组装高纯度液体分配系统的方法和装置制造方法及图纸

一种用于组装高纯度液体分配系统的方法和装置。管道的远端部分被加热然后被推动到套筒上方，使得远端部分可以在套筒上方具有收缩密封配合，以减少管道从配件中意外或无意的拉出。还实现了其他益处，例如流过接头和管道的液体的最小流动约束。液体的最小流动约束。液体的最小流动约束。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】组装高纯度液体分配系统的方法和装置


[0001]本文描述的各种实施例和各个方面涉及用于组装高纯度液体分配系统的方法和装置。

技术介绍

[0002]高纯度液体分配系统需要相互连接的各种管道和其他部件，其控制在半导体制造中使用的液体的流动。液体分配系统在高温和高于大气压的压力下运行，因此具有某些独特的需求。在组装这些类型的高纯度液体分配系统时，存在某些缺陷。
[0003]因此，本领域需要一种用于组装高纯度液体分配系统的改进方法和装置。

技术实现思路

[0004]本文所描述的各个方面解决了本领域的缺陷。例如，显示了用于组装高纯度液体分配系统的机器、管道、套筒、配件和联管螺母。另外，本文描述了一种利用该机器、管道、套筒、配件和联管螺母组装高纯度液体分配系统的方法。本文描述的方法和装置允许在管道和套筒之间的收缩密封配合连接，以在接头被组装时提高管道的拔出强度。此外，接头中的变形被最小化以最小化通过接头的流体流动约束。另外，接头的内径在联管螺母被安装前和联管螺母被安装后以及从配件移除后是相同的。
[0005]更特别地，公开了一种将由PFA材料制成的管道连结到由PFA材料制成的套筒的方法。该方法可包括如下步骤：将加热主体加热至比PFA材料的软化温度低至少15摄氏度的温度；将管道的远端部分布置在形成于加热主体中的孔中，直至管道的远端部分处于柔韧状态；在心轴的柱形杆上布置套筒；用手握住管道；在用手握住管道时，将管道的远端部分从加热主体的孔中拉出；在移除步骤后10秒内，将被加热的管道的远端部分推到柱形杆和套筒上方；在推动步骤后10秒内，立即从心轴的柱形杆上移除被附接的管道和套筒；允许管道的远端部分保持在温度为15摄氏度至38摄氏度之间的空气中，直到管道的远端部分的温度低于38摄氏度。
[0006]该方法还可包括以与管道的外径相比更快的速率减小管道的内径以将管道的远端部分收缩到套筒上的步骤。
[0007]在该方法中，推动步骤可包括推动经加热管道的远端部分直到管道的远端部分的远端接触套筒的止动凸缘的步骤。
[0008]在该方法中，管道的内表面与套筒的扩大部分的外表面和套筒的直径被减小的柱形区段的外表面之间的连接百分比可等于或大于75％。连接百分比可在90％与96％之间。
[0009]在该方法中，移除步骤可在推动步骤之后的3秒内被执行。
[0010]在加热步骤中，加热主体可被加热至250摄氏度与290摄氏度之间的温度。
[0011]在另一方面，公开了一种用于将管道安装至套筒的机器。该机器可包括加热主体、加热器、控制器和心轴，加热主体具有内径大于管道外径的孔并且该孔具有大于套筒长度的3/4的深度；加热器与加热主体热连通以将热量从加热器传递到加热主体，以将加热主体
的温度升高至约管道材料的软化温度；控制器与加热器电连通并可操作以打开和关闭加热器；心轴与控制器相邻并且具有限定外径小于管道内径的柱形杆。
[0012]心轴还可具有在接合位置和脱离位置之间可滑动地布置在柱形杆的远端部分上的护圈套筒。在接合位置，与护圈套筒处于脱离位置时相比，多个臂可从护圈套筒和柱形杆的中心轴线向外展开至更大程度。
[0013]在另一方面，公开了一种将管道附接到配件的方法。该方法可以包括如下步骤：提供被布置在套筒上的管道，套筒和管道在彼此连结时限定配合挤压表面，其在套筒的扩大部分的基部和顶点之间延伸并具有圆锥形构造，管道和套筒的配合挤压表面在套筒的圆锥形表面的长度的至少75％上相互连接；将管道和套筒插入配件中；将螺母拧到配件的螺纹上，使得螺母的挤压表面接触并推靠在与配合挤压表面对齐的管道的外表面上；将螺母扭转到配件上；通过将螺母扭转到配件上至预定的水平，增加在圆锥形表面处的管道和套筒之间的连接。
[0014]在该方法中，被增加的连接的增量至少可为2％。
[0015]在该方法中，在螺母被扭转到配件上之后，连接百分比可为98％或更大。在该方法中，螺母可被扭转到配件上至一水平,该水平被限制在套筒、管道和配件的共同弹性极限的水平，以使得如果螺母在扭转步骤后被移除，则套筒的内径与螺母被扭转到配件上之前保持相同。
附图说明
[0016]参考以下描述和附图将更好地理解本文所公开的各种实施例的这些和其他特征及优点，其中相同的数字始终指代相同的部分，并且其中：
[0017]图1是用于连结管道和套筒的加热机器的透视图；
[0018]图2是图1所示的心轴的前视图，其中套筒被布置在心轴上方；
[0019]图2A是图2所示的心轴和套筒的横截面视图；
[0020]图2B是图2A所示的心轴和套筒的局部放大视图；
[0021]图3是心轴的前视图，其中套筒被布置在心轴上并且滑动保持的套筒处于向上的位置；
[0022]图3A是图3所示的心轴和套筒的横截面；
[0023]图3B是图3A所示的心轴和套筒的局部放大视图；
[0024]图4是心轴和套筒的前视图，其中滑动保持的套筒处于向下的位置；
[0025]图4A是图4所示的心轴和套筒的横截面视图；
[0026]图4B是图4A所示的心轴和套筒的局部放大视图，其中管道被布置在其上方；
[0027]图5是联管螺母、管道、套筒和配件的透视图；
[0028]图5A是联管螺母、管道、套筒和配件的前视图；
[0029]图6是管道和套筒在彼此被附接之前彼此被对齐的前视图；
[0030]图7是管道和套筒在它们被彼此附接之后的前视图；
[0031]图8是被连结的管道和套筒在彼此被附接之前与配件对齐的前视图；
[0032]图9是被连结的管道和套筒以及配件在它们被彼此附接之后的前视图；
[0033]图10是联管螺母被附接到配件之前，联管螺母和被连结的管道、套筒和配件的前
视图；
[0034]图11是在螺母被拧到图10所示的配件上之后，联管螺母和被连结的管道、套筒和配件的前视图；
[0035]图12是图11所示的组件的直立视图；
[0036]图12A是图12所示的组件的横截面视图；
[0037]图13是配件的透视图；
[0038]图13A是图13所示的配件的前视图；
[0039]图13B是图13A所示的配件的局部放大横截面视图；
[0040]图14是套筒的透视图；
[0041]图14A是图14所示的套筒的前视图；
[0042]图14B是图14A所示的套筒的局部放大横截面视图；
[0043]图15是管道的透视图；
[0044]图15A是管道的前视图；
[0045]图15B是图15A所示的管道的横截面视图；
[0046]图16是联管螺母的透视图；
[0047]图16A是图16所示的联管螺母的前视图；以及
[0048]图16B是图16A所示的联管螺母的横截面视图。
具体实施方式
[0049]现在参考附图，公开了包括用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种将由PFA材料制造的管道连结到由PFA材料制造的套筒的方法，所述方法包括以下步骤：将加热主体加热至比PFA材料的软化温度低至少15摄氏度；将所述管道的远端部分布置在形成于所述加热主体中的孔中，直到所述管道的所述远端部分处于柔韧状态；在心轴的柱形杆上布置套筒；用手握住所述管道；用所述手握住所述管道时，将所述管道的所述远端部分从所述加热主体的所述孔中拉出；在所述移除步骤后10秒内，将被加热的管道的所述远端部分推动到所述柱形杆和所述套筒上方；在推动步骤后10秒内，立即从所述心轴的所述柱形杆上移除被附接的所述管道和套筒；允许所述管道的所述远端部分保持在温度在15摄氏度和38摄氏度之间的空气中，直到所述管道的所述远端部分的温度低于38摄氏度。2.根据权利要求1所述的方法，还包括以比所述管道的外径更快的速率减小所述管道的所述内径以将所述管道的所述远端部分收缩到所述套筒上的步骤。3.根据权利要求1所述的方法，其中推动步骤包括推动被加热管道的所述远端部分直到所述管道的所述远端部分的远端接触所述套筒的止动凸缘的步骤。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述管道的内表面与所述套筒的扩大部分和所述套筒的直径减小柱形区段的所述外表面之间的连接百分比等于或大于75％。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述连接百分比在90％与96％之间。6.根据权利要求1所述的方法，其中移除步骤在推动步骤之后的3秒内执行。7.根据权利要求1所述的方法，其中在加热步骤中，所述加热主体被加热至250摄氏度至290摄氏度之间的温度。8.一种用于将管道安装至套筒的机器，所述机器包括：加热主体，其具有内径大于所述管道的外径的孔并且所述孔具有大于所述套筒的长度的3/4的深度；加热器，其与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：F，
申请(专利权)人：菲特莱公司，
类型：发明
国别省市：