【技术实现步骤摘要】
磁悬浮分子泵的断电测试方法、装置及主控设备
[0001]本申请涉及磁悬浮
，尤其涉及一种磁悬浮分子泵的断电测试方法、装置及主控设备。
技术介绍
[0002]现有技术中的磁悬浮分子泵是一种高、超高真空获得设备，具有十分广泛的应用领域，目前大量应用于节能玻璃、太阳能光伏、半导体、液晶面板制造和科研等场景。在磁悬浮分子泵的使用过程中，会因为意外情况导致突然供电故障，例如，因为雷电或者线路等情况出现供电故障。由于磁悬浮分子泵的磁轴承需要供电才能工作，所以一般磁悬浮分子泵都会在分子泵内设计断电自保护功能。现有的断电自保护功能的工作过程是：基于磁悬浮分子泵在高速运行时，外部供电突然断开，磁悬浮分子泵将机械能转化为电能，反馈给磁悬浮分子泵的控制器，并维持磁轴承工作，保证磁悬浮分子泵转子降速到安全转速后再落在保护轴承上，从而避免发生损坏。但是现有技术无法对磁悬浮分子泵的断电自保护功能的设计合理度、断电保护效果进行测试，无法确保磁悬浮分子泵的可靠度。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵的断电测试方法，其特征在于，应用于主控设备，所述主控设备与磁悬浮分子泵测试设备通信连接，所述磁悬浮分子泵测试设备包括真空腔体，所述真空腔体用于安装磁悬浮分子泵及模拟所述磁悬浮分子泵实际运行工况，所述磁悬浮分子泵设有与所述主控设备通信连接的继电器，所述方法包括：在所述真空腔体、及所述磁悬浮分子泵的真空度达到预设启动压力阈值时，控制所述磁悬浮分子泵处于预设运转过程；当处于所述预设运转过程的所述磁悬浮分子泵的速度达到预设检测转速时，通过关闭所述继电器控制所述磁悬浮分子泵断电；在预设断电时间间隔、或者所述磁悬浮分子泵转子跌落至保护轴承后，启动所述继电器向所述磁悬浮分子泵供电；判断在断电过程中及恢复供电后所述磁悬浮分子泵是否运行正常及断电故障提示是否正常；在断电过程中及恢复供电后所述磁悬浮分子泵运行正常及断电故障提示正常时，确定所述磁悬浮分子泵的断电自保护功能正常。2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵的断电测试方法，其特征在于，所述判断在断电过程中及恢复供电后所述磁悬浮分子泵是否运行正常及断电故障提示是否正常，包括：判断在断电过程中所述磁悬浮分子泵是否平稳运行、及是否提示断电故障；判断恢复供电后所述磁悬浮分子泵是否正常升降速、是否进入待机状态、是否提示解除断电故障；所述在断电过程中及恢复供电后所述磁悬浮分子泵运行正常及断电故障提示正常时，确定所述磁悬浮分子泵的断电自保护功能正常，包括：若在断电过程中所述磁悬浮分子泵平稳运行、且提示断电故障，恢复供电后所述磁悬浮分子泵正常升降速、进入待机状态、且提示解除断电故障，则确定所述磁悬浮分子泵的断电自保护功能正常。3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵的断电测试方法，其特征在于，所述判断在断电过程中所述磁悬浮分子泵是否平稳运行，包括：在断电过程中检测所述磁悬浮分子泵的轴振动峰值、噪声、及所述磁悬浮分子泵转子开始跌落至保护轴承时对应的跌落转速；在所述轴振动峰值小于预设振动阈值、所述噪声小于预设噪声阈值、且所述跌落转速小于预设转速阈值的情况下，确定在断电过程中所述磁悬浮分子泵平稳运行；所述判断恢复供电后所述磁悬浮分子泵是否正常升降速，包括：在所述磁悬浮分子泵的转速变化处于预设转速变化范围、或者所述磁悬浮分子泵的电流变化处于预设电流变化范围时，确定在恢复供电后所述磁悬浮分子泵正常升降速。4.根据权利要求3所述的磁悬浮分子泵的断电测试方法，其特征在于，所述方法还包括：在断电过程中所述磁悬浮分子泵没有平稳运行时，检测所述磁悬浮分子泵的控制器的控制程序是否匹配，若不匹配，则在所述控制器写入匹配的控制程序，若匹配，则检测所述控制器的控制板是否正常；在断电过程中所述磁悬浮分子泵没有提示断电故障、或者在恢复供电后所述磁悬浮分
子泵没有提示解除断电故障时，检测所述控制器的通信板是否正常；在恢复供电后所述磁悬浮分子泵没有正常升速时，检测所述控制器的电机驱动板...
【专利技术属性】
技术研发人员：项海铭，洪申平，沙宏磊，俞天野，王文建，李鲁楠，赵明杨，毕刘新，沈虹，
申请(专利权)人：天津飞旋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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