显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供在显示像素的像素形成区域上形成膜厚较均一的载流子输送层的显示装置及其制造方法。具备有载流子输送层的发光元件的显示装置的制造方法具有以下工序：抗液性膜形成工序，在基板上设置的多个隔壁的表面上形成抗液性膜；涂敷工序，在配置在上述多个隔壁间的像素电极上，涂敷包含载流子输送层材料的含载流子输送材料酸性液；干燥工序，在惰性气体环境下，干燥上述含载流子输送材料酸性液。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别涉及具有下述显示面板的，所述显示面板上排列有多个有机电致发光元件来作为显示像素。
技术介绍
近年来，作为多用作个人电脑或图像设备、便携式信息设备等的监视器、显示器的液晶显示装置(LCD)的下一代显示器件，正在积极研究开发具有如下的发光元件型显示面板的显示器(显示装置)，该发光元件型显示面板是将由有机电致发光元件(以下简称为有机EL元件)或发光二极管(LED)等自发光元件2维排列而成行。特别是在采用有源矩阵驱动方式的发光元件型显示器中，与液晶显示装置相比较，显示响应速度快，没有视角依赖性，而且可进行高亮度、高对比度化、显示图像质量的高精细化等，并且由于不象液晶显示装置那样需要背光，所以具有可进一步薄型轻量化的极优越的特征。这里，作为适用于发光元件型显示器的自发光元件的一个例子，简单说明有机EL元件。图10是表示有机EL元件的一个结构例子的简要剖面图。如图10所示，有机EL元件的结构基本上是在玻璃基板等绝缘性基板111的一侧面(图面上方侧)，依次层叠正(阳极)电极112、由有机化合物等(有机材料)构成的有机EL层113以及负(阴极)电极114。有机EL层113例如将由空穴输送材料(空穴注入层形成材料)形成的空穴输送层(空穴注入层)113a、和由电子输送性发光材料形成的电子输送性发光层(发光层)113b层叠而成。作为有机EL层113(空穴注入层113a和电子输送性发光层113b)中适用的空穴输送材料和电子输送性发光材料，公知的是低分子类和高分子类的各种有机材料。这里，一般来说，在低分子类的有机材料的情况下，有机EL层中的发光效率较高，在制造工序中，适合采用蒸镀法，所以只在像素形成区域的正电极上有选择地形成薄膜时，在用于防止低分子材料气相淀积到上述正电极以外的区域上的掩模表面上也附着低分子材料，所以在制造时材料损耗大，从而存在制造工序的效率低的问题。另一方面，在采用高分子类的有机材料的情况下，作为湿式成膜法，适合采用液滴排出法(即喷墨法)等，所以通过只在像素形成区域的正电极上有选择地涂敷液滴，可良好地形成有机EL层(空穴注入层和电子输送性发光层)的薄膜。这里，对适用高分子类的有机材料的有机EL元件的制造工序作简单说明。图11和图12是表示现有技术中的显示面板(有机EL元件)的制造工序的一个例子的一系列工序剖面图。这里，为便于说明，示出在绝缘性基板上只形成有机EL元件的情况。此外，对和上述图10的有机EL元件的结构相同的结构，附加同一符号进行说明。作为有机EL元件的制造方法的一个例子，首先，如图11A所示，在玻璃基板等绝缘性基板111的一侧面(图面上方侧)的、形成有各显示像素的每个区域(像素形成区域)Apx上，形成正电极(阳极)112后，如图11B所示，在与相邻显示像素的边界区域，形成由绝缘性材料形成的隔壁121。这里，在由隔壁121包围的像素形成区域Apx中，露出上述正电极112。接着，如图11C所示，通过在氧气环境下在上述绝缘性基板111表面照射紫外线UV，来产生活性氧取代基，分解除去正电极112表面的有机物来进行亲水化，并且在隔壁121表面上也产生自由基来进行亲液化。接下来，对实施了上述亲液化处理的绝缘性基板111，在氟化物气体环境下照射紫外线UV，在隔壁121表面结合氟来进行抗液化(或者抗水化)，另一方面，正电极(ITO)112表面保持亲液性。然后，如图11D所示，采用喷墨装置，使由高分子类有机材料形成的空穴输送材料从喷墨装置IHH分散到溶剂中，或者使溶解的液状材料(第1溶液)HMC以液滴状排出，涂敷到具有上述亲液性的正电极112上之后，进行干燥处理，从而如图11E所示，使空穴输送材料固定在正电极112上，形成空穴输送层113a。然后，同样，如图11F所示，使由高分子类有机材料IHE构成的电子输送性发光材料从喷墨头IHE分散到溶剂中，或者使溶解后的液状材料(第2溶液)EMC呈液滴状排出，涂敷到上述空穴输送层113a上后，进行干燥处理，从而如图12A所示，固定电子输送性发光材料，形成电子输送性发光层113b。而且，在包含上述空穴输送材料的液状材料HMC及包含电子输送性材料的液状材料EMC的涂敷处理中，因为隔壁121表面具有抗水性，所以即使假设液状材料HMC、EMC的液滴附着在隔壁121上，隔壁121也会受到保护，而只会涂敷到各像素形成区域Apx的正电极112上的亲液性区域(即有机EL元件形成区域Ael)上。接着，如图12B所示，通过各像素形成区域Apx的有机EL层113(空穴注入层113a和电子输送性发光层113b)，以和正电极112相对的方式，形成由公共电极构成的负电极(阴极)114之后，如图12C所示，在包含该负电极114的绝缘性基板111上，形成保护绝缘膜或密封树脂层115，再和密封基板116接合，由此完成有机EL元件(有机EL显示面板)的制作。关于这样的有机EL元件的制造方法，在例如(日本)特开2003-257656号公报中进行了说明。在具有这样的元件结构的有机EL元件中，如图10所示，从直流电压源115给正电极112施加正电压，给负电极114施加负电压，从而基于注入到空穴输送层113a的空穴和注入到电子输送性发光层113b中的电子在有机EL层113内再结合时产生的能量，发射光子(激发光)hυ。其中，对于该光子hυ，通过采用分别具有透光性或遮光性(以及反射特性)的电极材料形成正电极112和负电极114，能够使该光子hυ向绝缘性基板111的一面侧(图面上方)或者另一面侧(图面下方)的任意方向发射。此时，根据在正电极112和负电极114间流过的电流量来决定光子hυ的发光强度。在上述显示面板(有机EL元件)的制造方法中，用隔壁121包围各显示像素(像素形成区域Apx)的正电极112的周围，在隔离体即隔壁121之间涂敷由载流子输送层材料形成的液体后，经过干燥使载流子输送层(例如上述空穴注入层113a和电子输送性发光层113b)成膜。这样，被涂敷的载流子输送层材料形成的液体由于表面能的关系而容易凝聚在和隔壁接触的正电极的周缘，相对而言正电极中央的载流子输送层变薄，产生膜厚不均的问题。因此，尝试在隔壁的表面上覆盖显示抗液性的膜，在正电极上使载流子输送层均匀地成膜。但是，如果在大气中加热由载流子输送层材料形成的液体并进行干燥，则会使上述显示抗液性的膜劣化，载流子输送层难以形成均匀的膜厚。这里，载流子输送层指的是，施加正偏压时输送电子或者空穴的载流子的层，也可以是包含电子和空穴再结合的发光区域。
技术实现思路
因此，鉴于上述问题，本专利技术的目的在于，提供一种在显示像素的像素形成区域上形成膜厚较均一的载流子输送层的。本专利技术显示装置的制造方法，所述显示装置包括具有载流子输送层的发光元件，该制造方法的特征在于，具有以下工序抗液性膜形成工序，在基板上设置的多个隔壁的表面上形成抗液性膜；涂敷工序，在配置在上述多个隔壁间的像素电极上，涂敷包含载流子输送层材料的含载流子输送材料酸性液；干燥工序，在惰性气体环境下干燥上述含载流子输送材料酸性液。在上述抗液性膜具有在含氧的气体环境下抗液性降低的性质的情况下，特别有效。优选上述抗液性膜包含三嗪硫醇化合物。优选上述隔壁至少表面是非氧化物的金属单体或者合金。优本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置的制造方法，所述显示装置包括具有载流子输送层的发光元件，该制造方法的特征在于，具有以下工序：抗液性膜形成工序，在基板上设置的多个隔壁的表面上形成抗液性膜；涂敷工序，在配置在上述多个隔壁间的像素电极上，涂敷包含载流 子输送层材料的含载流子输送材料酸性液；干燥工序，在惰性气体环境下干燥上述含载流子输送材料酸性液。

【技术特征摘要】
JP 2005-9-29 283958/20051.一种显示装置的制造方法，所述显示装置包括具有载流子输送层的发光元件，该制造方法的特征在于，具有以下工序抗液性膜形成工序，在基板上设置的多个隔壁的表面上形成抗液性膜；涂敷工序，在配置在上述多个隔壁间的像素电极上，涂敷包含载流子输送层材料的含载流子输送材料酸性液；干燥工序，在惰性气体环境下干燥上述含载流子输送材料酸性液。2.如权利要求1记载的显示装置的制造方法，其特征在于，上述抗液性膜具有在含氧的气体环境下抗液性降低的性质。3.如权利要求1记载的显示装置的制造方法，其特征在于，上述抗液性膜包含三嗪硫醇化合物。4.如权利要求1记载的显示装置的制造方法，其特征在于，上述隔壁至少表面是非氧化物的金属单体或者合金。5.如权利要求1记载的显示装置的制造方法，其特征在于，上述隔壁是直接或者间接连接到上述发光元件上的布线。6.如权利要求1记载的显示装置的制造方法，其特征在于，上述发光元件与具有晶体管的发光驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊谷稔，
申请(专利权)人：卡西欧计算机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]