本发明专利技术公开了一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法，用含有磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆填充模具片的凹陷，至预定的深度后停止，其中，模具片的凹陷为规则排列；将模具片放在陈化筒内进行加热陈化60～80min，固化温度为75～80℃；用无磨粒的叠合粘合剂对加热陈化后的模具片的凹陷进行填充，至预定的深度后停止，随后自然风干；将自然风干后模具片进行脱模得到陈化研磨层，通过叠合粘合剂将研磨层与基底材料进行粘合，并进行固化，得到抛光垫；通过陈化可以提高抛光垫的工艺性能，且陈化过程中磁铁产生磁场可以吸附磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆内具有磁性的分子，减小抛光垫内材料之间的间距，提升抛光垫的性能。提升抛光垫的性能。提升抛光垫的性能。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法
[0001]本专利技术涉及抛光垫生产
，具体为一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法。
技术介绍
[0002]抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫；按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫；按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型，在目前抛光垫的生产过程中，往往制作出的抛光垫的综合性能不稳定，因此，我们需要提出一种新的设计方案，用来解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的就在于提供一种抛光垫陈化处理方法及滚轴夹具及操作方法及其使用方法，来解决上述
技术介绍
中提到的问题。
[0004]本专利技术所要解决的问题为：
[0005]如何通过加入陈化处理，使抛光垫的性能大幅度提升的问题。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]第一方面，本专利技术提供一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
[0008]步骤一：用含有磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆填充模具片的凹陷，至预定的深度后停止，其中，模具片的凹陷为规则排列；
[0009]步骤二：将模具片放在陈化筒内进行加热陈化60～80min，固化温度为75～80℃；
[0010]步骤三：用无磨粒的叠合粘合剂对加热陈化后的模具片的凹陷进行填充，至预定的深度后停止，随后自然风干；<br/>[0011]步骤四：将自然风干后模具片进行脱模得到陈化研磨层，通过叠合粘合剂将研磨层与基底材料进行粘合，并进行固化，得到抛光垫。
[0012]进一步的，陈化筒包括筒状外壳，筒状外壳的外侧壁上缠绕有电磁感应线圈，电磁感应线圈的端部连接有交流电源；
[0013]筒状外壳的底部设有夹层，夹层的一侧与夹层的另一侧相背设置，且夹层的另一侧与筒状外壳的内侧壁相连限定出筒状外壳的容腔，夹层内设有磁铁，磁铁占夹层的三分之二的体积。
[0014]进一步的，容腔的底端转动设有转动盘，转动盘的边沿与容腔的腔侧壁设有固定间隙；
[0015]转动盘的上端设有多个负离子氧化颗粒过滤孔，且负离子氧化颗粒过滤孔内填充有过滤板，且负离子氧化颗粒过滤孔沿容腔的内腔侧壁向陈化筒的外壳延伸；
[0016]陈化筒的外壳上安装有若干抽风机，抽风机与负离子氧化颗粒过滤孔对应连接。
[0017]进一步的，转动盘的上端还设有照射灯，照射灯用于将模具片内的填充物进行固
化，其中，照射灯为紫光灯。
[0018]进一步的，过滤板由负离子陶瓷复合粉、加页岩粉及麦饭石粉组成；
[0019]其中，负离子陶瓷复合粉、加页岩粉及麦饭石粉的重量百分比为：负离子陶瓷复合粉2％
‑
60％，页岩粉30％
‑
70％，余量为麦饭石粉；
[0020]负离子陶瓷复合粉的粒径为6
‑
120um；加页岩粉的粒径为1
‑
30um；麦饭石粉的粒径为2
‑
100um，干燥成型的负离子陶粒粒径为3
‑
6um。
[0021]进一步的，磨料糊浆粘合剂选用酚醛树脂、氨基塑料树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂、丙烯酸酯树脂、丙烯酸化的异氰脲酸酯树脂、脲醛树脂、异氰脲酸酯树脂、丙烯酸化的聚氨酯树脂、丙烯酸化的环氧树脂、可溶酚醛树脂
‑
酚醛树脂、聚酯树脂、乙烯基树脂、蜜胺树脂及其混合物；
[0022]叠合粘合剂选用酚醛树脂、氨基塑料树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂、丙烯酸酯树脂、丙烯酸化的异氰脲酸酯树脂、脲醛树脂、异氰脲酸酯树脂、丙烯酸化的聚氨酯树脂、丙烯酸化的环氧树脂、可溶酚醛树脂
‑
酚醛树脂、聚酯树脂、乙烯基树脂、蜜胺树脂及其混合物；
[0023]磨粒选用熔凝氧化铝、热处理的氧化铝、碳化硅、氧化铝氧化锆、石榴石、金刚石、立方氮化硼、二氧化硅、氧化铈、溶胶
‑
凝胶法氧化铝、氧化铬、氧化锆、氧化铁及其混合物。
[0024]第二方面，本专利技术提供一种滚轴夹具，包括上述中任一描述的抛光垫，滚轴夹具通过抛光垫加工成型。
[0025]第三方面，本专利技术提供一种滚轴夹具的操作方法，包括：
[0026]将抛光垫安装在抛光机内；
[0027]将滚轴夹具固定在抛光机内；
[0028]接通抛光机电源，发动机带动抛光垫将滚轴夹具打磨光滑。
[0029]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0030]通过筒状外壳的外侧壁上缠绕有电磁感应线圈，电磁感应线圈的端部连接有交流电源；筒状外壳的底部设有夹层，夹层的一侧与夹层的另一侧相背设置，且夹层的另一侧与筒状外壳的内侧壁限定出筒状外壳的容腔，夹层内设有磁铁，磁铁占夹层的三分之二的体积，使得抛光垫在陈化过程中磁铁产生磁场可以吸附磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆内具有磁性的分子，减小抛光垫内材料之间的间距，提升抛光垫的性能。
[0031]通过开启交变电流，随着交变电流的电流方向不断变化，陈化筒内的模具片上产生无数强大的小涡流，使得模具片不断发热，促进了陈化筒内模具片内混合物的反应。
附图说明
[0032]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0033]图1为本专利技术原理示意图。
具体实施方式
[0034]为更进一步阐述本专利技术为实现预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0035]请参阅图1所示，一种抛光垫陈化处理方法，包括如下步骤：
[0036]步骤一：用含有磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆填充模具片的凹陷，至预定的深
度后停止，其中，模具片的凹陷为规则排列；
[0037]步骤二：将模具片放在陈化筒内进行加热陈化60～80min，固化温度为75～80℃；
[0038]步骤三：用无磨粒的叠合粘合剂对加热陈化后的模具片的凹陷进行填充，至预定的深度后停止，随后自然风干；
[0039]步骤四：将自然风干后模具片进行脱模得到陈化研磨层，通过叠合粘合剂将研磨层与基底材料进行粘合，并进行固化，得到抛光垫。
[0040]在一些具体的实施例中，抛光垫是化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫，本申请所示的抛光垫为有磨料抛光垫，并在其制作过程中加入陈化步骤，提升抛光垫的性能。
[0041]在一些具体的实施例中，磨料包括基底材料和置于基底材料一侧表面上的研磨层，基底材料是挠性的，便于加工滚轴夹具这类具有球面形状或圆弧形的工件。
[0042]基底材料可以是例如聚合物膜(例如聚酯膜)。聚合物膜可底涂例如聚乙烯
‑
丙烯酸材料以促进基底材料与磨料复合物的粘附。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：用含有磨粒、磨料糊浆粘合剂和磨料糊浆填充模具片的凹陷，至预定的深度后停止，其中，模具片的凹陷为规则排列；步骤二：将模具片放在陈化筒内进行加热陈化60～80min，固化温度为75～80℃；步骤三：用无磨粒的叠合粘合剂对加热陈化后的模具片的凹陷进行填充，至预定的深度后停止，随后自然风干；步骤四：将自然风干后模具片进行脱模得到陈化研磨层，通过叠合粘合剂将研磨层与基底材料进行粘合，并进行固化，得到抛光垫。2.根据权利要求1所述的一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，陈化筒包括筒状外壳，筒状外壳的外侧壁上缠绕有电磁感应线圈，电磁感应线圈的端部连接有交流电源；筒状外壳的底部设有夹层，夹层的一侧与夹层的另一侧相背设置，且夹层的另一侧与筒状外壳的内侧壁相连限定出筒状外壳的容腔，夹层内设有磁铁，磁铁占夹层的三分之二的体积。3.根据权利要求2所述的一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，容腔的底端转动设有转动盘，转动盘的边沿与容腔的腔侧壁设有固定间隙；转动盘的上端设有多个负离子氧化颗粒过滤孔，且负离子氧化颗粒过滤孔内填充有过滤板，且负离子氧化颗粒过滤孔沿容腔的内腔侧壁向陈化筒的外壳延伸；陈化筒的外壳上安装有若干抽风机，抽风机与负离子氧化颗粒过滤孔对应连接。4.根据权利要求3所述一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，转动盘的上端还设有照射灯，照射灯用于将模具片内的填充物进行固化，其中，照射灯为紫光灯。5.根据权利要求3所述的一种抛光垫陈化处理方法，其特征在于，过滤板由负离子陶瓷复合粉、加页岩粉及麦饭石粉组成；其中，负离子陶瓷复合粉、加页岩粉及麦饭石粉的重量百分比为：负离子陶瓷复合粉2％
【专利技术属性】
技术研发人员：徐暎昊，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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