【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气的处理设备
[0001]本技术涉及废气处理设备
,尤其涉及一种半导体废气的处理设备。
技术介绍
[0002]废气处理设备是指通过不同的方法来回收或去除废气中的有害成分,从而达到保护环境净化空气的一种设备。
[0003]现在半导体行业加工过常会产生废气,半导体产生的废气常需要进行处理后才能排放,一般使用活性炭作为主要处理手段的废气处理设备在使用时间过长就会导致活性炭吸附效果减弱,这时就需要更换活性炭以保证处理效果,但是普通的更换方式费时费力,无法快速便捷的更换。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的无法快速方便更换活性炭的缺点,而提出的一种半导体废气的处理设备。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种半导体废气的处理设备,包括外壳和过滤结构,所述外壳的表面设置有过滤结构,所述过滤结构包括长板,所述长板与外壳的表面相焊接,所述长板的内部转动插设有摇杆,所述摇杆的表面固定连接有齿轮,所述齿轮的表面啮合有齿条,所述齿条的表面开设有滑槽, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体废气的处理设备,包括外壳(1)和过滤结构(2),其特征在于:所述外壳(1)的表面设置有过滤结构(2),所述过滤结构(2)包括长板(206),所述长板(206)与外壳(1)的表面相焊接,所述长板(206)的内部转动插设有摇杆(204),所述摇杆(204)的表面固定连接有齿轮(207),所述齿轮(207)的表面啮合有齿条(202),所述齿条(202)的表面开设有滑槽(211),所述滑槽(211)的表面滑动连接有滑杆(208),所述滑杆(208)的表面焊接有夹杆(210),所述夹杆(210)的表面螺纹连接有第一螺丝(209),所述第一螺丝(209)的表面转动连接有方块(212),所述外壳(1)的内部插设有碳盒(201)。2.根据权利要求1所述的一种半导体废气的处理设备,其特征在于:所述长板(206)的表面焊接有支撑块(205),所述支撑块(205)的表面插设有插销(203)。3.根据权利要求2所述的一种半导体废气的处理设备,其特征在于:所述支撑块(205)有两个,所述插销(203)同时贯穿两个支撑块(205)。4.根据权利要求1所述的一种半导体废气的处理设备,其特征在于:所述滑槽(211)的数量有两个,...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋明洋,乔光明,
申请(专利权)人:科扬环境科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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