一种基于砷化镓p-n结器件的β型核电池制造技术

本发明专利技术公开了一种基于砷化镓p

【技术实现步骤摘要】
一种基于砷化镓p
‑
n结器件的
β
型核电池


[0001]本专利技术涉及利用p
‑
n结器件将放射性核素的衰变能转化为电能的装置，属于核能利用


技术介绍

[0002]随着科技的进步，以微机电系统(MEMS)为代表的低功率电子器件技术飞速发展。例如，从汽车安全气囊的触发感应器到环境监控系统的传感器，微机电系统已经应用到了人们的日常生活。微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的集微电源、微传感器、微执行器、微机械结构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信于一体的微型器件或系统。因此，微机电设备一般都具有体积小、质量轻、功率小、便于移动、性能稳定、成本低和可植入性等特点，它们在各行各业都有非常广泛的应用前景。核电池是20世纪50、60 年代发展起来的一种新型能源。核电池具有寿命长、工作可靠、对环境适应性强、维护频率低、比容量高、不依赖燃料和太阳光等优点。因而，核电池在航空、航天、航海领域、深海、深地、极地领域、医学领域和微机电系统中都有广泛的应用。近年来，半导体材料和半导体器件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于砷化镓p
‑
n结器件的β型核电池，包括：放射源镍
‑
63源；砷化镓p
‑
n结器件，所述砷化镓p
‑
n结器件的其内部结构依次由正面格栅电极层、p型砷化镓层、n型砷化镓基区层、n型铝砷化镓层、n型砷化镓缓冲层、n型砷化镓衬底层以及背面电极层构成；焊接在所述正面格栅电极层的金引线；焊接在所述背面电极层上的金引线；电池外壳。2.如权利要求1所述的基于砷化镓p
‑
n结器件的β型核电池，其中，所述放射源镍
‑
63源为薄片状长方体放射源，所述镍
‑
63源的厚度介于2μm～3μm之间且优选厚度为2μm，将所述镍
‑
63源放置在所述砷化镓p
‑
n结器件中所述正面格栅电极层上。3.如权利要求1所述的基于砷化镓p
‑
n结器件的β型核电池，其中，所述正面格栅电极层采用Au/Zn/Ag/Au复合金属层，在所述p型砷化镓层的上表面依次蒸镀Au金属层、Zn金属层、Ag金属层和Au金属层构成Au/Zn/Ag/Au复合金属层，所述各金属层厚度相同且均为30nm，所述正面格栅电极层的栅宽相同且宽度为0.2mm，栅间距为150μm。4.如权利要求1所述的基于砷化镓p
‑
n结器件的β型核电池，其中，所述p型砷化镓层的掺杂剂为碳，掺杂碳原子浓度N
A
为4
×
10
18
/cm3，厚度为0.1μm。5.如权利要求1所述的基于砷化镓p
‑
n结器件的β...

【专利技术属性】
技术研发人员：张光辉，刘玉敏，林坤宇，桑天贵，王物达，罗朝君，
申请(专利权)人：东华理工大学，
类型：发明
国别省市：