一种双通道上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双通道上下料装置，包括：上下料支架，其上开设有平行且间隔设置的上料通道及下料通道；两组传送机构，所述上料通道及下料通道中均安装有一组所述传送机构；其中，所述上料通道与下料通道呈水平并列布置或上下堆叠布置。根据本实用新型专利技术，其能够独立进行上料及下料作业，使得上料过程及下料过程能够独立进行，避免相互干扰导致的上料及下料效率低下。下料效率低下。下料效率低下。

【技术实现步骤摘要】
一种双通道上下料装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种双通道上下料装置。

技术介绍

[0002]在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的上下料装置来实现物料的上料与下料是众所周知的。在研究和实现物料的上料与下料的过程中，研究人员发现现有技术中的上下料装置至少存在如下问题：
[0003]结构复杂，占地面积大，导致上料与下料过程容易互相干扰，从而影响上料及下料效率。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种双通道上下料装置，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]为了克服上述上下料装置所存在的问题，本技术所要解决的技术问题是提供一种能够独立进行上料及下料作业的双通道上下料装置，其使得上料过程及下料过程能够独立进行，避免相互干扰导致的上料及下料效率低下。
[0006]就双通道上下料装置而言，本技术为解决上述技术问题的双通道上下料装置包括：
[0007]上下料支架，其上开设有平行且间隔设置的上料通道及下料通道；
[0008]两组传送机构，所述上料通道及下料通道中均安装有一组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双通道上下料装置，其特征在于，包括：上下料支架(2)，其上开设有平行且间隔设置的上料通道(21)及下料通道(22)；两组传送机构(1)，所述上料通道(21)及下料通道(22)中均安装有一组所述传送机构(1)；其中，所述上料通道(21)与下料通道(22)呈水平并列布置或上下堆叠布置。2.如权利要求1所述的双通道上下料装置，其特征在于，所述传送机构(1)包括：安装于所述上料通道(21)或下料通道(22)中的上下料支架组件(11)，其包括底板(111)、顶板(112)及支撑部件(113)，所述支撑部件(113)支撑于所述顶板(112)与底板(111)之间以使得所述顶板(112)与底板(111)间隔设置并形成位于所述顶板(112)与底板(111)之间的传动空间；以及搬运组件(13)，其包括搬运托盘(131)、搬运驱动器(132)以及设于所述传动空间中的升降底座(133)；其中，所述底板(111)上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨(1111)，所述升降底座(133)通过所述滑行导轨(1111)与所述底板(111)滑动连接；所述顶板(112)上沿着滑行导轨(1111)的延伸方向依次设置的备料工位(114)及上下料工位(115)；所述升降底座(133)的动力输出端穿过所述顶板(112)后连接至所述搬运托盘(131)的底部；所述升降底座(133)在所述搬...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱成昊，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：