FBAR阶梯型结构滤波器及滤波器组件制造技术

本实用新型专利技术涉及滤波技术领域，提供了一种FBAR阶梯型结构滤波器和滤波器组件。该FBAR阶梯型结构滤波器包括输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；多个串臂谐振器包括依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器至第六谐振器；多个并臂谐振器包括第七谐振器、第八谐振器和第九谐振器，第七谐振器的一端连接在第一谐振器和第二谐振器之间，第八谐振器的一端连接在第三谐振器和第四谐振器之间，第九谐振器的一端连接在第五谐振器和第六谐振器之间，第七谐振器、第八谐振器和第九谐振器的另一端均连接接地端。上述FBAR阶梯型结构滤波器提供FBAR滤波器的一种新型结构。结构。结构。

【技术实现步骤摘要】
FBAR阶梯型结构滤波器及滤波器组件


[0001]本技术属于滤波
，具体涉及一种FBAR阶梯型结构滤波器及滤波器组件。

技术介绍

[0002]近年来，随着5G无线通信技术的不断发展，通过利用更高频段以及频段重组来实现移动通信，这对相关射频元器件的微型化、高频带宽化、集成化及柔性化提出了越来越高的要求。
[0003]薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)滤波器凭借其尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，正逐步取代传统的声表面波滤波器和陶瓷滤波器，在射频滤波器领域占有越来越大的市场份额，在5G无线通信射频领域发挥着巨大作用。
[0004]然而现有对FBAR滤波器的研究大多集中在制备方法上，对FBAR滤波器的具体结构的研究较少。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种FBAR阶梯型结构滤波器及滤波器组件，旨在提供一种FBAR滤波器的新型结构。
[0006]第一方面，本技术实施例提供一种中心频率为1700MHz的FBAR阶梯型结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FBAR阶梯型结构滤波器，其特征在于，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；所述多个串臂谐振器包括依次串联连接在所述输入端和所述输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器和第六谐振器；所述多个并臂谐振器包括第七谐振器、第八谐振器和第九谐振器，所述第七谐振器的一端连接在所述第一谐振器和所述第二谐振器之间，所述第八谐振器的一端连接在所述第三谐振器和所述第四谐振器之间，所述第九谐振器的一端连接在所述第五谐振器和所述第六谐振器之间，所述第七谐振器、所述第八谐振器和所述第九谐振器的另一端均连接所述接地端；所述第一谐振器、所述第三谐振器和所述第五谐振器的中心位于第一直线上，所述第二谐振器、所述第四谐振器和所述第六谐振器的中心位于第二直线上，所述第一直线和所述第二直线平行，且所述第一谐振器至所述第六谐振器中相邻的任意三个谐振器的中心连线均构成V字型，相邻两个V字型的开口朝向相反，且各个V字型的开口角度小于90
°
。2.如权利要求1所述的FBAR阶梯型结构滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器中的各个谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，所述多个并臂谐振器中的各个谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。3.如权利要求1或2所述的FBAR阶梯型结构滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器的串联谐振频率和所述多个并臂谐振器的并联谐振频率相同。4.如权利要求1所述的FBAR阶梯型结构滤波器，其特征在于，所述第一谐振器的面积为26000
±
50μm2，所述第二谐振器和所述第三谐振器的面积均为25000
±
50μm2，所述第四谐振器和所述第五谐振器的面积均为28000
±
50μm2，所述第六谐振器的面积为27000
±
50μm2，所述第七谐振器的面积为37000
±
50μm2，所述第八谐振器和所述第九谐振器的面积均为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宏军，李丽，张仕强，王胜福，李亮，梁东升，韩易，胡占奎，李明武，李少君，刘庆，王艳玲，李瑞茹，朱会莲，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：新型
国别省市：