用于SERS微腔结构的制备装置制造方法及图纸

用于SERS微腔结构的制备装置，属于等离激元纳米光子器件技术领域。用于在空芯光纤内壁实现三维SERS的自动加工，控制激发光垂直于空心光纤长轴聚焦在外壁，通过控制电机的直进与旋转可以控制激光对空心光纤内壁上金属薄膜的加工路径，实现在空心光纤内壁组装较长的连续均匀的金属等离激元微纳结构。通过柔性材料的连接及刚性板材上双同心孔的限位，可实现光纤的同轴转动，保证激光加工的均匀性。保证激光加工的均匀性。保证激光加工的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
Applied Materials Interfaces 9, 19470
‑
19477(2017))。
[0005]尽管如此，在空芯光纤内壁构造大面积且连续均匀的等离激元微纳结构仍是一个挑战，多种较为成熟的如电子束曝光、干涉光刻等方法无法与空芯光纤基底有效结合从而制备在较长长度内连续均匀的微纳结构。

技术实现思路

[0006]基于以上研究背景及技术问题，本技术提出了一种分布于空芯光纤内壁的三维等离激元纳米结构激光加工方法，用于实现一种新型SERS检测技术。其优势特点在于高灵敏度SERS检测器件的激光直写加工，工艺过程的自动控制和高效、批量制备，SERS结构的高质量、连续、均匀加工和结构参数的精确可控，SERS检测信号的三维反馈与收集。
[0007]一种用于等离激元微纳结构的制备方法，其特征在于，该方法可用于在空芯光纤内壁实现三维SERS的自动加工控制，参数可调，柔性材料的连接及刚性板材上双同芯孔的限位，可实现光纤前后端的同轴转动，保证激光加工的均匀性。
[0008]一种新型SERS检测结构即基于空芯光纤内壁的SERS微腔结构，其特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于SERS微腔结构的制备装置，其特征在于，包括、电机(1)、柔性连接管(2)、空芯光纤(3)、刚性板材(4)，空芯光纤(3)内壁吸附由金属纳米颗粒构成的颗粒膜；电机和空芯光纤的一端通过柔性材料同轴连接；两个刚性板材平行相对，刚性板材上打有限位孔(5)，空芯光纤(3)穿过两个限位孔(5)，限位孔(5)具有支撑和限位空芯光纤的作用；激光垂直聚焦于空芯光纤外壁上；电机能够直进与旋转，电机的直进与旋转带动空芯光纤直进并旋转，限位孔使空芯光纤与电机同轴芯转动，所述的SERS微腔结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新平，穆云云，李佳俊，刘淼，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：新型
国别省市：