一种用于微型晶片的石英扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于微型晶片的石英扩散炉，包括扩散炉体、驱动电机、第二锥形齿轮和第二轴承，所述扩散炉体内部设置有第一转动轴，所述扩散炉体外侧设置有进气管道，所述第一转动轴外侧设置有第一搅拌叶，且第一转动轴外侧设置有第一锥形齿轮，所述扩散炉体外侧设置有固定架，且扩散炉体外侧连接有驱动电机，所述扩散炉体内部设置有第二锥形齿轮，所述扩散炉体内部设置有第二轴承。该用于微型晶片的石英扩散炉，设置有第一转动轴、第一搅拌叶、第二转动轴、第一锥形齿轮，扩散气体在通过进气管道进入到扩散炉体内部时，将会通过第一转动轴与第二转动轴的搅拌，从而使扩散气体混合在一起，防止气体混合不够均匀，影响了成品质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微型晶片的石英扩散炉


[0001]本技术涉及石英扩散炉
，具体为一种用于微型晶片的石英扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散工序是整个硅太阳能电池制备中的最关键的工序，扩散工序生成PN结，而PN结的均匀性、可控性一直是太阳能电池研究领域的重点。常规电池为P型基底，需要扩散N型层，通常使用三氯氧磷作为磷源进行气源携带扩散，将硅片竖直并排插入石英舟内，再将石英舟水平放置在扩散炉管内进行加热并通入磷源进行扩散。在这个过程中磷源中的磷元素会均匀的进入硅片表面，从而得到我们需要的N型层。
[0003]但是现有的石英扩散炉在使用中存在以下不足，比如；
[0004](1)气体不能均匀使其进行扩散，现有的石英扩散炉在使用中不能够很好地对气体进行混合，导致在其进行扩散时，扩散不够均匀，从而使其扩散均匀性较差。
[0005](2)电阻扩散的不够均匀，现有的石英扩散炉在使用中气体是直接对石英舟进行扩散，而石英舟通常平躺着放置，这样就容易导致电阻扩散的不够均匀。
[0006]所以我们提出了一种用于微型晶片的石英扩散炉，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种用于微型晶片的石英扩散炉，以解决上述
技术介绍
提出的气体不能均匀使其进行扩散，导致在其进行扩散时，扩散不够均匀，从而使其扩散均匀性较差，电阻扩散的不够均匀，石英舟通常平躺着放置，这样就容易导致电阻扩散的不够均匀的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于微型晶片的石英扩散炉，包括扩散炉体、驱动电机、第二锥形齿轮和第二轴承，所述扩散炉体内部设置有第一转动轴，所述扩散炉体外侧设置有进气管道，所述第一转动轴外侧设置有第一搅拌叶，且第一转动轴外侧设置有第一锥形齿轮，所述第一转动轴外侧连接有第二转动轴，且第二转动轴外侧连接有第一轴承，所述扩散炉体内部设置有石英舟，且石英舟外侧连接有加热区，所述扩散炉体内部设置有圆形齿轮，所述第二转动轴外侧设置有第二搅拌叶，所述扩散炉体外侧设置有出气管道，所述扩散炉体外侧设置有固定架，且扩散炉体外侧连接有驱动电机，所述扩散炉体内部设置有第二锥形齿轮，所述扩散炉体内部设置有第二轴承。
[0009]优选的，所述第一转动轴与扩散炉体的连接方式为活动连接，且第一转动轴在扩散炉体上构成旋转结构。
[0010]优选的，所述第一转动轴与第一锥形齿轮的连接方式为固定连接，且第一转动轴通过第一锥形齿轮与第二转动轴相连接。
[0011]优选的，所述第二转动轴与第二搅拌叶的连接方式为固定连接，且第二转动轴与第一轴承的连接方式为活动连接。
[0012]优选的，所述石英舟与加热区的连接方式为活动连接，且石英舟在扩散炉体内部构成旋转结构。
[0013]优选的，所述石英舟外侧设置有齿轮结构，且石英舟的长度小于扩散炉体的高度。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于微型晶片的石英扩散炉；
[0015](1)设置有第一转动轴、第一搅拌叶、第二转动轴、第一锥形齿轮，扩散气体在通过进气管道进入到扩散炉体内部时，将会通过第一转动轴与第二转动轴的搅拌，从而使扩散气体混合在一起，防止气体混合不够均匀，影响了成品质量。
[0016](2)设置有第二轴承、圆形齿轮，可通过驱动电机带动第二锥形齿轮进行转动，从而使圆形齿轮进行转动，接着使石英舟进行转动，并且扩散炉体内部零件为耐高温零件，防止其高温失效，然后通过石英舟的转动时扩散气体均匀的分布在石英舟的表面上，使成品的质量更好。
附图说明
[0017]图1为本技术主体结构示意图；
[0018]图2为本技术图1中A结构示意图；
[0019]图3为本技术加热区侧剖结构示意图；
[0020]图4为本技术石英舟结构示意图。
[0021]图中：1、扩散炉体；2、第一转动轴；3、进气管道；4、第一搅拌叶；5、第一锥形齿轮；6、第二转动轴；7、第一轴承；8、石英舟；9、加热区；10、圆形齿轮；11、第二搅拌叶；12、出气管道；13、固定架；14、驱动电机；15、第二锥形齿轮；16、第二轴承。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种用于微型晶片的石英扩散炉，包括扩散炉体1、第一转动轴2、进气管道3、第一搅拌叶4、第一锥形齿轮5、第二转动轴6、第一轴承7、石英舟8、加热区9、圆形齿轮10、第二搅拌叶11、出气管道12、固定架13、驱动电机14、第二锥形齿轮15和第二轴承16，扩散炉体1内部设置有第一转动轴2，扩散炉体1外侧设置有进气管道3，第一转动轴2外侧设置有第一搅拌叶4，且第一转动轴2外侧设置有第一锥形齿轮5，第一转动轴2外侧连接有第二转动轴6，且第二转动轴6外侧连接有第一轴承7，扩散炉体1内部设置有石英舟8，且石英舟8外侧连接有加热区9，扩散炉体1内部设置有圆形齿轮10，第二转动轴6外侧设置有第二搅拌叶11，扩散炉体1外侧设置有出气管道12，扩散炉体1外侧设置有固定架13，且扩散炉体1外侧连接有驱动电机14，扩散炉体1内部设置有第二锥形齿轮15，扩散炉体1内部设置有第二轴承16。
[0024]第一转动轴2与扩散炉体1的连接方式为活动连接，且第一转动轴2在扩散炉体1上构成旋转结构，第一转动轴2与扩散炉体1的连接方式保证了第一转动轴2能够在扩散炉体1内部进行转动，并且在转动时与扩散炉体1的连接保持稳定。
[0025]第一转动轴2与第一锥形齿轮5的连接方式为固定连接，且第一转动轴2通过第一锥形齿轮5与第二转动轴6相连接，第一转动轴2与第一锥形齿轮5的连接方式保证了第二转动轴6能够随着第一转动轴2的转动带动第二转动轴6的转动，从而方便气体对石英舟8进行扩散。
[0026]第二转动轴6与第二搅拌叶11的连接方式为固定连接，且第二转动轴6与第一轴承7的连接方式为活动连接，第二转动轴6与第二搅拌叶11的连接方式保证了能够使第二搅拌叶11进行转动，并且第二转动轴6与第一轴承7的连接方式方便使第一轴承7对第二转动轴6继续固定。
[0027]石英舟8与加热区9的连接方式为活动连接，且石英舟8在扩散炉体1内部构成旋转结构，石英舟8与加热区9的连接方式保证了石英舟8能够进行旋转，从而使气体均匀分布在石英舟8表面。
[0028]石英舟8外侧设置有齿轮结构，且石英舟8的长度小于扩散炉体1的高度，石英舟8外侧设置有齿轮结构方便了使石英舟8进行转动，从而使气体均匀分布在石英舟8的表面。
[0029]工作原理：在使用该用于微型晶片的石英扩散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微型晶片的石英扩散炉，包括扩散炉体(1)、驱动电机(14)、第二锥形齿轮(15)和第二轴承(16)，其特征在于：所述扩散炉体(1)内部设置有第一转动轴(2)，所述扩散炉体(1)外侧设置有进气管道(3)，所述第一转动轴(2)外侧设置有第一搅拌叶(4)，且第一转动轴(2)外侧设置有第一锥形齿轮(5)，所述第一转动轴(2)外侧连接有第二转动轴(6)，且第二转动轴(6)外侧连接有第一轴承(7)，所述扩散炉体(1)内部设置有石英舟(8)，且石英舟(8)外侧连接有加热区(9)，所述扩散炉体(1)内部设置有圆形齿轮(10)，所述第二转动轴(6)外侧设置有第二搅拌叶(11)，所述扩散炉体(1)外侧设置有出气管道(12)，所述扩散炉体(1)外侧设置有固定架(13)，且扩散炉体(1)外侧连接有驱动电机(14)，所述扩散炉体(1)内部设置有第二锥形齿轮(15)，所述扩散炉体(1)内部设置有第二轴承(16)。2.根据权利要求1所述的一种用于微型...

【专利技术属性】
技术研发人员：常永喜，汤芳，王鑫桐，
申请(专利权)人：浙江浩锐石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：