一种药液冷却回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及冷却设备技术领域，公开了一种药液冷却回收装置，包括冷却箱和若干废液桶，冷却箱上设有进液管和出液管，出液管上安装有电磁阀，出液管的出液端朝向废液桶，还包括用于更换废液桶的轮换机构，轮换机构包括底盘和转盘，转盘转动连接于底盘上，废液桶设置于转盘上。本实用新型专利技术通过设置轮换机构，当需要更换废液桶时，只需转动转盘便能够达到更换新的废液桶的目的，不仅省时省力，还能够降低废液溅在工作人员身上的风险。废液溅在工作人员身上的风险。废液溅在工作人员身上的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种药液冷却回收装置


[0001]本技术涉及冷却设备
，尤其涉及一种药液冷却回收装置。

技术介绍

[0002]在芯片的生产过程中，成型晶圆的表面会残留光刻胶和金属等杂质。为了提高晶圆的质量，通常将晶圆放入装满高温药液的金属剥离清洗机内浸泡处理，然后经过一系列水洗动作去除晶圆表面的光刻胶和金属等杂质。在高温药液作用一段时间或者作用大量的晶圆后，药液会逐渐失效，需要将药液排出更换新的药液。但是失效后的废液通常具有较高的温度，并且会和一些有机物质发生反应，不宜直接排出。目前技术人员通常先将高温废液通入冷却箱中冷却一段时间，然后再排入废液桶中收集起来集中处理。
[0003]但是由于一次性处理的废液较多，在将废液从冷却装置排入废液桶的过程中，需要及时更换新的废液桶，防止废液从废液桶中溢出，污染其他的设备。而更换废液桶时，需要工作人员先将装满废液的废液桶提开，再将新的废液桶移过来继续装废液，此过程费时费力。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种药液冷却回收装置，解决了
技术介绍
中更换废液桶费时费力的问题。
[0005]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0006]一种药液冷却回收装置，包括冷却箱和若干废液桶，所述冷却箱上设有进液管和出液管，所述出液管上安装有电磁阀，所述出液管的出液端朝向废液桶，还包括用于更换废液桶的轮换机构，所述轮换机构包括底盘和转盘，所述转盘转动连接于底盘上，所述废液桶设置于转盘上。
[0007]通过采用上述方案，当废液桶装满需要更换新的废液桶时，首先关闭电磁阀，然后转动转盘，转盘带动所有废液桶围绕转盘转动，将新的废液桶置于出液管下，然后打开电磁阀即可，不仅省时省力，还能够降低废液溅在工作人员身上的风险。
[0008]进一步，所述底盘包括安装底板和环形滑轨，所述安装底板上安装有电机，所述环形滑轨设置于安装底板的外围，所述环形滑轨与安装底板之间固定有连接板；所述转盘包括转动板和若干用于放置废液桶的承载板，所述转动板与电机的输出轴固定，所述承载板设置于转动板的外围，所述承载板与转动板之间固定有连接杆，所述承载板的底部安装有滑轮，所述滑轮安装于环形滑轨内。
[0009]通过采用上述方案，电机能够带动整个转盘平稳地转动，顺利更换废液桶，降低废液因废液桶摇晃而溅出的几率，同时也更加省力。
[0010]进一步，所述承载板上设有凸起，所述废液桶的底部开设有与凸起相适配的凹槽。
[0011]通过采用上述方案，档凸起嵌入凹槽内时，废液桶能够更加稳定地放置在承载板上，进一步降低废液桶晃动的几率，从而降低废液溅出的几率。
[0012]进一步，所有所述废液桶呈圆周阵列结构，且每两个相邻所述废液桶的外壁相互接触。
[0013]通过采用上述方案，相邻废液桶之间能够无缝衔接，既能够加快更换废液桶的效率，同时也能够在更换废液桶时，降低出液管内残留的废液滴到地上或者轮换机构上的几率。
[0014]进一步，还包括用于判断废液桶是否装满的判断机构和用于自动更换废液桶的控制机构，所述判断机构包括横杆、立杆和浮球，所述横杆转动安装于冷却箱上，所述立杆与横杆垂直固定，所述浮球固定于立杆远离横杆的一端，所述浮球悬浮于废液桶内；所述控制机构包括控制器、压力传感器和压板，所述控制器和压力传感器均安装于冷却箱上，所述压板固定于横杆上，所述压力传感器位于压板的运动轨迹上，所述压力传感器、冷却箱、电磁阀和电机均与控制器电连接。
[0015]通过采用上述方案，当废液桶内装入废液后，浮球受到浮力将会上浮，从而通过立杆和横杆带动压板转动；当废液桶内的废液快要装满时，压板运动到压力传感器处，压力传感器受压后将废液桶装满的信息传送给控制器，然后控制器就会控制电磁阀关闭并启动电机，当下一个新的废液桶转动到出液管下侧时，电机停止转动，浮球也受到重力而复位，从而带动压板脱离压力传感器，此时，控制器控制电磁阀重新开启，继续往新的废液桶内排入废液。
[0016]进一步，所述冷却箱上固定有档杆，所述档杆位于横杆的正下方，所述压板抵靠在档杆上靠近压力传感器的一侧。
[0017]通过采用上述方案，当压板抵靠在档杆上时，立杆和压板都会相对于水平面倾斜，整个判断机构将会形成一个转动的趋势，使得浮力上浮时能够带动整个判断机构顺利转动；因为当立杆与水平面垂直时，冷却箱给横杆的阻力有可能会与废液给浮球的浮力达到平衡，导致整个判断机构不会发生转动，而事先就给判断机构一个转动的趋势，将会打破这种平衡，使得判断机构能够顺利转动。
[0018]本技术的有益效果：
[0019]1、本技术通过设置轮换机构，当需要更换废液桶时，只需转动转盘便能够达到更换新的废液桶的目的，不仅省时省力，还能够降低废液溅在工作人员身上的风险。
[0020]2、本技术通过判断机构和控制机构的相互配合，能够准确判断出废液桶是否装满废液，并在废液桶装满废液时，及时关闭电磁阀并启动电机，达到自动更换废液桶的目的，省时省力，提高工作效率。
附图说明
[0021]图1是本技术的结构示意图；
[0022]图2是本技术中轮换机构的爆炸结构示意图；
[0023]图3是本技术中轮换机构的爆炸结构示意图；
[0024]图4是本技术中废液桶的结构示意图；
[0025]图5是本技术中为展示控制机构的结构示意图。
[0026]图中：1、冷却箱；11、支撑架；12、进液管；13、出液管；14、电磁阀；15、轴承；16、档杆；2、废液桶；21、凹槽；3、轮换机构；31、底盘；311、安装底板；312、环形滑轨；313、连接板；
32、转盘；321、转动板；322、承载板；323、插接孔；324、滑轮；325、连接杆；326、凸起；33、电机；4、判断机构；41、横杆；42、立杆；43、浮球；5、控制机构；51、控制器；52、压力传感器；53、压板。
具体实施方式
[0027]以下将结合附图1
‑
图5对本技术进行详细说明：
[0028]实施例：一种药液冷却回收装置，如图1所示，包括冷却箱1和六个上侧敞口的废液桶2，冷却箱1的底部通过螺栓固定有支撑架11，冷却箱1的上端连通有进液管12，进液管12用于将金属剥离清洗机中的高温废液导入到冷却箱1内，冷却箱1的右侧连通有出液管13，出液管13上安装有控制出液管开闭的电磁阀14，出液管13的出液端朝向其中一个废液桶2的敞口端；还包括用于更换废液桶2的轮换机构3，轮换机构3包括底盘31和转盘32，转盘32转动连接于底盘31上，六个废液桶2呈圆周阵列结构放置于转盘32上，并且每两个相邻的废液桶2的外壁相互接触。
[0029]如图2和图3所示，底盘31包括圆形的安装底板311和环形滑轨312，安装底板311上通过螺栓安装有电机33，电机33的输出轴朝上并垂直于安装底板311，环形滑轨312设置于安装底板311的外围，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液冷却回收装置，包括冷却箱和若干废液桶，所述冷却箱上设有进液管和出液管，所述出液管上安装有电磁阀，所述出液管的出液端朝向废液桶，其特征在于：还包括用于更换废液桶的轮换机构，所述轮换机构包括底盘和转盘，所述转盘转动连接于底盘上，所述废液桶设置于转盘上。2.根据权利要求1所述的一种药液冷却回收装置，其特征在于：所述底盘包括安装底板和环形滑轨，所述安装底板上安装有电机，所述环形滑轨设置于安装底板的外围，所述环形滑轨与安装底板之间固定有连接板；所述转盘包括转动板和若干用于放置废液桶的承载板，所述转动板与电机的输出轴固定，所述承载板设置于转动板的外围，所述承载板与转动板之间固定有连接杆，所述承载板的底部安装有滑轮，所述滑轮安装于环形滑轨内。3.根据权利要求2所述的一种药液冷却回收装置，其特征在于：所述承载板上设有凸起，所述废液桶的底部开设有与凸起相适配的凹槽。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：金龙，成飞，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：