一种真空镀膜机观察窗制造技术

技术编号:31747193 阅读:13 留言:0更新日期:2022-01-05 16:27
本实用新型专利技术提供一种真空镀膜机观察窗,包括观察窗的本体,所述本体的一侧下部设置有第一观察镜面,所述本体的另一侧下部设置有第二观察镜面,所述本体的上部内壁上设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的下部连接有横向推杆,所述横向推杆的两侧通过伸缩机构连接有旋接板,所述旋接板上连接有固定板,所述固定板上通过连轴板连接有滚刷,所述横向推杆两侧且在第一观察镜面与第二观察镜面的上部设置有铰接桩,所述铰接桩内设置有固定轴,所述固定轴上连接有斜向挡板,可以有效对观察镜面进行擦拭,防止内外温差影响镜面产生雾化影响对真空镀膜机内部反应的观察。镀膜机内部反应的观察。镀膜机内部反应的观察。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机观察窗


[0001]本技术涉及真空镀膜
,具体涉及一种真空镀膜机观察窗。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指在较高真空度下进行镀膜的镀膜机,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要是分成蒸发和溅射两种真空镀膜机的观察窗用于对内部材料进行观测,但因镀膜机内的温度较高观察窗的内外温差较大,观察窗的观测镜面受到雾化影响不能看到镀膜机内部的情况,且观察窗密封在镀膜机内需进行清洁时要将镀膜机进行停机,严重影响工作效率且带来损失,针对上述问题我们提出一种真空镀膜机观察窗,可在不对镀膜机进行停机的前提下对观察窗的观察镜面进行清理,避免雾化影响观察镜面使得观察窗失去作用。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,本技术提供一种真空镀膜机观察窗,可以有效对观察镜面进行擦拭,防止内外温差影响镜面产生雾化影响对真空镀膜机内部反应的观察。
[0004]为解决上述技术问题,本技术提供一种真空镀膜机观察窗,包括观察窗的本体,所述本体的一侧下部设置有第一观察镜面,所述本体的另一侧下部设置有第二观察镜面,所述本体的上部内壁上设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的下部连接有横向推杆,所述横向推杆的两侧通过伸缩机构连接有旋接板,所述旋接板上连接有固定板,所述固定板上通过连轴板连接有滚刷,所述横向推杆两侧且在第一观察镜面与第二观察镜面的上部设置有铰接桩,所述铰接桩内设置有固定轴,所述固定轴上连接有斜向挡板。
[0005]进一步的,所述电动伸缩杆固定连接连接在本体的上侧内壁上,所述电动伸缩杆的输出轴固定连接在横向推杆的上部。
[0006]进一步的,所述横向推杆的一侧两端设置有连接杆,所述连接杆上设置有限位滑块,所述限位滑块连接在限位滑槽内,所述限位滑槽设置在本体的内壁上。
[0007]进一步的,所述伸缩机构包括设置在横向推杆内部的伸缩腔,设置在伸缩腔内壁上的滑动槽,设置在滑动槽内的滑动块,连接在滑动块上的缓冲杆,设置在缓冲杆一侧且在伸缩腔内部的弹性结构。
[0008]进一步的,所述缓冲杆的一侧与旋接板相连接,所述旋接板一侧设置有螺纹槽,所述缓冲杆上设置有与螺纹槽相适应的螺纹连接杆。
[0009]进一步的,所述铰接桩包括设置在第一观察镜面与第二观察镜面上的支撑板,设置在支撑板一侧的挡板,连接在支撑板上的固定轴,设置在固定轴上的外轴,设置在外轴内部且连接在固定轴上的扭簧,设置在外轴两侧且与固定轴活动连接的斜线挡板,所述扭簧与斜向挡板相连接。
[0010]本技术的上述技术方案的有益效果如下:
[0011]本体设置在真空镀膜机上有利于对其内部进行观察的位置,且本体与真空镀膜机
密封连接,本体上设置的第一观察镜面与第二观察镜面皆为隔热材料,避免镀膜机内的高温影响观察镜面的使用,当观察镜面的内外温度差异较大造成镜面雾化无法看清镀膜机内部情况时,通过电动伸缩杆带动横向推杆向下运行,横向推杆两侧设置的伸缩机构将旋接板向外推出,使得旋接板上连接的固定板以及滚刷对观察镜面形成有效接触,从而将观察镜面上的雾气擦除确保观察效果,设置在观察镜面上部,且位于横向推杆两侧的铰接桩通过铰接的斜向挡板确保伸缩机构连接的滚刷能有效与观察镜面接触,具体的铰接桩对斜向挡板进行铰接且因斜向挡板为倾斜设置,使得斜向挡板在铰接桩的作用下在伸缩机构两侧呈扩大状倾斜,确保伸缩机构及其连接的滚刷处于斜向挡板内侧,以此保证横向推杆下潜时滚刷沿斜向挡板下沉收缩,从而进入观察镜面之间且通过伸缩机构确保滚刷对观察镜面上的雾气形成有效擦除。
[0012]本技术可以有效对观察镜面进行擦拭,防止内外温差影响镜面产生雾化影响对真空镀膜机内部反应的观察。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视剖视图;
[0014]图2为本技术的伸缩机构示意图;
[0015]图3为本技术容的铰接桩结构示意图。
[0016]1、本体;2、第一观察镜面;3、第二观察镜面;4、电动伸缩杆;5、横向推杆;6、旋接板;7、固定板;8、滚刷;9、铰接桩;10、固定轴;11、斜向挡板;12、限位滑槽;13、伸缩腔;14、滑动槽;15、滑动块;16、缓冲杆;17、弹性结构;18、支撑板;19、挡板;20、外轴;21、扭簧。
具体实施方式
[0017]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例的附图1

3,对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0018]如图1

3所示:一种真空镀膜机观察窗,包括观察窗的本体1,所述本体1的一侧下部设置有第一观察镜面2,所述本体1的另一侧下部设置有第二观察镜面3,所述本体1的上部内壁上设置有电动伸缩杆4,所述电动伸缩杆4的下部连接有横向推杆5,所述横向推杆5的两侧通过伸缩机构连接有旋接板6,所述旋接板6上连接有固定板7,所述固定板7上通过连轴板连接有滚刷8,所述横向推杆5两侧且在第一观察镜面2与第二观察镜面3的上部一侧设置有铰接桩9,所述铰接桩9内设置有固定轴10,所述固定轴10上连接有斜向挡板11,具体而言本体设置在真空镀膜机上有利于对其内部进行观察的位置,且本体与真空镀膜机密封连接,本体上设置的第一观察镜面与第二观察镜面皆为隔热材料,避免镀膜机内的高温影响观察镜面的使用,当观察镜面的内外温度差异较大造成镜面雾化无法看清镀膜机内部情况时,通过电动伸缩杆带动横向推杆向下运行,横向推杆两侧设置的伸缩机构将旋接板向外推出,使得旋接板上连接的固定板以及滚刷对观察镜面形成有效接触,从而将观察镜面上的雾气擦除确保观察效果,设置在观察镜面上部,且位于横向推杆两侧的铰接桩通过铰接的斜向挡板确保伸缩机构连接的滚刷能有效与观察镜面接触,具体的铰接桩对斜向挡板
进行铰接且因斜向挡板为倾斜设置,使得斜向挡板在铰接桩的作用下在伸缩机构两侧呈扩大状倾斜,确保伸缩机构及其连接的滚刷处于斜向挡板内侧,以此保证横向推杆下潜时滚刷沿斜向挡板下沉收缩,从而进入观察镜面之间且通过伸缩机构确保滚刷对观察镜面上的雾气形成有效擦除。
[0019]根据本技术的一个实施例,如图1所示,所述电动伸缩杆4固定连接连接在本体1的上侧内壁上,所述电动伸缩杆4的输出轴固定连接在横向推杆5的上部,具体而言当需要通过滚刷对观察镜面的雾气进行擦除时,通过设置在外部的控制开关对电动伸缩杆进行控制,通过电动伸缩杆带动横向推杆下潜,以此对观察镜面进行擦拭。
[0020]根据本技术的一个实施例,如图1所示,所述横向推杆5的一侧两端设置有连接杆,所述连接杆上设置有限位滑块,所述限位滑块连接在限位滑槽12内,所述限位滑槽12设置在本体1的内壁上,具体而言横向推杆的一侧在靠近限位滑槽本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机观察窗,其特征在于:包括观察窗的本体(1),所述本体(1)的一侧下部设置有第一观察镜面(2),所述本体(1)的另一侧下部设置有第二观察镜面(3),所述本体(1)的上部内壁上设置有电动伸缩杆(4),所述电动伸缩杆(4)的下部连接有横向推杆(5),所述横向推杆(5)的两侧通过伸缩机构连接有旋接板(6),所述旋接板(6)上连接有固定板(7),所述固定板(7)上通过连轴板连接有滚刷(8),所述横向推杆(5)两侧且在第一观察镜面(2)与第二观察镜面(3)的上部一侧设置有铰接桩(9),所述铰接桩(9)内设置有固定轴(10),所述固定轴(10)上连接有斜向挡板(11)。2.如权利要求1所述的真空镀膜机观察窗,其特征在于:所述电动伸缩杆(4)固定连接在本体(1)的上侧内壁上,所述电动伸缩杆(4)的输出轴固定连接在横向推杆(5)的上部。3.如权利要求1所述的真空镀膜机观察窗,其特征在于:所述横向推杆(5)的一侧两端设置有连接杆,所述连接杆上的一端设置有限位滑块,所述限位滑块连接在限位滑槽(12)内,所述限位滑槽(12)设置在本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员:程艳东王艳彬
申请(专利权)人:河南辰发表面处理有限公司
类型:新型
国别省市:

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