一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件制造技术

本发明专利技术公开了一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，该器件由多个完全相同的单元以一定的规则排列在衬底表面而形成。所述的单元包括支撑柱、镜面和电极。支撑柱起到支撑镜面的作用，镜面中部下方与支撑柱相连，四周边缘悬空。电极位于镜面的正下方，即支撑柱的四周。镜面初始未工作时呈凹面，其曲率可由加工工艺决定。入射平行光照射到镜面，根据几何光学可知反射光将会发生汇聚。给镜面及电极施加一定的直流电势差，则由于静电力的吸引，镜面边缘会向下弯曲，从而使整个镜面由凹面变为凸面，因而将使反射光发散。本发明专利技术通过镜面的变形，可以实现汇聚光束的开启和关闭，从而完成了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件


[0001]本专利技术属于微机电系统
，特别涉及一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件。

技术介绍

[0002]MEMS微快门阵列可以实现多路并行光束的快速通断，具有响应速度快、可批量化生产、体积小、功耗低、与集成电路兼容性好等优点，在各类光学系统中均有十分重要的应用。
[0003]参照图1，是一类常规MEMS微快门阵列的结构示意图，图中显示了阵列中的5个微快门。每个微快门是由可旋转的两扇门组成，未启动时两扇门保持水平，使光通路关闭。当需要打开某个微快门时，通过外加电信号，控制该快门对应的电极，使两扇门各自向相反方向旋转，从而打开光通路，如图1中的第三个微快门所示。
[0004]参照图2，是上述微快门阵列用于某光学系统中的示意图。在其前方放置一个微透镜阵列，可以实现对入射光的分束。分束之后，通过微快门时，可以有选择的使不同的光束通过或被挡住。
[0005]如图可知，此时需要将微透镜与微快门阵列配合使用，存在二者之间在三个空间维度的对准问题、两个自由度的平行度校正问题、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：所述器件由多个完全相同的单元以一定的排列规则排列在衬底表面而形成；每个所述单元包括支撑柱、镜面和电极，其中，所述支撑柱位于镜面中央的下方，且二者相连，所述支撑柱能起到支撑镜面的作用，所述镜面四周边缘悬空，所述电极位于镜面的正下方，且位于支撑柱的四周；所述镜面初始未工作时呈凹面，当入射平行光照射到镜面时，从镜面反射的反射光能发生汇聚；当对镜面及电极施加一定的直流电势差，则由于静电力的吸引，镜面边缘会向下弯曲，从而使整个镜面由凹面变为凸面，因而将使所述反射光发散。2.根据权利要求1所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：所述镜面为多层结构。3.根据权利要求2所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：所述镜面为上下两层结构，其中，下层为较厚的结构层，存在残余压应力或无残余应力，上层为较薄的反射层，具有残余拉应力；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，汪为民，杨欢，方亮，张辉，李国俊，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：