微聚光镜结构及其制作方法技术

技术编号:3178848 阅读:310 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种制作微聚光镜的方法,包括有下列步骤,提供一基底,且该基底上具有至少一介电层,于该介电层表面形成一第一薄膜,蚀刻该第一薄膜以形成至少一微凸块,以及于该微凸块表面与该介电层表面形成一第二薄膜,且该第二薄膜与该微凸块即构成该微聚光镜。本发明专利技术的微聚光镜可用于高温环境,而不需要额外制作一保护层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制作微聚光镜的方法,包括下列步骤:    提供基底,且该基底上具有至少一介电层;    于该介电层表面形成第一薄膜;    蚀刻该第一薄膜以形成至少一微凸块;以及    于该微凸块表面与该介电层表面形成第二薄膜,且该第二薄膜与该微凸块即构成该微聚光镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:廖河松
申请(专利权)人:联华电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[]

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