一种真空镀膜靶材工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜靶材工装，包括横板以及横板上固定连接的竖板，所述竖板侧壁滑动连接有两组滑动部件，每组所述滑动部件包括两个滑块，两个所述滑块之间具有间隙，两个所述滑块之间转动连接有安装板，所述安装板位于转动连接处的第一侧固定连接有挡板，所述安装板位于转动连接处的第二侧固定连接有紧固块，所述紧固块末端为弧状凸起，所述横板上端开有滑槽。本实用新型专利技术其能够对加工平台上摆放的靶材进行适配性防护，加强整体的安全性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜靶材工装


[0001]本技术涉及靶材
，尤其涉及一种真空镀膜靶材工装。

技术介绍

[0002]靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，在基底表面涂上一层非常薄且稳定的涂层，以保护其免受可能磨损或降低其效率的力的影响。
[0003]在对靶材真空镀膜后，一般是通过木箱对靶材进行打包和放置，一个批次的靶材数量较多，工作人员通常将靶材堆叠放置在加工平台上，逐个的将靶材进行放置包装，这一过程当中，靶材周围缺少防护限位的工装，当工作平台在外界的撞击下，以及发生加工事故，造成财产的损失，为了避免上述情况，于是需要一种真空镀膜靶材工装。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜靶材工装，其能够对加工平台上摆放的靶材进行适配性防护，加强整体的安全性。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种真空镀膜靶材工装，包括横板以及横板上固定连接的竖板，所述竖板侧壁滑动连接有两组滑动部件，每组所述滑动部件包括两个滑块，两个所述滑块之间具有间隙，两个所述滑块之间转动连接有安装板，所述安装板位于转动连接处的第一侧固定连接有挡板，所述安装板位于转动连接处的第二侧固定连接有紧固块，所述紧固块末端为弧状凸起，所述横板上端开有滑槽，所述滑槽上端滑动连接有锁紧块，所述锁紧块上设有能够对挡板进行限位的限位机构。
[0007]优选地，两个所述安装板与对应的滑动部件转动连接位置相互错开。
[0008]优选地，所述限位机构包括锁紧块上端开有调节孔，所述调节孔内螺纹连接有调节栓，所述调节栓上固定连接有凸盘。
[0009]优选地，所述挡板末端开有安装口，所述安装口内壁固定连接有弹性垫。
[0010]优选地，所述锁紧块下端粘接有清洁刷，所述清洁刷刷毛延伸至滑槽内部。
[0011]优选地，所述竖板侧壁以及弧状凸起均固定连接有摩擦垫。
[0012]本技术与现有技术相比，其有益效果为：
[0013]1、在紧固块的末端设置弧状凸起，在转动挡板的过程当中能够让其与竖板表面挤压挤出，进而保证挡板打开后处于相对稳定的状态，并且滑动挡板处于不同的位置，能形成不同的防护面积，满足多样化需求。
[0014]2、设置限位机构能够对折叠后的挡板进行限位防护，转动调节栓让凸盘的凸起部分与挡板表面进行接触，进而能够让其对挡板进行夹紧，保证其处于稳定的状态，让整个工装能够更好的放置以及转运。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种真空镀膜靶材工装的打开状态立体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种真空镀膜靶材工装的A处放大结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的一种真空镀膜靶材工装的收纳状态立体结构示意图；
[0018]图4为本技术提出的一种真空镀膜靶材工装的安装板立体结构示意图。
[0019]图中：1竖板、2滑块、3安装板、4挡板、5安装口、6滑槽、7锁紧块、8凸盘、9调节栓、10横板、11紧固块。
具体实施方式
[0020]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0021]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0022]参照图1
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4，一种真空镀膜靶材工装，包括横板10以及横板10上固定连接的竖板1，横板10上开有多个圆孔，必要时能够将横板10与工作平台表面安装固定，进而能够保证整体处于稳定的状态，竖板1侧壁滑动连接有两组滑动部件，每组滑动部件包括两个滑块2，两个滑块2之间具有间隙，两个滑块2之间通过转轴转动连接有安装板3，两个安装板3与对应的滑动部件转动连接位置相互错开，错开一定的距离，进而能够保证两个挡板4能能够正常收纳，能够在不需要工装对靶材进行限位时，将其进行收纳，减小其占用的空间体积，便于其放置。安装板3位于转动连接处的第一侧固定连接有挡板4，挡板4末端开有安装口5，安装口5内壁固定连接有弹性垫，可以在挡板4末端的安装口5内放置方形板，进而在弹性垫的作用下对方形板进行夹紧，进而能够在两个挡板4、竖板1以及方形板之间形成一个封闭的面积，进而能够对当中的靶材进行限位，也可以不安装方形板，便于靶材的拿取。
[0023]安装板3位于转动连接处的第二侧固定连接有紧固块11，紧固块11末端为弧状凸起，在转动挡板4的过程当中，紧固块11末端的弧状凸起逐渐的与竖板1侧壁配合，实现逐步的夹紧，当挡板4转动到极限位置时，此时紧固块11顶部与竖板1侧壁直接挤压，竖板1侧壁以及弧状凸起均固定连接有摩擦垫，摩擦垫的存在能够加强弧状凸起与竖板1之间的摩擦力，让挡板4打开后处于相对稳定的位置，保证其能够有效对中间的靶材进行防护，横板10上端开有滑槽6，滑槽6上端滑动连接有锁紧块7，锁紧块7下端粘接有清洁刷，清洁刷刷毛延伸至滑槽6内部，在移动锁紧块7的过程当中能够对滑槽6内的杂质进行清理，保证锁紧块7的正常移动，当需要对挡板4进行收纳时，将其移动至中间，通过限位机构对挡板4进行夹紧限位。
[0024]锁紧块7上设有能够对挡板4进行限位的限位机构，限位机构包括锁紧块7上端开有调节孔，调节孔内螺纹连接有调节栓9，调节栓9上固定连接有凸盘8，转动调节栓9的过程
当中能够改变凸盘8与挡板4的接触面，挡板4表面形状渐变，转动的过程当中当挡板4的凸起部分与挡板4接触挤压，进而完成对挡板4的夹紧，当需要打开挡板4时，再次转动调节栓9，让凸盘8与挡板4表面脱离接触，并且移动锁紧块7至末端，让其与挡板4错开，保证挡板4能够正常打开。
[0025]本技术使用时，当需要对加工平台表面的靶材进行限位时，此时将横板10放置在加工平台上，转动两个挡板4至指定的位置，竖板1与两个挡板4之间形成的面积能够对靶材进行防护，紧固块11末端的弧状凸起能够保证挡板4打开后处于稳定的位置。
[0026]需要时可以在两个安装口5内放置方形板，进而实现对靶材更佳的防护，保证靶材在加工平台竖板1处于安全的状态。
[0027]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜靶材工装，包括横板(10)以及横板(10)上固定连接的竖板(1)，其特征在于，所述竖板(1)侧壁滑动连接有两组滑动部件，每组所述滑动部件包括两个滑块(2)，两个所述滑块(2)之间具有间隙，两个所述滑块(2)之间转动连接有安装板(3)，所述安装板(3)位于转动连接处的第一侧固定连接有挡板(4)，所述安装板(3)位于转动连接处的第二侧固定连接有紧固块(11)，所述紧固块(11)末端为弧状凸起，所述横板(10)上端开有滑槽(6)，所述滑槽(6)上端滑动连接有锁紧块(7)，所述锁紧块(7)上设有能够对挡板(4)进行限位的限位机构。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材工装，其特征在于，两个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李德飞，
申请(专利权)人：无锡茂源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：