【技术实现步骤摘要】
用于控制MEMS反射镜的线性轴线的系统
[0001]本公开涉及微机电系统(在下文中被称为“MEMS”)的领域。
技术介绍
[0002]如今，MEMS反射镜广泛被用于激光束扫描(LSB)应用——诸如增强现实(AR)、虚拟现实(VR)、3D感测、光检测和测距(LiDAR)——以用于以受控方式引导激光束，以便投影或检测图像。在这些应用中，一个或多个MEMS反射镜被驱动以根据光栅扫描模式反射激光束。
[0003]如本领域的技术人员所公知，MEMS反射镜是包括通过扭杆被悬挂在基底上方的反射镜芯片的MEMS设备。例如参考压电MEMS反射镜(但同样的考虑直接适用于其他种类的MEMS反射镜)，反射镜芯片响应于施加合适的驱动电压或电流而绕旋转轴线旋转，从而改变其偏转角。存在双轴线MEMS反射镜，被配置成绕两个不同的旋转轴线旋转。
[0004]MEMS反射镜被配置成在绕所谓的共振轴线旋转时根据共振模式操作，和/或被配置成在绕所谓的线性轴线旋转时根据线性模式操作(双轴线MEMS反射镜能够绕共振轴线和线性轴线两者旋转)。
[...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设备，包括：存储器；以及处理电路装置，被耦合到所述存储器，其中在操作中，所述处理电路装置：生成共振轴线驱动信号，来以共振频率驱动微机电系统MEMS反射镜系统；以及生成线性轴线驱动信号，来以对应于视频帧速率的线性频率驱动所述MEMS反射镜系统，生成所述线性轴线驱动信号包括：基于存储的形状值集合和所述视频帧速率的指示来使用插值生成当前形状值集合，以及使用所述当前形状值集合生成所述线性轴线驱动信号。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述线性频率是所述共振频率的非整数倍。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中通过基于所述视频帧速率的所述指示来对所述存储的形状值集合进行插值，生成所述当前形状值集合。4.根据权利要求3所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中基于扩展率来生成所述当前形状值集合中的、与具有基于所述共振频率的振荡频率的时钟信号的边沿对应的当前形状值，所述扩展率指示相对于对应于所述存储的形状值集合的持续时间与对应于所述当前形状值集合的持续时间的扩展度。5.根据权利要求4所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中：生成指示视频数据信号的实际视频帧速率的测量的视频帧速率测量；以及根据所述视频帧速率测量确定所述扩展率。6.根据权利要求5所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中：将对应于所述当前形状值集合的信号段的持续时间设置为对应于与所述存储的形状值集合对应的信号段的持续时间乘以所述扩展率的倒数的值。7.根据权利要求6所述的设备，其中信号段SS(j)包括：对应于时钟信号脉冲的迹线段，在该时钟信号脉冲期间，所述MEMS反射镜系统沿线性轴线被移动以引导激光束，以投影对应视频帧的扫描线105(i)；以及对应于时钟信号脉冲的回扫段，在该时钟信号脉冲期间，所述MEMS反射镜系统绕所述线性轴线的位置被重置，其中所述当前形状值集合包括对应于所述迹线段的第一数字值子集和对应于所述回扫段的第二数字值子集。8.根据权利要求7所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中在对应于所述迹线段的时钟信号脉冲期间将所述扩展率设置为常数值。9.根据权利要求8所述的设备，其中在对应于所述回扫段的时钟信号脉冲期间，所述处理电路装置在操作中将所述扩展率设置为以下项之间的比率：所述第一数字值L(m)子集的数字值的数目；以及所述第一数字值子集的所述数字值的数目减去频率误差校正项，所述频率误差校正项指示在所述线性频率与所述视频帧速率之间的偏移。10.根据权利要求9所述的设备，其中所述频率误差校正项等于所述第一数字值子集的所述数字值的数目减去所述视频帧速率测量。11.根据权利要求10所述的设备，其中所述处理电路装置在操作中：计算基本计数，所述基本计数在每个时钟信号脉冲处被递增对应于所述扩展率的实际
值的值；在每个时钟信号脉冲处，输出对应于所述基本计数的整数部分的对应第一计数值以及对应于所述基本计数的分数部分的对应第二计数值；在每个时钟信号处，根据所述第一计数值从所述存储的形状值集合之中选择一组数字值；以及通过根据所述第二计数值来设置相对于所述一组数字值的位置，通过对所述一组数字值进行插值来计算对应的当前形状值。12.一种系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：L，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。