一种基于干涉光路设计的水导脉冲激光加工系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于干涉光路设计的水导激光加工系统及方法，加工系统包括水射流喷嘴、干涉激光发生装置、激光转向装置和电场转向装置；本发明专利技术通过干涉激光发生装置产生干涉激光，并调节干涉激光的大小和脉冲波形参数，利用电场转向装置产生电场，使得水射流进行转向；利用激光转向装置调整干涉激光方向，使得干涉激光在水射流转向处全反射耦合进水射流，形成用于加工的水导激光，且调整方向后的干涉激光方向与转向后的水射流同轴，水导激光作用于工件表面，进行打孔加工。本发明专利技术利用干涉激光发生装置减小干涉后激光束的直径，提高了水导激光的打孔精度。本发明专利技术通过对水射流偏转，避免了激光灼烧喷嘴，降低了水导激光的设备成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种基于干涉光路设计的水导脉冲激光加工系统及方法


[0001]本专利技术属于机械加工领域，涉及一种水导脉冲激光打孔技术，具体地指一种基于干涉光路设计的水导脉冲激光加工系统及方法。

技术介绍

[0002]随着现代化技术的快速发展，水导激光打孔技术也发展已逐步成熟起来，并被越来越多的人们所认识、接受和采用。目前水导激光用于关键零部件或微小电子产品的切割与打孔。水导激光有着许多优良的特性使之具有较大的应用前景。水导激光的原理是利用水束光纤传导激光束，引导激光传输到工件表面。激光在水束中发生全反射，在激光烧蚀和熔融工件表面的同时，微细水束冲击工件去除材料并进行工件的冷却，从而完成对工件的加工。
[0003]现有的水导激光加工系统虽然有许多优点，但还是存在一定的缺陷。具体可以概括为以下三点：
[0004]1、水射流直径较大，无法对极为精密的零件或仪器进行切割或打孔；
[0005]2、传统水导激光激光束需要聚焦在某一点，且耦合头复杂，激光束与水射流耦合困难；
[0006]3、激光束与水射流耦合困难，喷嘴容易烧蚀，水导激光装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于干涉光路设计的水导激光加工系统，其特征在于：包括水射流喷嘴、干涉激光发生装置、激光转向装置和电场转向装置；所述干涉激光发生装置用于产生干涉激光；所述水射流喷嘴用于喷出用于加工的水射流；所述电场转向装置用于在水射流通过区域产生电场，用于将水射流进行转向；所述激光转向装置用于调整干涉激光方向，使得干涉激光在水射流转向处全反射耦合进水射流，形成用于加工的水导激光，且调整方向后的干涉激光方向与转向后的水射流同轴。2.根据权利要求1所述基于干涉光路设计的水导激光加工系统，其特征在于：所述干涉激光发生装置包括沿着光路依次设置的两个脉冲激光发生器、干涉板和脉冲激光接收器，两个脉冲激光发生器用于产生两束能干涉的激光束，所述干涉板上设有与两个脉冲激光发生器位置对应的干涉缝，所述脉冲激光接收器用于将干涉后形成的干涉激光接收并传播。3.根据权利要求2所述基于干涉光路设计的水导激光加工系统，其特征在于：所述干涉激光发生装置还包括脉冲激光整形器，所述脉冲激光整形器设于脉冲激光接收器的出口光路上，用于提高干涉激光稳定性。4.根据权利要求2所述基于干涉光路设计的水导激光加工系统，其特征在于：所述干涉激光发生装置还包括激光位置调整器，所述激光位置调整器用于调整两个脉冲激光发生器与激光干涉板之间距离，从而调整干涉激光的直径大小。5.根据权利要求1所述基于干涉光路设计的水导激光加工系统，其特征在于：所述激光转向装置为激光反射镜。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，陈云，盛家正，申胜男，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：