【技术实现步骤摘要】
本技术属于微波管制造工艺领域，特别涉及到用于螺旋线型 行波管中的一种金属薄膜衰减器。技术背景目前螺旋线型慢波结构的行波管多数采用介质夹持杆碳膜衰减 器来进行对行波的衰减和谐波的抑制，这种衰减器的物理性能，由于 碳膜具有负的温度系数，随着温度的升高，衰减层电阻率下降，而衰 减层电阻率的下降反过来又使温度升得更高，使衰减层渐变段遭到破 坏，导致使用中衰减量很不稳定。与此同时，电子流轰击行波管内残存的碳氢化合物分子、CO和C02分子，产生的氢离子、碳原子和氧分子都会使碳膜遭离子轰击，逐渐散逸，并因氧化而蜕变，从而导致 这种薄膜衰减器失效。也就严重地威胁到行波管的使用寿命。如何制 造出可靠的薄膜衰减器，就成为行波管制造工艺中一个极受关注的问题了。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种稳定性好、使用寿命 长、密度高、吸收大的薄膜衰减器。本技术解决技术问题是采用以下技术方案来实现的， 一种金 属薄膜衰减器，它具有一个介质杆载体，其特征在于，沿载体轴向中部位置处有一层厚度逐渐增加的柳205金属氧化薄膜溅射层，溅射层厚度以微米计量。溅射过程是将介质杆载体置于磁控溅射镀膜机中进 行的。控制不同的温度和不同的溅射时间，可以获得不同的薄膜溅射 层厚度。所述薄膜溅射层渐变的厚度分布，是依据介质杆载体上要求 提供的衰减量分布值所对应的电阻值来确定。本技术与现有技术相比具有以下优点，这种厚度渐变的Nb20s金属氧化薄膜衰减器，对微波有优异的衰减性能，在使用中其 温度系数几近为零，随温度的升高电阻率无明显变化，热稳定性好； 可以经受管内电子及离子轰击而不耗散，也不会因氧...
【技术保护点】
一种金属薄膜衰减器，它具有一个介质杆载体，其特征在于，沿载体轴向中部位置处有一层厚度逐渐增加的Ｎｂ↓［２］Ｏ↓［５］金属氧化薄膜溅射层，溅射层厚度以微米计量。
【技术特征摘要】
1、 一种金属薄膜衰减器，它具有一个介质杆载体，其特征在于，沿载体轴向中部位置处有一层厚度逐渐增加的Nb205金属氧化薄膜 溅射层...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴华夏，贺兆昌，鲍林丽，沈旭东，邵海根，
申请(专利权)人：安徽华东光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。