双平台紫外皮秒切割光路装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器、短光腔及长光腔，所述扩束镜架可选择性的固定设置于短光腔以及长光腔内，所述扩束镜固定设置于扩束镜架上，所述反射镜固定设置于二维镜架上，本实用新型专利技术涉及半导体切割技术领域，本装置结构合理，成本低，方便使用，采用短光腔以及长光腔的方式代替光纤传输激光，实现激光飞行传输，节约了空间布局，同时避免了布线的烦恼，本实用新型专利技术经过短光腔以及长光腔内的二次扩束和聚焦，得到了更优质量的激光，提升了切割效果，本实用新型专利技术大大的优化了光路结构，方便光路组件的安装布局，使设备更加美观。设备更加美观。设备更加美观。

【技术实现步骤摘要】
双平台紫外皮秒切割光路装置


[0001]本技术涉及半导体切割
，具体为双平台紫外皮秒切割光路装置。

技术介绍

[0002]现有紫外皮秒激光切割设备切割光路存在以下技术缺陷：一是布局复杂，容易造成干涉；二是扩束过程光路结构的密封性不佳，容易受到污染；三是光路调试不方便，鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供双平台紫外皮秒切割光路装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器、短光腔及长光腔，所述激光器与短光腔之间相连接，所述短光腔与长光腔之间相连接，所述长光腔长侧面开设有开孔，所述短光腔与长光腔内均设置有扩束镜、扩束镜架、二维镜架以及反射镜，所述扩束镜架可选择性的固定设置于短光腔以及长光腔内，所述扩束镜固定设置于扩束镜架上，所述反射镜固定设置于二维镜架上。
[0005]优选的，所述短光腔与长光腔之间呈90度直角，所述反射镜为竖直立放，且反射镜与短光腔以及长光腔的侧壁成45度角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器(1)、短光腔(2)及长光腔(3)，其特征在于，所述激光器(1)与短光腔(2)之间相连接，所述短光腔(2)与长光腔(3)之间相连接，所述长光腔(3)长侧面开设有开孔，所述短光腔(2)与长光腔(3)内均设置有扩束镜(4)、扩束镜架(5)、二维镜架(6)以及反射镜(7)，所述扩束镜架(5)可选择性的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶宗辉，周建红，
申请(专利权)人：深圳市圭华智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：