技术的一种技术优化方案，所述煤气加热器本体62上安装有传输管63，所述放置柜9上设置有保温层7，所述保温层7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低耗高保温退火加热炉，包括安装基座(1)，其特征在于：所述安装基座(1)上设置有曝气结构(2)，所述曝气结构(2)包括操作柜(21)，所述安装基座(1)与操作柜(21)固定连接，所述操作柜(21)内滑动连接有活动板(22)，所述活动板(22)上固定连接有弹簧(23)，所述弹簧(23)与操作柜(21)固定连接，所述活动板(22)上固定连接有连接架(24)，所述连接架(24)与操作柜(21)和安装基座(1)滑动连接，所述连接架(24)抵触于旋转块(25)，所述旋转块(25)固定连接于电机(26)上，所述操作柜(21)上设置有出气结构(3)和进气结构(4)，所述出气结构(3)包括出气管(31)，所述操作柜(21)与出气管(31)固定连接，所述进气结构(4)包括进气管(41)，所述操作柜(21)上固定连接有进气管(41)。2.根据权利要求1所述的一种低耗高保温退火加热炉，其特征在于：所述进气管(41)与两个进气罩(42)固定连接，所述进气罩(42)通过进气管(41)与操作柜(21)相互连通。3.根据权利要求2所述的一种低耗高保温退火加热炉，其特征在于：所述进气管(41)和出气管(31)上均设置有单向阀，所述出气管(31)与出气罩(32)固定连接，所述操作柜(21)通过出气管(31)与出气罩(32)相互连通，所述出气罩(32)上设置有若干个出气喷头(33)。4.根据权利要求1所述的一种低...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾建伟，
申请(专利权)人：广东润鑫实业投资有限公司，
类型：新型
国别省市：