一种通气流量控制箱及气体通气系统技术方案

技术编号:31909931 阅读:31 留言:0更新日期:2022-01-15 12:49
本实用新型专利技术提供一种通气流量控制箱及气体通气系统,包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关,送气控制装置设于安装装置的进气孔端,用于控制气体沿气路输送;开关设于安装装置的出气孔端,用于控制气体输送时的气路的打开与关闭;送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置与开关沿着气体流动的方向依次连接,排气控制装置设于送气控制装置与压力控制装置的连接管道上,在进行气体输送时,排出气路内的杂质气体,控制气体输送时的压力和流量。本实用新型专利技术的有益效果是通气过程方便,能够对通入单晶炉内的掺杂气体的流量进行精确控制,对单晶的轴向电阻率进行控制,保证单晶的品质。证单晶的品质。证单晶的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种通气流量控制箱及气体通气系统


[0001]本技术属于单晶硅生产
,尤其是涉及一种通气流量控制箱及气体通气系统。

技术介绍

[0002]单晶硅作为新能源领域重要材料之一,是制作太阳能电池主要材料,但在太阳能电池使用过程中存在转换效率衰减情况,目前行业内普遍认为造成转换效率衰减的原因为当前使用B

Si合金,在单晶硅片后道处理过程当中,造成B

0复合体,致使加快单晶转化效率衰减。
[0003]对此,提出掺镓单晶硅,由于镓代替了硼,避免造成B

0复合体,进而改善单晶硅转换效率在使用过程中快速衰减情况。但是由于掺镓单晶镓单质在硅中的分凝系数小,为满足客户对掺镓产品电阻率的需求,当期行业内均采取降低掺镓单晶拉棒长度的措施,减少降档品的产生。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题,本技术提供一种通气流量控制箱及气体通气系统,以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种通气流量控制箱,包括具有进气孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通气流量控制箱,其特征在于:包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关,其中,所述送气控制装置设于所述安装装置的进气孔端,用于控制气体沿气路输送;所述开关设于所述安装装置的出气孔端,用于控制气体输送时的气路的打开与关闭;所述送气控制装置、所述压力控制装置、所述流量控制装置与所述开关沿着气体流动的方向依次连接,所述排气控制装置设于所述送气控制装置与所述压力控制装置的连接管道上,在进行气体输送时,排出气路内的杂质气体,并控制气体输送时的压力和流量。2.根据权利要求1所述的通气流量控制箱,其特征在于:还包括压力检测装置,所述压力检测装置与所述压力控制装置连接,用于检测气路内气体的压力。3.根据权利要求1或2所述的通气流量控制箱,其特征在于:所述安装装置为箱体,所述连接管道、所述送气控制装置、所述压力控制装置、所述流量控制装置、所述排气控制装置与所述开关均设于所...

【专利技术属性】
技术研发人员:程立波杨志徐小龙高利强刘有益王林李建军
申请(专利权)人:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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