本发明专利技术公开了一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；从动转杆上设有支撑组件，支撑组件包括滑套和握把，握把固定于滑套上，滑套套设于从动转杆上。该装置自带垂直结构，当操作员从MOCVD设备舱门的侧面安装陶瓷螺丝时，无需转动腕臂即可完成陶瓷螺丝的安装，克服了MOCVD设备结构的限制，使得操作员便于从侧面安装MOCVD设备的陶瓷螺丝，降低了安装难度，提高了工作效率。工作效率。工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置
[0001]本专利技术属于陶瓷螺丝安装器械
，具体涉及一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置。
技术介绍
[0002]金属有机化学气相沉积(metal
‑
organic chemical vapor deposition，MOCVD)设备被大量应用于半导体外延领域。由于其能够精确控制外延层厚度、材料组分等参数，形成陡峭的材料界面，在激光器、探测器等光电器件的制造领域有着广泛的应用。
[0003]随着外延和制造技术的发展，MOCVD的反应室结构也在发生变化。目前，Aixtron品牌的G3、G4、G5、G5+等型号的设备，都会采用“天花板(ceiling)”设计，来控制生长过程中颗粒(particle)的数量。而在设备的安装及维护过程中，天花板的装卸，成为其中重要的一个环节。由于设备在维护时，需要使反应室的舱门处于开启状态，且要保持手套箱及反应室内的环境，操作员就只能从侧面，透过手套，来对备件进行更换。更换的备件包括固定天花板的石墨挡板和陶瓷螺丝，由于受到手套和手臂长度的限制，操作员从侧面安装陶瓷螺丝非常困难，并且陶瓷螺丝不具备磁性，在安装过程中也无法被吸附、固定，导致陶瓷螺丝在装卸过程中极易发生脱落，甚至被损坏的情况。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是：旨在提供一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，用来解决操作员不便于从侧面安装螺丝的问题。
[0005]为实现上述技术目的，本专利技术采用的技术方案如下：
[0006]一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，所述主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，所述从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；所述从动转杆上设有支撑组件，所述支撑组件包括滑套和握把，所述握把固定于滑套上，所述滑套套设于从动转杆上。
[0007]通过采用上述方案，使得该装置自带垂直结构，通过转动主动转杆能够带动从动转杆转动，当操作员位于舱门侧面时，无需转动臂腕，即可完成陶瓷螺丝的安装，以此克服MOCVD设备手套箱结构的限制，使得操作员便于从侧面安装陶瓷螺丝。
[0008]进一步限定，所述从动转杆上设有推进组件，所述推进组件包括环形凸缘、第一弹簧和多个支撑杆，所述环形凸缘固定于从动转杆上螺丝套筒和滑套之间，所述第一弹簧套设从动转杆上，所述第一弹簧的一端抵靠于环形凸缘上，所述第一弹簧的另一端抵靠于滑套上，多根所述支撑杆呈圆周阵列结构并固定于滑套外，所述支撑杆倾斜于从动转杆设置，所述支撑杆远离滑套的一端朝向螺丝套筒一侧，且当滑套未压缩第一弹簧时，所述支撑杆远离滑套的一端不超过螺丝套筒。
[0009]通过采用上述方案，当操作员安装陶瓷螺丝时，首先将陶瓷螺丝的头部卡在螺丝套筒内，然后将陶瓷螺丝抵在螺丝孔处，然后朝螺丝孔一侧推动握把，使滑套压缩第一弹簧，直到支撑杆抵靠在MOCVD设备的舱门上，多个支撑杆共同作用，能够对整个装置起到支撑和稳定的作用，便于对陶瓷螺丝的旋拧；与此同时，第一弹簧受到压迫，能够给陶瓷螺丝一个朝向螺丝孔的水平作用力，当操作员转动主动转杆时，这个水平作用力能够将陶瓷螺丝推进螺丝孔内，便于陶瓷螺丝的安装。
[0010]进一步限定，所述垂直套筒的一端内固定有第一环形挡板和第二环形挡板，所述主动转杆的一端转动安装于第一环形挡板和第二环形挡板的内环中，所述主动转杆的一端外固定有第一环形抵板和第二环形抵板，所述第一环形抵板和第二环形抵板均位于第一环形挡板和第二环形挡板之间，且所述第一环形抵板抵靠在第一环形挡板上，所述第二环形抵板抵靠在第二环形挡板上；所述垂直套筒的另一端内固定有第三环形挡板和第四环形挡板，所述从动转杆的一端转动安装于第三环形挡板和第四环形挡板的内环中，所述从动转杆的一端上固定有第三环形抵板和第四环形抵板，所述第三环形抵板和第四环形抵板均位于第三环形挡板和第四环形挡板之间，且所述第三环形抵板抵靠在第三环形挡板上，所述第四环形抵板抵靠在第四环形挡板上。
[0011]通过采用上述方案，使得主动转杆和从动转动只能够相对垂直套筒转动，避免主动转杆或者从动转动滑出垂直套筒，导致主动锥齿轮与从动锥齿轮不能够啮合的情况，使得该装置结构更加严谨。
[0012]进一步限定，所述螺丝套筒为一侧敞口、另一侧封闭的橡胶套筒，所述螺丝套筒的封闭端固定于从动转杆远离垂直套筒的一端，所述螺丝套筒的内径小于陶瓷螺丝头部的直径，所述螺丝套筒靠近敞口端的侧壁上开设有两个对称设置的缺口。
[0013]通过采用上述方案，利用橡胶材质自身的柔性和张力，将陶瓷螺丝的头部抓取在螺丝套筒内，既能够对陶瓷螺丝起到较好的固定效果，又能够避免对陶瓷螺丝造成损伤；通过在陶瓷螺丝的敞口端设置两个缺口，能够避免陶瓷螺丝的头部将螺丝套筒挤破。
[0014]进一步限定，所述螺丝套筒靠近从动转杆的内侧壁上固定有能够插入螺丝头槽缝的薄楔形头。
[0015]通过采用上述方案，薄楔形头能够插入螺丝头的槽缝内，强制螺丝跟随螺丝套筒一起转动，避免只用套筒卡紧螺丝而带不动螺丝转动的情况。
[0016]进一步限定，所述支撑杆远离滑套的一端固定有吸盘。
[0017]通过采用上述方案，当支撑杆抵靠在待装配螺丝的设备上时，吸盘也能够吸附在该设备上，因为此时第一弹簧处于压缩状态，第一弹簧会给滑套一个朝向垂直套筒的作用力，操作员必须在握把上施加一个朝向待装配螺丝的设备的压力去抵消上述作用力，才能保持整个装置的平衡，通过设置吸盘，使得吸盘的吸附力能够代替操作员施加给握把的压力，使得操作员能够更加省力、更加便捷地完成安装操作。
[0018]进一步限定，所述支撑杆内开设有吸附通道，所述吸附通道与吸盘连通，所述吸附通道内滑动安装有活塞，所述吸附通道内设置有第二弹簧，所述第二弹簧的一端抵接在活塞上，所述第二弹簧的另一端抵接在吸附通道内远离吸盘的侧壁上，所述活塞靠近第二弹簧的一端固定有第一拉绳，所述第一拉绳远离活塞的一端穿过第二弹簧并穿至支撑杆外，所述握把上安装有用于拉动第一拉绳的拉绳组件。
[0019]通过采用上述方案，当吸盘吸附在待装配螺丝的设备上时，操作员可以利用拉绳组件拉动第一拉绳，第一拉绳拉动活塞，使得活塞朝向远离吸盘的一侧移动，从而增强吸盘的吸附力，使得吸盘能够更加稳定地吸附在待装配螺丝的设备上；当需要卸下吸盘时，可以松开第一拉绳，此时，活塞受到第二弹簧的弹力而复位，从而使得吸盘的吸力减小，便能够轻松卸下吸盘。
[0020]进一步限定，所述拉绳组件包括U形架和拉杆，所述U形架的两端固定于握把的侧面上，所述U形架的上下两侧均开设有滑槽，所述拉杆的上下两端分别滑动安装于两个滑槽内，所述U形架远离握把的一侧开设有进线孔，所述第一拉绳从U形架外沿着进线孔穿进U形架内并固定于拉杆上。
[0021]通过采用上述方案，当操作需要拉动第一拉绳增本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，其特征在于：包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，所述主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，所述从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，所述从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；所述从动转杆上设有支撑组件，所述支撑组件包括滑套和握把，所述握把固定于滑套上，所述滑套套设于从动转杆上。2.根据权利要求1所述的一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述从动转杆上设有推进组件，所述推进组件包括环形凸缘、第一弹簧和多个支撑杆，所述环形凸缘固定于从动转杆上螺丝套筒和滑套之间，所述第一弹簧套设从动转杆上，所述第一弹簧的一端抵靠于环形凸缘上，所述第一弹簧的另一端抵靠于滑套上，多根所述支撑杆呈圆周阵列结构并固定于滑套外，所述支撑杆倾斜于从动转杆设置，所述支撑杆远离滑套的一端朝向螺丝套筒一侧，且当滑套未压缩第一弹簧时，所述支撑杆远离滑套的一端不超过螺丝套筒。3.根据权利要求1所述的一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述垂直套筒的一端内固定有第一环形挡板和第二环形挡板，所述主动转杆的一端转动安装于第一环形挡板和第二环形挡板的内环中，所述主动转杆的一端外固定有第一环形抵板和第二环形抵板，所述第一环形抵板和第二环形抵板均位于第一环形挡板和第二环形挡板之间，且所述第一环形抵板抵靠在第一环形挡板上，所述第二环形抵板抵靠在第二环形挡板上；所述垂直套筒的另一端内固定有第三环形挡板和第四环形挡板，所述从动转杆的一端转动安装于第三环形挡板和第四环形挡板的内环中，所述从动转杆的一端上固定有第三环形抵板和第四环形抵板，所述第三环形抵板和第四环形抵板均位于第三环形挡板和第四环形挡板之间，且所述第三环形抵板抵靠在第三环形挡板上，所述第四环形抵板抵靠在第四环形挡板上。4.根据权利要求1所述的一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，其特征在于：所述螺丝套筒为一侧敞口、另一侧封闭的橡胶套筒，所述螺丝套筒的封闭端固定于从动转杆远离垂直套筒的一端，所述螺丝套筒的内径小于...
【专利技术属性】
技术研发人员：苑汇帛，张新勇，杨绍林，刘浩飞，郑鑫，张彬，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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