模具及具有转印精细图形的基材的制造方法技术

本发明专利技术提供模具以及具有转印精细图形的基材的制造方法。作为用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具，其特征在于，具备在形成下述中间层（Ａ）的表面具有基于官能团（ｘ）的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层（Ｂ）之间的中间层（Ａ）、具有精细图形的下述表面层（Ｂ）。中间层（Ａ）：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团（ｘ）具反应性的反应性基团（ｙ）的含氟聚合物（１）形成的层。表面层（Ｂ）：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团（ｙ）的含氟聚合物（２）形成，于表面具有精细图形的层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及模具及使用该模具的具有由光固化性树脂的固化物形成的转印精细图形的基材的制造方法。
技术介绍
近年来，使基材与表面具有精细图形的模具接触而在基材表面形成精细图形的反转图形的方法(所谓纳米压印(nano-imprint))受到注目(参照专利文献1和2)。其中，使用在表面具有精细图形的模具、基材和光固化性树脂，依次进行以下工序的具有由固化物形成的转印精细图形的基材的制造方法受到注目将光固化性树脂夹在模具的精细图形面和基材表面之间进行加压的工序；从模具侧进行光照，使光固化性树脂固化形成所述固化物的工序；以及将模具从该固化物上剥离的工序。作为该制造方法中的模具，一般使用石英制模具。但是，该模具的脱模性低，将模具从固化物上剥离时，固化物的精细图形精度容易下降。作为使脱模性提高的方法，提出有在模具的精细图形面涂布脱模剂的方法。但是，由于所涂布的脱模剂的厚度偏差，模具的精细图形精度容易下降。另外，连续使用模具的情况下，需要重复涂布脱模剂，生产效率容易下降。专利文献3中记载了由四氟乙烯类聚合物、乙烯/四氟乙烯类共聚物或全氟烷氧基乙烯基醚类聚合物形成的模具。专利文献1日本专利特表200本文档来自技高网...

【技术保护点】
模具，它是用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具，其特征在于，具备在形成下述中间层（Ａ）的表面具有基于官能团（ｘ）的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层（Ｂ）之间的中间层（Ａ）、具有精细图形的下述表面层（Ｂ）；中 间层（Ａ）：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团（ｘ）具反应性的反应性基团（ｙ）的含氟聚合物（１）形成的层；表面层（Ｂ）：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团（ｙ）的含氟 聚合物（２）形成，于表面具有精细图形的层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-11-30 346029/2004;JP 2005-8-29 247722/20051.模具，它是用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具，其特征在于，具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)；中间层(A)由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层；表面层(B)由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成，于表面具有精细图形的层。2.模具，它是用于将光固化性树脂成形的具备于表面具有精细图形的含氟聚合物层和透明基体的模具，其特征在于，具备含氟聚合物层，所述含氟聚合物层由形成于在形成下述中间层(A)的表面具有官能团(x)的透明基体的表面的由下述含氟聚合物(1)形成的中间层(A)、以及形成于该中间层(A)的表面的由...

【专利技术属性】
技术研发人员：川口泰秀，坂根好彦，白川大祐，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]