螺栓真空镀膜用夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种螺栓真空镀膜用夹具，包括转动架、支撑板、以及限位组件；转动架能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板固定在转动架上；限位组件用于限位螺栓；限位组件设置在支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置。将螺栓限位于限位组件上后，转动架转到预设位置，使得螺栓在预设位置和溅射靶相对应，以用于螺栓的后序真空镀膜。限位组件够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置，从而能够调节限位组件上的螺栓和溅射靶之间距离，提高镀膜的效果。高镀膜的效果。高镀膜的效果。

【技术实现步骤摘要】
螺栓真空镀膜用夹具


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别涉及一种螺栓真空镀膜用夹具。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
[0003]螺栓是一种带螺纹的紧固件，由头部和螺杆(带外螺纹的圆柱体)两部分组成，用于紧固连接带有通孔的零件。其主要材料大多为碳钢或者不锈钢组成，对于碳钢材料的螺栓而言，腐蚀和氧化生锈一直都是螺栓失效的主要原因，特别是工作环境极其特殊的场合，如航空航天、水下、酸碱地等，为了极大减弱这种现象，一般需要对螺栓进行真空镀膜处理。
[0004]目前，对于螺栓的镀膜夹具大多是件螺栓固定于相应的夹具上，螺栓对应溅射靶设置，以通过溅射靶将介质(如金属、合金或化合物)溅射，使介质在被涂覆螺栓的表面上凝固并沉积。不同介质和或不同螺栓在镀膜时，需要螺栓和溅射靶之间的距离不同，才能使得镀膜达到最好的效果。在目前夹具中，螺栓和溅射靶之间的距离一般是固定的，影响镀膜的效果。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种螺栓真空镀膜用夹具，以能够调节螺栓和溅射靶之间的距离，提高镀膜的效果。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0007]根据本技术的一个方面，本技术提供一种螺栓真空镀膜用夹具，包括转动架、支撑板、以及限位组件；转动架能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板固定在所述转动架上；限位组件用于限位螺栓；所述限位组件设置在所述支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于所述支撑板上的不同位置。
[0008]在一些实施例中，所述限位组件通过紧固件连接在所述支撑板上；所述支撑板上开设长孔，所述长孔从所述转动架的内部向外延伸；所述紧固件穿设于长孔内的不同位置而将所述限位组件固定于所述支撑板的不同位置。
[0009]在一些实施例中，所述支撑板设置为两个，两个所述支撑板间隔设置；所述限位组件限位在两个所述支撑板之间；两个所述支撑板上对应开设有所述长孔。
[0010]在一些实施例中，所述限位组件包括间隔设置的两侧板、以及连接在两所述侧板的朝向所述转动架外侧的前板；所述侧板固定连接所述支撑板；所述前板用于限位螺栓。
[0011]在一些实施例中，两所述侧板的背向所述前板的一端设置有限位部，两所述侧板的两所述限位部相背延伸，并超出对应所述支撑板的相对面。
[0012]在一些实施例中，所述前板上间隔开设有多个贯通的穿孔，以用于螺栓穿设。
[0013]在一些实施例中，所述穿孔于每个所述前板上沿所述转动架的轴线方向间隔设置
为多排。
[0014]在一些实施例中，所述支撑板沿所述转动架的轴线方向延伸，所述支撑板的两端固定在转动架上。
[0015]在一些实施例中，所述限位组件沿所述支撑板的延伸方向间隔设置为多组。
[0016]在一些实施例中，所述支撑板上对应每个所述限位组件间隔设置有多个所述长孔。
[0017]由上述技术方案可知，本技术至少具有如下优点和积极效果：
[0018]本技术中，将螺栓限位于限位组件上后，转动架转到预设位置，使得螺栓在预设位置和溅射靶相对应，以用于螺栓的后序真空镀膜。限位组件够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置，从而能够调节限位组件上的螺栓和溅射靶之间距离，提高镀膜的效果。
附图说明
[0019]图1是本技术真空镀膜用夹具的正面示意图。
[0020]图2是图1中A
‑
A处的剖面图。
[0021]图3是图1中B处的放大图。
[0022]图4是图2中C处的放大图。
[0023]附图标记说明如下：100、转动架；110、转动盘；111、安装孔；120、连杆；200、支撑板；210、延伸板；220、翼板；230、底板；240、顶板；250、长孔；300、限位组件；310、侧板；311、限位部；320、前板；400、溅射靶；500、螺栓；600、紧固件。
具体实施方式
[0024]体现本技术特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本技术。
[0025]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]目前，对于螺栓的镀膜夹具大多是件螺栓固定于相应的夹具上，螺栓对应溅射靶设置，以通过溅射靶将介质(如金属、合金或化合物)溅射，使介质在被涂覆螺栓的表面上凝固并沉积。不同介质和或不同螺栓在镀膜时，需要螺栓和溅射靶之间的距离不同，才能使得镀膜达到最好的效果。在目前夹具中，螺栓和溅射靶之间的距离一般是固定的，影响镀膜的效果。
[0027]图1是本技术真空镀膜用夹具的正面示意图。图2是图1中A
‑
A处的剖面图。
[0028]为了便于描述和理解，以图1中夹具的状态为参考，竖向方向为上下方向，朝向夹具内部的方向为内，朝向夹具外部的方向为外。
[0029]参阅图1和图2，本实施例提供了一种螺栓真空镀膜用夹具，该夹具放置于真空镀膜装置内，并与真空镀膜装置内的溅射靶相对应。螺栓限位在夹具上，在镀膜的过程中，介质经过溅射靶溅射到螺栓上，而在螺栓的外表面形成镀膜层。溅射靶一般为阴极靶。
[0030]本实施例中，螺栓真空镀膜用夹具包括转动架100、固定在转动架100上的支撑板200、以及设置在支撑板200上的限位组件300；限位组件300用于限位螺栓500。转动架100绕自身的轴线可转动的连接在真空镀膜装置中，并相对溅射靶400设置。
[0031]在对螺栓镀膜时，打开真空镀膜装置的上相应的门体，然后转动架100转动到使得限位组件300正对门体的位置，将预镀膜螺栓500限位在限位组件300上，然后转动架100转动到预设位置，使得限位组件300上的预镀膜螺栓500正对溅射靶400，并关上真空镀膜装置上的门体，开启真空镀膜装置，真空镀膜装置将介本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种螺栓真空镀膜用夹具，其特征在于，包括：转动架，其能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板，其固定在所述转动架上；限位组件，用于限位螺栓；所述限位组件设置在所述支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于所述支撑板上的不同位置。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述限位组件通过紧固件连接在所述支撑板上；所述支撑板上开设长孔，所述长孔从所述转动架的内部向外延伸；所述紧固件穿设于所述长孔内的不同位置而将所述限位组件固定于所述支撑板的不同位置。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支撑板设置为两个，两个所述支撑板间隔设置；所述限位组件限位在两个所述支撑板之间；两个所述支撑板上对应开设有所述长孔。4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述限位组件包括间隔设置的两侧板、以及连接在两所述侧板的朝向所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：田耕涛，黄志云，张建宁，吴洽，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：