一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，其包括用于清洗的清洗机加药箱以及用于存储药液的储液腔，还包括液位传感器和浓度均衡机构，所述加药箱内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器，加药箱的顶端设置有浓度均衡机构；浓度均衡机构包括出液管、回液管、第一龙门架和电磁阀，加药箱一侧的底部均匀设置有若干个出液管，出液管的一端连接有回液管，加药箱顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架，第一龙门架的顶端插接有若干个加液管，本实用新型专利技术结构新颖，构思巧妙，将现有的加药箱的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5L改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1L，可以保证在清洗过程中储液腔的药剂浓度，减少因药剂浓度的问题导致的生产过程中的品质异常，保证硅片清洗品质。保证硅片清洗品质。保证硅片清洗品质。
【技术实现步骤摘要】
一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置
[0001]本技术涉及药剂浓度控制装置，具体为一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置。
技术介绍
[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]在清洗时会采用清洗机来进行清洗，现有的清洗机原有的加药箱截面积较大，相邻的液位高度传感器能测量的最小体积变化是500ml，这样液位高度传感器采集精度低，进而影响药液加入精度，影响浓度平衡，清洗效果差。
技术实现思路
[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，有效的解决了现有的清洗机原有的加药箱截面积较大，相邻的液位高度传感器能测量的最小体积变化是500ml，这样液位高度传感器采集精度低，进而影响药液加入精度，影响浓度平衡，清洗效果差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术包括用于清洗的清洗机加药箱以及用于存储药液的储液腔，还包括液位传感器和浓度均衡机构，所述加药箱内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器，加药箱的顶端设置有浓度均衡机构；
[0006]浓度均衡机构包括出液管、回液管、第一龙门架、加液管、加料斗、密封盖、第一通孔、横管、输液管、第二龙门架、第二通孔和电磁阀，加药箱一侧的底部均匀设置有若干个出液管，出液管的一端连接有回液管，加药箱顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架，第一龙门架的顶端插接有若干个加液管，加液管的顶端设置有加料斗，加料斗的顶端旋接有密封盖，加液管的底端连接有横管，回液管的一端与横管的一端连接，横管的另一端连接有输液管，加药箱顶端靠近另一侧位置处固定有第二龙门架，输液管穿过第二龙门架位于储液腔的底部，输液管的底端安装有电磁阀。
[0007]优选的，所述第一龙门架对应加液管位置处开设有第一通孔。
[0008]优选的，所述第二龙门架对应输液管位置处开设有第二通孔。
[0009]优选的，所述电磁阀与外部开关电性连接。
[0010]优选的，所述回液管和输液管为一种耐腐蚀材质的构件。
[0011]优选的，所述密封盖与加料斗通过螺纹连接。
[0012]有益效果：本技术使用时，将现有的加药箱的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5L改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1L，加液方式由原来的少次多量，改为多次少量，且加药箱截面积的减小，使得液位传感器测量的体积减小，从而提高液位传感器采集数据的精度，进而提高加药液机加药液的精度，保证清洗浓度的均匀性，采用现有的加液设备，保证每万片槽体内的药液浓度，保证清洗效果，同时在使用时，通过外部开关控制电磁阀关闭，将加料斗上的密封盖旋开，向加料斗加入清洗药液，加满后，密封盖旋紧在加料斗上，此时，通过外部开关控制电磁阀打开，此时，输液管及加料斗内的药液会经其一端流向储液腔的内部，在虹吸的作用下会使得回液管通过出液管将储液腔内的药液吸出，从而形成循环，直至液面平衡时，此时，通过横管上安装的水泵工作进行循环，保证加药箱内储液腔内的药液的均匀性，本技术结构新颖，构思巧妙，将现有的加药箱的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5L改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1L，可以保证在清洗过程中储液腔的药剂浓度，减少因药剂浓度的问题导致的生产过程中的品质异常，保证硅片清洗品质。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1是本技术整体结构示意图；
[0015]图2是本技术液位传感器安装结构示意图；
[0016]图3是本技术内部结构示意图；
[0017]图中标号：1、加药箱；2、储液腔；3、液位传感器；4、浓度均衡机构；5、出液管；6、回液管；7、第一龙门架；8、加液管；9、加料斗；10、密封盖；11、第一通孔；12、横管；13、输液管；14、第二龙门架；15、第二通孔；16、电磁阀。
具体实施方式
[0018]下面结合附图1
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3对本技术的具体实施方式做进一步详细说明。
[0019]实施例一，由图1
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3给出，本技术提供一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，包括用于清洗的清洗机加药箱1以及用于存储药液的储液腔2，还包括液位传感器3和浓度均衡机构4，加药箱1内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器3，加药箱1的顶端设置有浓度均衡机构4；
[0020]浓度均衡机构4包括出液管5、回液管6、第一龙门架7、加液管8、加料斗9、密封盖10、第一通孔11、横管12、输液管13、第二龙门架14、第二通孔15和电磁阀16，加药箱1一侧的底部均匀设置有若干个出液管5，出液管5的一端连接有回液管6，加药箱1顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架7，第一龙门架7的顶端插接有若干个加液管8，加液管8的顶端设置有加料斗9，加料斗9的顶端旋接有密封盖10，加液管8的底端连接有横管12，回液管6的一端与横管12的一端连接，横管12的另一端连接有输液管13，加药箱1顶端靠近另一侧位置处固定有第二龙门架14，输液管13穿过第二龙门架14位于储液腔2的底部，输液管13的底端安装有电磁阀16，加药箱1的宽度为10cm，横管12的中部安装有水泵。
[0021]实施例二
[0022]实施例一中加液管8通过不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，第一龙门架7对应加液管8位置处开设有第一通孔11，便于加液管8的穿过固定。
[0023]实施例三
[0024]实施例一中输液管13固定不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，第二龙门架14对应输液管13位置处开设有第二通孔15，便于输液管13的固定使用。
[0025]实施例四
[0026]实施例一中电磁阀16控制不便，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，电磁阀16与外部开关电性连接，便于电磁阀16的控制。
[0027]实施例五
[0028]实施例一中回液管6和输液管13性能不足，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，回液管6和输液管13为一种耐腐蚀材质的构件，使得回液管6和输液管13具有较好的耐腐蚀性能。
[0029]实施例六
[0030]实施例一中密封盖10安装不便，参照图3，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，包括用于清洗的清洗机加药箱(1)以及用于存储药液的储液腔(2)，其特征在于：还包括液位传感器(3)和浓度均衡机构(4)，所述加药箱(1)内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器(3)，加药箱(1)的顶端设置有浓度均衡机构(4)；浓度均衡机构(4)包括出液管(5)、回液管(6)、第一龙门架(7)、加液管(8)、加料斗(9)、密封盖(10)、第一通孔(11)、横管(12)、输液管(13)、第二龙门架(14)、第二通孔(15)和电磁阀(16)，加药箱(1)一侧的底部均匀设置有若干个出液管(5)，出液管(5)的一端连接有回液管(6)，加药箱(1)顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架(7)，第一龙门架(7)的顶端插接有若干个加液管(8)，加液管(8)的顶端设置有加料斗(9)，加料斗(9)的顶端旋接有密封盖(10)，加液管(8)的底端连接有横管(12)，回液管(6)的一端与横管(12)的一端连接，横管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾宝强，项燕峰，王欣，
申请(专利权)人：高佳太阳能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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