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本申请实施例提供了一种磁悬浮分子泵的断电测试方法、装置及主控设备，其中方法包括：在真空腔体、及磁悬浮分子泵的真空度达到预设启动压力阈值时，控制磁悬浮分子泵处于预设运转过程；当处于预设运转过程的磁悬浮分子泵的速度达到预设检测转速时，控制磁悬浮...
该专利属于天津飞旋科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津飞旋科技股份有限公司授权不得商用。

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