喷墨头及其制造方法以及图像形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于，提供具有间隔壁的纵横比更大的压力室而且在制作时不容易发生破损的喷墨头。本发明专利技术的喷墨头具有：由于压电体的动作而振动的振动板、以及由于所述振动板的振动而体积变动的压力室。通过与所述振动板相接的区域由金属形成的间隔壁，所述压力室被与相邻的压力室或者流路划分开，所述间隔壁的纵横比为1.3以上。比为1.3以上。比为1.3以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷墨头及其制造方法以及图像形成装置


[0001]本专利技术涉及喷墨头及其制造方法以及图像形成装置。

技术介绍

[0002]作为在喷墨打印机等中使用的喷墨头，已知具备由于压电体的动作而体积变动的压力室、且设置有从墨水室经由压力室连通到喷头开口的墨水的流路的喷墨头。
[0003]在专利文献1中记载了如下方法：通过在振动板的一面上制作压电体，在上述振动板的另一面上制作由划分多个压力室的间隔壁构成的压力室部件，其后使上述压力室部件的上述间隔壁与墨水流路部件及喷头板贴合，从而制造上述喷墨头。此外，在专利文献1中记载了通过在振动板的上述另一面上形成光致抗蚀剂的抗蚀剂图案之后，利用电镀来制作压力室部件(间隔壁)，能够在振动板的双面上一体地制作压电体及压力室部件，因此压电体与压力室的对位变得容易。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2009
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045871号公报

技术实现思路

[0007]本专利技术所要解决的课题
[0008]为了使压力室中产生足够用于喷出墨水的大小的体积变动，希望压力室自身的体积足够大。因此，如果为了能够形成高精细的图案，而希望以更高密度配置压力室，则需要通过使压力室的高度变高来确保由于高密度的配置而宽度变窄的压力室的体积。然后，为了使压力室的高度更高，需要使间隔壁的高度更高，因此，需要使间隔壁的纵横比(间隔壁的高度(t)相对于间隔壁的宽度(W)的比例(t/W))也更大。另一方面，如果想要使压力室的宽度变大而使间隔壁的高度更低，则需要在压力室间形成墨水流路，间隔壁的宽度变得更薄，因此还是需要使间隔壁的纵横比更大。
[0009]以往，这样的纵横比大的间隔壁通过对SOI(绝缘体上硅(Silicon on Insulator))基板的支承层进行光刻并进行深度蚀刻(Deep
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DIE)的方法、对有源层面方位为(110)的SOI基板的支承层进行湿法蚀刻的方法等被制作。但是，作为单晶的Si如果弯曲应力集中于缺陷部则容易沿着解理面持续断裂，因此非常脆弱且容易破损。特别是，在为了以高密度配置压力室并且确保压力室的体积变化产生的喷出性，而将振动板形成得更薄来提高振动板的顺应性时等，需要对支承层更深地蚀刻，需要进行加工以使支承层的残留厚度也更薄。硅晶片一般而言对晶片端部进行斜切加工来抑制应力向缺陷部集中，但在使支承层成为薄板时，有时即使通过斜切也无法充分抑制破损。因此，如果想要利用以往的方法制作纵横比高的间隔壁，则在制造中容易发生破损，生产效率难以提高。
[0010]另一方面，如专利文献1所述，如果使用光致抗蚀剂的抗蚀剂图案，通过镍(Ni)等的电镀在Si等的基板的表面制作间隔壁，则能够制作不具有解理面的间隔壁，因此不容易
发生由于弯曲应力等引起的破损。但是，通过光致抗蚀剂能够形成的图案的纵横比的极限是1/1左右，难以制作具有比其大的纵横比的间隔壁。
[0011]本专利技术基于上述见识而做成，其目的在于，提供具有间隔壁的纵横比更大的压力室、而且在制作时不容易发生破损的喷墨头及其制造方法以及具备该喷墨头的图像形成装置。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]上述课题通过如下喷墨头被解决，该喷墨头具有由于压电体的动作而振动的振动板、以及由于所述振动板的振动而体积变动的压力室，通过与所述振动板相接的区域由金属形成的间隔壁，所述压力室被与相邻的压力室或者流路划分开，所述间隔壁的纵横比为1.3以上。
[0014]另外，上述课题通过具有上述喷墨头的图像形成装置被解决。
[0015]专利技术效果
[0016]通过本专利技术，提供具有间隔壁的纵横比更大的压力室、而且在制作时不容易发生破损的喷墨头及其制造方法以及具备该喷墨头的图像形成装置。
附图说明
[0017]图1是表示基于喷墨法的图像形成装置的结构的示意图。
[0018]图2是表示在图1所示的图像形成装置中使用的本专利技术的第1实施方式中的喷墨头的概要的分解斜视图。
[0019]图3是表示本专利技术的第1实施方式中的喷墨头所具有的头片的概要的沿着图2中的线A
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A的截面图。
[0020]图4是表示本专利技术的第1实施方式中的喷墨头所具有的头片的概要的沿着图2中的线B
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B的截面图。
[0021]图5是表示与本专利技术的第1实施方式中的喷墨头相关的相邻的压力室的间隔(P)、间隔壁的宽度(W)及间隔壁的高度(t)的概念图。
[0022]图6A～图6C是表示制造本专利技术的第1实施方式中的喷墨头的工序的第1工序图。
[0023]图7A～图7D是表示制造本专利技术的第1实施方式中的喷墨头的工序的第2工序图。
[0024]图8A～图8D是表示制造本专利技术的第1实施方式中的喷墨头的工序的第3工序图。
[0025]图9是表示本专利技术的第2实施方式中的喷墨头所具有的头片的概要的沿着图2中的线B
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B的截面图。
[0026]图10A～图10C是表示制造本专利技术的第2实施方式中的喷墨头的工序的第1工序图。
[0027]图11A～图11E是表示制造本专利技术的第2实施方式中的喷墨头的工序的第2工序图。
[0028]图12A～图12C是表示制造本专利技术的第2实施方式中的喷墨头的工序的第3工序图。
具体实施方式
[0029]以下，关于本专利技术的实施方式参照附图详细进行说明。此外，在各图中对共通的部件赋予相同的标记。另外，本专利技术不限定于以下的方式。
[0030][第1实施方式][0031](图像形成装置及喷墨头)
[0032]本专利技术的第1实施方式中的图像形成装置除了具有后述的本实施方式所涉及的喷墨头以外，能够与公知的基于喷墨法的图像形成装置同样构成。
[0033]图像形成装置100如图1所示，具有喷墨头1、墨水供给装置120、输送装置130和主仓140。
[0034]喷墨头1具有用于将墨滴向作为被印刷品的纸张等记录介质150喷出的多个喷头。例如，在喷墨头1中构成为颜色不同的多种墨水分别被供给至特定的喷头。喷墨头1例如以在横穿要形成图像的记录介质150的输送方向X的方向上扫描自如的方式配置。关于喷墨头1的结构留待后述。
[0035]输送装置130是用于向喷墨头1输送记录介质150的装置。输送装置130例如具备传送带131以及旋转自如的进给辊132。传送带131由旋转自如的带轮133a、133b以及被张拉设置在这些带轮133a、133b上的环状的带134构成。进给辊132在与记录介质150的输送方向X上的上游侧的带轮133a对置的位置，以与带134夹持记录介质150并向带134上送出记录介质150的方式配置。
[0036]墨水供给装置120与喷墨头1一体地配置。墨水供给装置120按墨水的每个种类配置。例如，在使用Y(黄色)、M(品红色)、C(青色)及K(黑色)这4色的墨水时，墨水供给装置1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种喷墨头，具有由于压电体的动作而振动的振动板、以及由于所述振动板的振动而体积变动的压力室，通过与所述振动板相接的区域由金属形成的间隔壁，所述压力室被与相邻的压力室或者流路划分开，所述间隔壁的纵横比为1.3以上。2.如权利要求1所述的喷墨头，所述间隔壁的至少与所述振动板相接的区域由包含镍(Ni)的金属形成。3.如权利要求1或者2所述的喷墨头，所述间隔壁由多个间隔壁部件接合而成。4.如权利要求3所述的喷墨头，所述多个间隔壁部件的接合面的宽度不同。5.如权利要求3或者4所述的喷墨头，所述多个间隔壁部件包含从由硅、玻璃及不锈钢构成的组中选择的材料所形成的间隔壁部件。6.一种喷墨头的制造方法，包含如下工序：通过对抗蚀剂图案进行金属的电镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：江口秀幸，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达株式会社，
类型：发明
国别省市：