光束整形光学装置及圆度调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够使光束截面接近于正圆的光束整形光学装置。在激光束的路径上配置有包括柱面镜或柱面透镜的校正光学组件。在经过了校正光学组件之后的激光束的路径上配置有由凸透镜或凹面镜构成的聚光光学组件。支承机构支承校正光学组件，并将其支承为能够沿使校正光学组件与聚光光学组件之间的激光束的光路长度变化的方向移动。光路长度变化的方向移动。光路长度变化的方向移动。

【技术实现步骤摘要】
光束整形光学装置及圆度调整方法
[0001]本申请主张基于2020年7月7日申请的日本专利申请第2020
‑
117103号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种光束整形光学装置及圆度调整方法。

技术介绍

[0003]以下说明对基板等加工对象物进行钻孔加工的以往的激光加工装置。从激光振荡器输出的激光束被引导至凹面镜，并且在光束扩展器的复制源位置处聚光为规定的尺寸。光束扩展器将复制源位置的光束截面复制到光圈的位置。通过光圈而光束截面的外形变得大致圆形的激光束经由加尔瓦诺扫描仪(Galvano scanner)及fθ透镜入射到加工对象物的表面。
[0004]为了在加工对象物上形成圆形的孔，优选提高加工对象物表面上的光束截面的圆度。圆度是指：圆形形状从几何学正确意义上的圆形偏离的大小。例如，可以由在用两个同心的几何学上的圆夹住圆形形状的情况下同心的两个圆之间的间隔最小时的两个圆的半径之差来表示圆度。半径之差越小，圆形形状越接近于正圆。在下述专利文献1中公开了一种激光振荡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束整形光学装置，其特征在于，具有：校正光学组件，其配置于激光束的路径上，所述校正光学组件包括柱面镜或柱面透镜；聚光光学组件，其配置于经过了所述校正光学组件之后的激光束的路径上，所述聚光光学组件由凸透镜或凹面镜构成；及支承机构，其将所述校正光学组件支承为能够沿使所述校正光学组件与所述聚光光学组件之间的激光束的光路长度变化的方向移动。2.根据权利要求1所述的光束整形光学装置，其特征在于，所述校正光学组件包括柱面凹镜和平面镜，所述校正光学组件的入射侧的激光束的光轴与出射侧的激光束的光轴彼此平行，所述支承机构将所述校正光学组件支承为能够以保持所述柱面凹镜和所述平面镜之间的相对位置关系的状态沿与入射侧及出射侧的激光束的光轴平行的方向移动。3.根据权利要求2所述的光束整形光学装置，其特征在于，还具有姿势调整机构，所述姿势调整机构改变所述柱面凹镜的、以入射到所述柱面凹镜的激光束的光轴与被所述柱面凹镜反射的激光束的光轴所呈角的角平分线为旋转中心的旋转方向上的姿势。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光束整形光学装置，其特征在于，还具有：检测器，其检测经过了所述校正光学组件及...

【专利技术属性】
技术研发人员：河村让一，田中研太，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：