有源矩阵显示装置及其制造方法制造方法及图纸

有源矩阵显示装置包括穿过密封材料的连接配线。连接配线夹在无机层间绝缘膜和有机平坦化膜之间。选择性地移除密封区域处的有机膜，从而形成暴露无机膜的开口部分，并用密封材料填充。密封材料在开口部分的底部接触下层的无机层间绝缘膜，以增加粘结强度。

【技术实现步骤摘要】
有源矩阵显示装置及其制造方法
本专利技术涉及一种有源矩阵显示装置及其制造方法。更具体地说，本专利技术涉及一种组成有源矩阵显示装置的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。
技术介绍
近年来，有源矩阵液晶显示装置广泛用作高分辨率的显示器，薄膜晶体管(TFT)用作有源矩阵液晶显示装置中像素的开关元件。例如日本待审专利No.Hei06-258661中公开了这种有源矩阵液晶显示器的一个例子。将参照图1和2描述该使用TFT的常规有源矩阵液晶显示装置。图1是显示常规有源矩阵液晶显示装置大致构造的示意性透视图。图2是显示沿图1中的II-II线的结构的横截面图。如图1中所示，有源矩阵液晶显示装置200包括其中以矩阵设置的每个像素设置有TFT的薄膜晶体管阵列基板151(之后称作“TFT基板”)，和面对TFT基板151设置的对向基板152。在基板之间夹持有液晶层(没有示出)。在TFT基板151上设置有矩阵地设置像素的显示区域142和包围显示区域142的密封区域130A。在密封区域130A的外部设置水平驱动器143和垂直驱动器144，其通过连接配线108A均连接到显示区域142上的TFT。在TFT基板151的一端上设置有用于将有源矩阵液晶显示装置200连接到外部电路或器件的连接端子145。TFT基板151和对向基板152用设置在密封区域130A上的密封材料130粘结在一起。在该类的液晶显示装置中，为了消除液晶分子的较差取向并为了提高对比度，将TFT基板151的表面变平坦是很重要的。因而，在TFT-->基板151上形成有由有机材料，如丙烯酸树脂或环氧树脂制成的平坦化膜。使用该平坦化膜，由TFT基板151表面上存在的TFT组件(如，多晶硅膜，栅极电极和配线)产生的水平差被平化。关于该点，密封区域130A也设置有平坦化膜110，如图2中所示。连接配线108A也覆盖有平坦化膜110，所述连接配线108A形成在其中形成有显示区域的互连线的层中。密封材料130接触具有平滑表面的平坦化膜110。在便携式电话和便携式终端中使用的液晶显示装置中，近年来非常希望减小框架宽度(即，从显示区域142的边缘到基板边缘的区域)，以实现装置的小型化。为了减小框架宽度，减小显示区域142周围涂敷有密封材料130的密封区域130A是很重要的。同时，如果TFT基板151和对向基板152微弱地粘结在一起，两个基板会被振动分离。湿气或其它的杂质会通过通路进入液晶层，液晶显示装置的可靠性就下降了。为此，在TFT基板151和对向基板152之间需要很高的粘结强度。在常规的液晶显示装置中，如上所述在TFT基板151上形成有平坦化膜110。然后在平滑表面的平坦化膜110上设置密封材料130。平坦化膜110与密封材料130之间的粘结强度，或平坦化膜110与其下面的绝缘膜之间的粘结强度小于密封材料130与无机绝缘膜之间的粘结强度，或无机绝缘膜之间的粘结强度。因而，存在一个问题，即不能获得密封区域130A宽度的减小，因为使用有机平坦化膜110的结构在粘结强度方面是很弱的。为了增加有机平坦化膜110与TFT基板中其它组件的粘结强度，可移除密封区域中连接配线108A上的平坦化膜110，以使连接配线108A与密封材料130接触。然而在该结构中，暴露了连接配线108A，因而容易被腐蚀。-->在另一个方法中，部分地移除密封区域130A上的平坦化膜110，以使无机绝缘膜与密封材料130接触。然而实现该结构需要额外的工序，在该工序中仅仅选择性地移除平坦化膜110，由此增加了制造成本。
技术实现思路
鉴于前面的问题完成了本专利技术，并提供了一种有源矩阵显示装置及其制造方法，其能增加TFT基板与对向基板之间的粘结强度并能在不使制造工序增加和降低可靠性的情况下减小框架宽度。本专利技术的有源矩阵型显示器通过用密封材料将第一基板粘结到与第一基板相对的第二基板来构成。第一基板包括其中矩阵地设置有像素的显示区域和围绕显示区域周围设置密封材料的密封区域。第一基板包括形成在密封区域外部并用穿过密封区域的连接互连线与显示区域连接的电路单元。在第一基板的密封区域中至少包括连接配线下面的无机绝缘膜和连接配线上面的有机绝缘膜。除形成有连接配线的区域之外，部分地从密封区域移除有机绝缘膜，从而形成开口部分。所述开口部分被密封材料填充。密封材料与暴露在开口底部的无机绝缘膜接触。在上述本专利技术的有源矩阵显示装置中，开口部分至少形成在相邻连接配线之间的区域中。在上述本专利技术的有源矩阵显示装置中，所述有机绝缘膜是用于将第一基板表面平坦化的平坦化膜。在上述本专利技术的有源矩阵显示装置中，从开口部分的底部暴露出虚图案，所述虚图案形成在形成有连接配线的层中，从而与密封材料接触。所述虚图案由从金属材料和无机材料选择的材料形成。所述虚-->图案至少形成在相邻连接配线之间的区域中。依照本专利技术，虚图案从设置在密封区域中的开口部分暴露出来并与密封材料接触，所述虚图案形成在连接配线和可比有机绝缘膜更强地粘附到密封材料的无机绝缘膜的层中。此外，密封区域上存在粗糙性增加了密封材料接触的面积。因而，增加了TFT基板与对向基板之间的粘结强度。因此在本专利技术中，可通过减小密封材料的宽度获得最小化的液晶显示装置的框架。此外，因为在本专利技术中除了形成连接配线的区域之外移除了平坦化膜，所以可阻止由连接配线的腐蚀造成的可靠性的降低。而且，因为与显示区域中接触孔的形成同时执行平坦化膜的移除，所以也阻止了制造成本的增加。附图说明当结合附图时，本专利技术上面的和其它的目的，特征和优点将从下面的详细描述变得更加清楚，其中：图1是显示常规液晶显示装置构造的示意性透视图；图2是显示沿图1中II-II线的密封区域结构的横截面图；图3是显示依照本专利技术第一个实施方案的有源矩阵液晶显示装置结构的示意性平面图；图4是显示依照本专利技术第一个实施方案的有源矩阵液晶显示装置TFT基板结构的横截面图，示出了显示区域中TFT附近的情形。图5是显示沿图3中I-I线的TFT基板结构的横截面图，显示了密封区域中连接配线附近的情形；图6A和6B是每个都显示依照本专利技术第一个实施方案的开口部分结构变化的横截面图；图6C和6D是每个都显示依照本专利技术第一个实施方案的开口部分结构变化的平面图；图7A和7B是每个都显示依照本专利技术第一个实施方案的开口部分结构变化的平面图；图8A到8D是显示依照本专利技术第一个实施方案的有源矩阵液晶-->显示装置的TFT基板结构和制造工序的横截面图；图9是显示依照本专利技术第一个实施方案的有源矩阵液晶显示装置的对向基板结构的横截面图；和图10是显示依照本专利技术第二个实施方案的有源矩阵液晶显示装置的TFT基板结构的横截面图，显示了密封区域中连接配线附近的情形。具体实施方式将根据实施方案描述本专利技术的有源矩阵液晶显示装置的优选实施方案。(第一个实施方案)将首先参照图3到9描述依照本专利技术第一个实施方案的有源矩阵液晶显示装置及其制造方法。如图3中所示，有源矩阵液晶显示装置100包括其中形成有开关元件(如TFT)的TFT基板51和面对TFT基板51设置的对向基板52。这些基板用密封材料30粘结在一起。液晶材料(没有示出)放置在密封材料30包围的区域中。TFT基板51包括其中矩阵地形成有像素的显示区域，和电路单元，如水平驱动器43和垂直驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有源矩阵显示装置，包括：第一基板，其具有形成显示区域的矩阵地设置的像素；第二基板，其通过使用密封材料粘结到第一基板，从而围绕显示区域设置密封区域；形成在第一基板上的一组连接配线，其穿过密封材料，以致连接配线的一端 与像素连接，其另一端位于密封材料的外部；设置在连接配线下面的无机绝缘膜；和设置在连接配线上的有机绝缘膜，在密封区域处选择性地移除该有机绝缘膜，从而除了连接配线上面的区域之外，形成填充有密封材料的开口部分。

【技术特征摘要】
JP 2004-12-24 2004-3743291.一种有源矩阵显示装置，包括：第一基板，其具有形成显示区域的矩阵地设置的像素；第二基板，其通过使用密封材料粘结到第一基板，从而围绕显示区域设置密封区域；形成在第一基板上的一组连接配线，其穿过密封材料，以致连接配线的一端与像素连接，其另一端位于密封材料的外部；设置在连接配线下面的无机绝缘膜；和设置在连接配线上的有机绝缘膜，在密封区域处选择性地移除该有机绝缘膜，从而除了连接配线上面的区域之外，形成填充有密封材料的开口部分。2.根据权利要求1所述的有源矩阵显示装置，其中开口部分至少形成在相邻连接配线之间的区域中。3.根据权利要求1所述的有源矩阵显示装置，其中所述无机绝缘膜从开口部分底部暴露出来，从而与密封材料接触。4.根据权利要求1所述的有源矩阵显示装置，其中所述有机绝缘膜是用于将第一基板表面平坦化的平坦化膜。5.根据权利要求1所述的有源矩阵显示装置，其中从开口部分的底部暴露出形成在形成有连接配线的层中的虚图案，从而与密封材料接触。6.根据权利要求5所述的有源矩阵显示装置，其中所述虚图案由从金属材料和无机材料选择的材料形成。7.根据权利要求5所述的有源矩阵显示装置，其中所述虚图案-->至少形成在相邻连接配线之间的区域中。8.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉永一秀，
申请(专利权)人：NEC液晶技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]