【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚样品检测炉
[0001]本技术属于石英坩埚
,涉及一种石英坩埚样品检测炉。
技术介绍
[0002]石英坩埚是生产多晶硅铸锭和拉制单晶硅棒的过程中必不可少的专用工艺装备,是承载多晶硅或单晶硅的载体。石英坩埚在使用时要承载超过400kg的熔硅,同时还要承受1400
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1600℃的高温,受热时间长达50小时左右。随着单晶技术的发展,石英坩埚直径越来越大,承重越来越重,受热时间也越来越长,一旦在拉制单晶硅棒的过程中石英坩埚出现质量问题,轻则会导致单晶无法正常拉制,重则硅熔液会从石英坩埚流出,损坏热场、烧坏单晶炉,甚至可能危及人身和财产安全。
[0003]因此需要在量产前对石英坩埚的样品进行高温检测,以保证石英坩埚的质量。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种石英坩埚样品检测炉。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种石英坩埚样品检测炉,包括炉体,所述的炉体上开设有炉膛,所述的炉体的炉膛口出设置有用于打开或关闭炉膛 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚样品检测炉,包括炉体(1),所述的炉体(1)上开设有炉膛(2),其特征在于,所述的炉体(1)的炉膛(2)口出设置有用于打开或关闭炉膛(2)的膛门组件(3),所述的炉膛(2)的内壁上设置有加热组件(4),所述的所述炉膛(2)内设置有放置石英坩埚并驱动其转动的转动组件(5),所述的炉体(1)的一侧设置有将炉膛(2)内抽真空的抽气组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚样品检测炉,其特征在于:所述的转动组件(5)包括转动连接于炉膛(2)内腔的转动轴(51),所述的转动轴(51)上设置有若干转轮(52),所述的转动轴(51)的一端贯穿炉膛(2)且固定连接有驱动电机(53)。3.根据权利要求1或2所述的一种石英坩埚样品检测炉,其特征在于:所述的加热组件(4)为设置在炉膛(2)内腔侧壁的电热管。4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚样品检测炉,其特征在于:所述的抽气组件(6)包括设置在炉体(1)一侧的真空泵(61),所述的真空泵(61)与炉膛(2)之间通过抽气管(62)相连通。5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚样品检测炉,其特征在于:所述的膛门组件(3)包括外炉门(31)和内炉...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶飞,王洋洋,毛炳全,方志远,
申请(专利权)人:浙江美晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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