【技术实现步骤摘要】
适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构
[0001]本技术涉及晶体加工设备领域，尤其涉及适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构。
技术介绍
[0002]提拉法晶体生长是人工晶体生长的主要方法之一，广泛应用于人工晶体科研生长各领域。该生长方法的加热部分主要分为两类：如图1所示，一类是采用射频感应加热（即将一个导电体的坩埚，放在射频加热线圈中，通过交变磁场的变化，在坩埚上产生了涡旋电流，在系统中坩埚既是载体同时也是加热体）；如图3所示，另一类是采用电阻加热（即将坩埚放在一个发热体内，当电流通过发热体后产生热量，热量辐射到坩埚上，在系统中发热体是一个电阻，坩埚是一个载体）。在很多科研工作中，根据不同晶体的生长特性，需要采用不同的加热方式，目前还没有能够同时满足这两种加热方式的使用设备。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构。
[0004]本技术采用的技术方案是：
[0005]适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构，其包括高温炉的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构，其特征在于：其包括高温炉的射频感应加热电源和接线座，接线座具有三个接线端，射频感应加热电源的两个输出引脚分别连接第一接线端和第二接线端，第一接线端和第二接线端作为感应加热器的接入端子；一微阻电感的一端连接第二接线端，微阻电感的另一端连接第三接线端，第一接线端和第三接线端作为电阻加热器的接入端子。2.根据权利要求1所述的适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构，其特征在于：射频感应加热电源包括依次串联的3相桥式整流电路和IGBT全桥逆变电路，3相桥式整流电路的输入端连接三相电源，3相桥式整流电路将交流电变为直流电，IGBT全桥逆变电路将直流电逆变成工作频率的中频电并输出。3.根据权利要求2所述的适用于感应加热与电阻加热双用高温炉的供电结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐学珍，曹景仪，毕海，赵海亮，何战斌，
申请(专利权)人：长汀雷生科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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