一种位置测量装置及设备制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种位置测量装置及设备，包括动力机构和位置测量机构，所述动力机构一端设置在被测量结构上，所述动力机构另外一端通过传动件与所述位置测量机构连接，所述位置测量机构根据所述传动件的运动情况测量被测量件的位置信息。本实用新型专利技术提供的位置测量装置是由动力机构和位置测量机构通过传动件连接组成的机械结构，结构简单、操作方便、易于实现。易于实现。易于实现。

【技术实现步骤摘要】
一种位置测量装置及设备


[0001]本申请各实施例属于电池片生产设备，尤其涉及一种位置测量机构及设备。

技术介绍

[0002]随着太阳能发电的普及，人们对光伏产品的需求越来越大，随之对光伏设备的要求也越来越高，不仅要求具有较大的产能，还需要有更高的精度，众所周知，管式PECVD/LPCVD设备是太阳能电池片生产中的重要设备之一，主要作用是对硅片表面进行镀膜。
[0003]管式PECVD、LPCVD设备通常有两个机械手，第一机械手移动到某一高度，第二机械手也应移动到相应的高度，这时就需要有高度位置测量机构来测量第一机械手的位置，从而测算到第二机械手需要移动的位移。现有技术是采磁栅尺进行测量定位，磁栅尺依靠粘结剂粘结在机械手竖梁上，其最好的粘结温度是+21℃～38℃，因此如果环境温度较高粘结剂就容易发生软化而导致磁栅尺粘结不稳定甚至脱离机械手，进而影响机械手的位置测量及定位、导致机械手出现异常。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种位置测量装置，主要是为了解决管式PECVD、LPCVD设备上现有位置测量装置中的磁栅尺在高温环境下粘结不稳定从而影响机械手正常操作的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0006]第一方面，本申请提供一种位置测量装置，包括动力机构和位置测量机构；所述动力机构一端设置在被测量结构上，所述动力机构另外一端通过传动件与所述位置测量机构连接，所述位置测量机构根据所述传动件的运动情况测量被测量件的位置信息。
[0007]本技术的有益效果：本技术提供的位置测量装置，是由动力机构和位置测量机构通过传动件连接组成的机械结构，其中，动力机构连接在被测量结构上，位置测量机构可以根据传动件的运动情况测量被测量件的位置信息，并且该机构结构简单、操作方便、易于实现，从而避免了现有技术中管式PECVD、LPCVD设备上位置测量装置中的磁栅尺在高温环境下粘结不稳定，从而影响机械手正常操作的问题。
[0008]在一个实施例中，所述动力机构包括相互啮合的齿条和齿轮，所述主齿条设置在被测量结构上，所述齿轮通过所述传动件与所述位置测量机构连接。
[0009]通过采用上述方案，选择齿条和齿轮相互啮合的动力机构作为传动结构，能够实现高精度、快速的传动动作，从而快速且精确的测量位置信。
[0010]在一个实施例中，所述齿条与所述传动件垂直设置。
[0011]在一个实施例中，所述位置测量机构为旋转编码器。
[0012]通过采用上述方案，旋转编码器作为位置测量机构能够与齿轮通过传动件实现同轴旋转，更适合与齿轮和齿条组成的机械结构相匹配。
[0013]在一个实施例中，还包括至少一个支撑件，所述支撑件与所述传动件垂直设置，且
所述传动件与所述支撑件转动连接。
[0014]通过采用上述方案，设置至少一个支撑件用于支撑传动件，能够提高传动件与齿轮和位置测量机构连接的稳定性和可靠性；传动件与支撑件转动连接，能够实现齿轮与位置测量机构的同轴转动，更有利于旋转编码器实现位置测量。
[0015]在一个实施例中，所述支撑件上设置有轴承，所述传动件穿过所述轴承与所述位置测量机构连接。
[0016]通过采用上述方案，在支撑件上设置轴承，使传动件穿过轴承与位置测量机构连接，轴承能够更好地支撑传动件的旋转，降低传动件与支撑件之间的摩擦系数，并保证传动件的回转精度。
[0017]在一个实施例中，所述支撑件为板状结构。
[0018]通过采用上述方案，板状结构具有更好地平稳性，能够对支撑件起到更好地支撑作用，而且更便于轴承的安装。
[0019]在一个实施例中，所述支撑件与所述被测量结构连接。
[0020]通过采用上述方案，将支撑件连接到被测量结构上，使支撑件具有支撑基点，增强了支撑件的稳固性。
[0021]第二方面，本申请提供一种设备，包括上述位置测量机构。
[0022]本技术的有益效果：本技术提供的设备，在包括上述位置测量机构的装置上，也应当具备上述优点，在此不再一一赘叙。
附图说明
[0023]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本申请的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分，本领域技术人员应该理解的是，这些附图未必是按比例绘制的，在附图中：
[0024]图1为本技术的一种实施例的位置测量装置的结构示意图
[0025]图2为本技术的另一种实施例的位置测量装置的结构示意图
[0026]图中各项标记的含义为：
[0027]1‑
动力机构，11
‑
齿条，12
‑
齿轮，2
‑
位置测量机构，3
‑
被测量结构，31
‑
支撑板,4
‑
传动件，5
‑
支撑件，51
‑
轴承，52
‑
支撑底板。
具体实施方式
[0028]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对
本技术的限制。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]以下结合具体附图及实施例进行详细说明。
[0032]需要说明的是，本申请中的PECVD设备为通过等离子体增强化学的气相沉积法对半导体材料进行沉积的设备，LPCVD设备为通过低压力化学气相沉积法对半导体材料进行沉积的设备。
[0033]请参阅图1和图2，本申请提供的位置测量装置，包括动力机构1和位置测量机构2；动力机构1一端设置在被测量结构3上，动力机构1另外一端通过传动件4与位置测量机构2连接，位置测量机构2根据传动件4的运动情况测量被测量件的位置信息。本申请实施例中的位置测量装置是由动力机构1和位置测量机构2通过传动件4连接组成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位置测量装置，其特征在于，包括动力机构和位置测量机构，所述动力机构一端设置在被测量结构上，所述动力机构另外一端通过传动件与所述位置测量机构连接，所述位置测量机构根据所述传动件的运动情况测量被测量件的位置信息。2.如权利要求1所述的一种位置测量装置，其特征在于，所述动力机构包括相互啮合的齿条和齿轮，所述齿条设置在被测量结构上，所述齿轮通过传动件与所述位置测量机构连接。3.如权利要求2所述的一种位置测量装置，其特征在于，所述齿条与所述传动件垂直设置。4.如权利要求1至3任一项所述的一种位置测量装置，其特征在于，所述位置测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：田玉峰，郑中伟，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：