异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置，包含摄像异形裁切玻璃基板的分割面的相机、于异形裁切玻璃基板的分割面照射光的照明装置、以及使用来自相机的资料以判定分割面的判定装置。相机及照明装置固定于支撑框，支撑框及/或异形裁切玻璃基板至少于x、y轴方向自由移动且在以z轴为旋转轴自由转动，相机及照明装置于y轴方向错开设置于与异形裁切玻璃基板同一平面的两侧。借由上述摄像的玻璃基板的分割缘检查装置，即使是在异形基板分割缘中，也可不受基板及相机等的干涉来检查分割缘。割缘。割缘。

【技术实现步骤摘要】
异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置


[0001]本技术涉及在制造液晶面板基板等制程中，于玻璃基板裁切步骤后检查玻璃基板分割缘的装置，更详细而言是关于一种异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置，即使是如裁切为异形的异形裁切玻璃基板中分割缘为曲面的情形，也可容易地检查。

技术介绍

[0002]以高精度裁切液晶面板基板等所使用的玻璃基板时，使用如图6的具有半径2mm左右的凹凸不平形状的刀尖21a的切割轮21，如图7所示，切割轮21 在于玻璃30表面切入2μm左右的状态下移动，且刀尖21a与玻璃30接触时会因冲击而产生称为肋(肋纹)32的重复性波形状剖面。
[0003]又，图8为由剖面方向观看图7，切割轮21的刀尖21a所形成的裂痕会从前端朝玻璃30内部高速切入为平坦度较高的垂直破裂。该破裂称为浸透33。该浸透33在与切刀压力施加方向几乎相同的方向前进，故几乎与玻璃面约成为直角。
[0004]又，图8中，刀尖21a进入部分为刀尖切口深度31d，从刀尖切口深度31d 到深处肋32深度为肋深度32d，浸透33深度为浸透深度33d，玻璃未分割且浸透33未到达领域深度为浸透外领域深度34d。
[0005]考虑到高精度的玻璃加工及搬送而需要分离切划步骤及分割步骤。因此，即使产生浸透33也需要于玻璃30残留有未破裂部分。
[0006]然而，若借由加压分割浸透33较浅状态的玻璃30，则会因随机存在于玻璃 30内部的微破裂及加压方式的非再现性，而有从浸透33前端大幅倾斜破裂的情形(参照图9中的虚线)。其会造成切口及缺口，会降低分割精度。
[0007]因此控制浸透33深度尽可能形成较深的浸透33，并减少随机裂痕的延伸距离，此对于提高玻璃裁切品质是非常重要的，但浸透33安定深度与肋深度32d 相关，因此，若因为切割轮21磨耗所造成不均一等而无法安定地形成肋32，则浸透深度33d也不安定，有产生上述不良的顾虑。
[0008]以往一般是从线上取出玻璃，于切为小片的玻璃片使用显微镜监视或摄像玻璃剖面状态。为了不从玻璃搬送线取出而自过去以来就有自动化需求，其分别对于玻璃端面从各种角度照光并检测不良(参照专利文献1至5)。
[0009]又，本技术申请人先前已提出其他方法，使用3D位移计检查玻璃剖面，该3D位移计使用雷射位移计将对象物平面影像(明暗的影像资料)及其到对象物的距离(对象物的高度)同时作为资料取出，将该资料与经深度学习的已学习资料比较，借此判定玻璃基板的切刀压入部、肋纹部、浸透部(参照专利文献6)。
[0010]又，本技术申请人也提出一种玻璃基板的分割缘检查装置作为其他方法，对于分割面从相异方向照射光而得复数摄像，将该复数摄像使用光学立体法而得分割面质地资料，使用该质地资料用同样方式使用深度学习等手法判定玻璃基板分割面的情形(参照专利文献7)。
[0011][
技术介绍
文献][0012][专利文献][0013]专利文献1：日本特开2012
‑
181032号公报。
[0014]专利文献2：日本特开2018
‑
187170号公报。
[0015]专利文献3：国际公开WO2012/153718。
[0016]专利文献4：国际公开WO2017/073628。
[0017]专利文献5：日本特开2019
‑
137606号公报。
[0018]专利文献6：日本技术登录第3224054号。
[0019]专利文献7：日本技术登录第3225922号。
[0020][新型所欲解决的课题][0021]又，上述检查中，若沿玻璃分割缘连续摄像时，分割缘与相机及照明无法保持固定的角度及距离，因分割缘与相机或照明的角度或距离会在各处改变，所得影像无法作为判断不良的判断材料，故将玻璃分割缘与相机及照明的位置关保持为固定是非常重要的。
[0022]又，通常在测量玻璃端面时，玻璃本身有镜面反射性质，且有玻璃剖面在垂直方向偏差正负角度的现象，故基本上用下述构造较为有利，也即与玻璃剖面垂直地配置相机，并可广泛对应玻璃剖面的方向偏差的构造。又，所要求光学离析较高，故为了使用较倍率较高的透镜而使景深较浅，需要以玻璃剖面到透镜的距离保持为固定距离的方式，在检查前进行对准。
[0023]在此，为了避免摄像玻璃基板a周围的分割面b的相机C与照射分割面b 的照明装置L互相干涉，故以往检查玻璃基板分割缘时，相机C与照明装置L 的一般配置如图10A(平面图)、图10B(前视图)所示，在与玻璃基板a相同的平面上稍微于横方向错开并配置。
[0024]在矩形状玻璃基板a的情形，分割缘部为直线状，故检查该分割缘时，在使相机C或照明装置L与玻璃基板a的分割缘的角度及距离维持为固定的状态下，使相机C或照明装置L或载置固定玻璃基板a的桌台相对直线地移动即可，例如电视用液晶等为四角形，故即使相对于分割面b而于侧面垂直配置光学系统，在实用上也不会有问题。
[0025]又，倾斜裁切四角形的角落部时、或如图11所示将四角形的角落部圆弧状地裁切(R cut)时，只要为根据G
‑
Code等移动的结构，并使相机C及照明装置L沿着所规定线G移动，则可追随该凸状的曲线部(以下称为凸状部E)。
[0026]但近年来液晶玻璃等发展智慧型手机用或车用显示器的应用，因应智慧型手机设计或配合车子的内装或镜子形状，其周围并非为矩形状而形成为曲面，也即形成为异形基板。检查该异形基板时，必需使所摄像分割缘与相机或照明的角度及距离固定，并沿着分割缘摄像。
[0027]又，异形基板可预先判别其形状，故将相机或照明或载置固定异形基板的桌台设置于移动体上，该移动体可在x、y方向自由移动且于以z轴为中心轴的θ方向自由转动，预先配合异形基板的外观形状而使移动体相对移动并摄像，借此可使玻璃基板分割缘与相机或照明的角度及距离保持为固定，借此可在分割缘全周连续检查。
[0028]该移动体在x、y轴方向的移动及在以z轴为旋转轴的θ方向的转动动作，以沿异形基板外观形状移动的结构的程式的数值控制而自动进行，故只要可高精度地驱动移动体，则不会有问题。
[0029]但是，异形基板的形状若有如图11的凸状部E，则有时也会有如图12所示凹状地进入内侧的曲线部(以下称为凹状部F)。该凹状部F中，相机C及照明装置L沿缘部相对移动时，在凹状部F会产生相机C或照明装置L与玻璃基板a的缘部产生干涉的问题。

技术实现思路

[0030]本技术为解决上述课题而提供一种借由摄像的异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置，即使在异形裁切玻璃基板的分割缘中基板与相机等也可在不干涉下检查分割缘。
[0031][解决课题的技术手段][0032]为了解决上述课题，本技术为一种异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置，其特征在于，包含：
[0033]桌台，其上表面供承载经异形裁切的玻璃基板的下表面；
[0034]吸取保持装置，用于使桌台上承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种异形裁切玻璃基板的分割缘检查装置，其特征在于，包含：桌台，其上表面供承载经异形裁切的玻璃基板的下表面；吸取保持装置，用于使桌台上承载的前述玻璃基板保持于该桌台；相机，配置于该桌台的边缘外侧，并能够对该玻璃基板的分割面摄像；照明装置，用于对该玻璃基板的分割面照射光，该相机能够捕捉在该玻璃基板的分割面所反射的该照明装置的光；以及判定装置，使用来自该相机的资料来判定分割面；其中，该相机及该照明装置固定于支撑框，该支撑框...

【专利技术属性】
技术研发人员：白井明，藤木慎一，
申请(专利权)人：白井科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：