振动元件制造技术

本发明专利技术提供一种振动元件，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。所述振动元件包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑第一端部的支撑部、以及可摆动地支撑可动部的扭力梁部；驱动源；以及保持构件，保持基板，在一对支撑梁部各自的第二端部，设有被固定于保持构件的固定部，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。保持构件。保持构件。

【技术实现步骤摘要】
振动元件


[0001]本专利技术涉及一种振动元件。

技术介绍

[0002]以往，已知有一种振动元件(例如参照专利文献1)。
[0003]所述专利文献1中公开了一种微镜元件(micro mirror device)，包括：微镜；扭杆(torsion bar)，可旋转地支撑微镜；以及驱动电极，驱动微镜。
[0004]此处，所述专利文献1所公开的微镜元件中，为了在低电压下加大镜的旋转角度，扭杆构成得柔软。但是，在扭杆上，不仅施加有使微镜旋转(摆动)时产生的旋转扭矩，还因微镜的重量等而施加有上下方向的力。因此，若使扭杆柔软，则扭杆会因上下方向的力而产生挠曲，从而对于微镜容易产生镜旋转(镜部的摆动)以外的位移。而且，尽管在所述专利文献1中未作明确记载，但认为会由于因使微镜摆动时产生的热的影响等导致扭杆产生挠曲，而对微镜产生镜旋转以外的位移。
[0005]因此，所述专利文献1所公开的微镜元件中，公开了一种结构：为了抑制镜的摆动以外的位移，对扭杆施加张力，由此，与旋转方向相比较，提高上下左右方向的刚性。具体而言，所述专利文献1所公开的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动元件，其特征在于，包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑所述一对支撑梁部各自的所述第一端部的支撑部、以及能摆动地支撑所述可动部的扭力梁部；驱动源，被设在所述支撑部，产生使所述可动部摆动的板波；以及保持构件，保持所述基板，在所述一对支撑梁部各自的所述第二端部，设有被固定于所述保持构件的固定部，所述固定部通过调整相对于所述保持构件的倾斜、沿着所述基板的表面的固定面内的相对于所述保持构件的固定位置、以及所述固定面内的固定的方向中的任一个，从而以所述一对支撑梁部各自在所述扭力梁部所延伸的第一方向上对所述扭力梁部朝远离所述可动部的方向施加有张力的状态而固定于所述保持构件。2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态被固定：通过彼此朝相反方向扭曲，调整了相对于所述保持构件的倾斜的状态，或者，通过所述一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲，调整了所述固定面内的相对于所述保持构件的固定位置的状态。3.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态固定于所述保持构件：所述固定部的所述第一方向上的部分中的靠近所述可动部一侧的第一部分以朝从所述可动部的背面侧朝向表面侧的方向旋转的方式而扭曲的状态，或者所述固定部的所述第一方向上的部分中的远离所述可动部一侧的第二部分以朝从所述可动部的表面侧朝向背面侧的方向旋转方式而扭曲的状态，或者所述一对支撑梁部以所述一对支撑梁部的所述第二端部彼此之间的距离比所述一对支撑梁部的所述第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲的状态。4.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，在所述固定部以扭曲的状态固定于所述保持构件的情况下，所述保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与所述固定部抵接的抵接面，所述抵接面以下述方式而倾斜，即，第一抵接部分与第二抵接部分在与所述可动部的表面正交的第二方向上处于互不相同的位置，所述第一抵接部分在所述第一方向上靠近所述可动部的一侧，所述第二抵接部分在所述第一方向上远离所述可动部的一侧。5.根据权利要求4所述的振动元件，其特征在于，所述抵接部包含抵接构件，所述抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田健一，种桥健治，田中史记，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，
类型：发明
国别省市：