透射式Ｘ射线管及其制造方法技术

使钎焊固定了保持阴极丝（７）的电极引线（４）、密封件（５）以及排气管（２）等的管座基部（１）与钎焊固定了Ｘ射线发射窗（９）的发射窗框体（８）焊接接合，并焊接接合所述密封件（５）的另一端（５２）和所述发射窗框体（８）的开放端（８３）。因此，提供了高品质、长寿命且廉价的透射式Ｘ射线管。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及X射线管，特别涉及透射式X射线管及其制造方法。
技术介绍
X射线管用作医疗用伦琴射线装置、工业用测量装置的X射线源，这些X射线管大致分为回转阳极X射线管、固定阳极X射线管，上述透射式X射线管属于上述固定阳极X射线管的范畴或形成独自的分类。近些年来，X射线管如在专利文献1中所披露的那样，其用途也扩大至除静电装置的X射线源。专利文献1涉及对带电的薄膜或纸等消除静电的除静电装置以及除静电方法，在被除静电物体上照射X射线以同时对被除静电物体的两个面进行除静电。这样，在薄膜、纸等的制造和加工、粉末或液体的填充、以及半导体或显示装置等的制造、检查工序等中，除静电成为重要的课题。在专利文献2中记载了用于除静电装置的透射式X射线管。在专利文献2中记载的透射式X射线管中，通过陶瓷管支承竖立设置有阴极管脚的陶瓷管座部和在下表面蒸镀有靶极金属的射出窗并对它们相互进行钎焊，进而，沿着上述陶瓷管的内周面设置集束电极，同时，通过柱部和球管夹持该集束电极的下端部。专利文献1特开平7-6859号公报专利文献2特许平9-180660号公报
技术实现思路
在专利文献2中披露的透射式X射线管在集束电极的设置结构上具有特点，从而可以很好地确保耐电压。但是，专利文献2中披露的X射线管在陶瓷柱部和在下表面蒸镀有靶极金属的射出窗之间设有陶瓷球管。即，由于在两处使用了陶瓷部件，因此，在操作中必须注意。另外，对于以往的X射线管而言，难以降低制造成本。由于必须在柱侧和射出窗侧同时进行钎焊作业，因此，制造需花费时间。另外，专利文献2的透射式X射线管必须具有使在柱侧和射出窗侧两侧使用的钎料不同的特性，因此，作业工序复杂。所以难以进行批量生产。另外，射出窗侧和陶瓷球管的钎焊工序要在将钨线圈(阴极丝)安装在阴极管脚的工序之后进行。因此，应将钨线圈以及固定钨线圈的阴极管脚暴露于高温下，并对钨线圈以及阴极管脚的固定部进行加热，结果，钨线圈以及阴极管脚的固定会松弛。另外，存在丝的特性及寿命恶化的问题，从而会担心缺乏可靠性。通过焊接接合由绝缘材料制成并保持阴极丝的管座基部与在封闭端具有X射线发射窗的帽状发射窗框体，并焊接接合一端与上述管座基部钎焊固定在一起的大致筒状密封件的另一端与上述发射窗框体的开放侧，由此能解决上述课题。根据技术方案1记载的专利技术，可以同时将电极引线和密封件以及排气管等钎焊至管座基部上。在钎焊各个部件之后，通过焊接来实现密封件和窗框体的气密性结合，从而在球管的制造中，不需要使阴极丝暴露于高温下的工序。另外，由于阴极丝和阴极引线的固定部未处于高温中，因此，能够防止固定部松弛。进而，能确保阴极丝所希望的特性及寿命的延长，从而可获得高品质、长寿命且廉价的透射式X射线管。根据技术方案2记载的专利技术，由于管座基部呈帽状，因此，易于实现与密封件的钎焊固定，同时，能够降低密封件的高度，所以，能够提高成品球的机械强度。根据技术方案3记载的专利技术，能够通过护罩使管座基部和密封件的接合部与电极引线屏蔽隔离。例如，即使管座基部的金属喷镀层在球管工作中蒸发，仍能阻止其附着至电极引线等的电极部分上，从而能够抑制耐电压特性降低。根据技术方案4记载的专利技术，管座基部的表面绝缘性优良。耐电压提高。进行银钎焊时的耐热性优良。另外，还易于整形，并且，批量生产性也优良。根据技术方案5记载的专利技术，电极引线的固定牢固并且能够以高精度保持阴极丝和发射窗的间隔，并防止球管的特性变化以获得焦点尺寸变化或X射线输出变化较小的高品质、长寿命的透射式X射线管。根据技术方案6记载的专利技术，不必考虑与管座基部的固定，可自由选择阴极引线与阴极丝的固定侧的材料，材料选择的自由度增大，同时，能够进一步确保固定的可靠性，并且，能够确保阴极丝和发射窗的间隔为规定值，提高特性。另外，对于电极引线的管座基部的材料而言，无需考虑对阴极丝固定的影响，可以选择最适于与管座基部的固定的材料，从而提高了作业性。根据技术方案7记载的专利技术，在阴极丝与电极引线接合时，能够防止阴极丝的脚部变形、电子发射部的变形、电子发射部位移的发生。另外，能够以高精度保持阴极丝和发射窗的间隔，并防止球管的特性变化，以获得高品质、长寿命的透射式X射线管。根据技术方案8记载的专利技术，通过有效地组合钎焊和焊接接合，从而无需使阴极丝与电极引线的接合部暴露于高温下的工序，因此，能够确保阴极丝所希望的特性以及长寿命，并防止球管的特性变化，从而获得高品质、长寿命的透射式X射线管。根据技术方案9记载的专利技术，在易于进行焊接作业的同时，不会发生焊接部分的变形和断裂，能够确保气密性接合的可靠性。根据技术方案10记载的专利技术，通过筐体内的加热与排气的组合能够使阴极丝电流形成小电流，从而能够确保阴极丝所希望的特性以及长寿命，并防止球管的特性变化，以获得高品质、长寿命的透射式X射线管。根据技术方案11记载的专利技术，可以在管座基部同时钎焊电极引线和密封件以及排气管等。在钎焊各个部件之后，通过焊接来实现密封件和窗框体的气密性结合，从而在球管的制造中，无需使阴极丝暴露于高温下的工序。另外，由于阴极丝和阴极引线的固定部未处于高温中，因此，能够防止固定部松弛。进而，能确保阴极丝所希望的特性以及寿命的延长，从而可获得高品质、长寿命的透射式X射线管。附图说明图1显示了本专利技术的透射式X射线管的一个实施例，图1(a)为俯视图，图1(b)为主视图，图1(c)为仰视图。图2为沿图1(a)中I-I线的剖面主视图。图3为图2的局部放大图。图4为与图2对应的剖视图，其显示了本专利技术中透射式X射线管的另一实施例。图5为与图2对应的剖视图，其显示了本专利技术中透射式X射线管的另一实施例。图6为与图2对应的剖视图，其显示了本专利技术中透射式X射线管的另一实施例。图7为与图2对应的剖视图，其显示了本专利技术中透射式X射线管的另一实施例。图8为用于说明本专利技术的透射式X射线管的制造方法的管座基部侧构造体的剖视图。图9为用于说明本专利技术的透射式X射线管的制造方法的发射窗框体侧构造体的剖视图。图10为用于说明本专利技术的透射式X射线管的制造方法的底座构造体的剖视图。图11为用于说明本专利技术的透射式X射线管的制造方法的封闭球的剖视图。图12为模式主视图，其显示了在本专利技术的透射式X射线管的制造方法中使用的排气装置的一个例子。图13为本专利技术中透射式X射线管的制造方法的流程图。标号说明1、10、20管座基部2排气管3端子4、14电极引线5、15、25、35密封件6护罩7阴极丝71脚部8放射窗框体9放射窗111、112、113贯通孔16底座构造17未密封管18排气装置 具体实施例方式本专利技术的透射式X射线管设有将电子发射至已排气的外围容器中的阴极丝。X射线管的外围容器包括绝缘性的管座基部、在前面具有用于射出X射线的窗的框体、连接管座基部和框体的密封件和排气管。管座基部具有用于使电极引线穿过的多个贯通孔和与排气管相连的排气孔。穿过管座基部的电极引线在X射线管内与X射线射出窗相对并保持阴极丝。另外，电极引线在X射线管外与用于向上述阴极丝供给电流的端子相连。通过钎焊材料固定框体和X射线射出窗，通过钎焊材料固定管座基部和密封件，通过焊接来熔化被焊接部件以固定密封件和框体。下面，利用实施例对本专利技术的实施方式进行详细说明。实施例1图1～3对本专利技术的透射式本文档来自技高网...

【技术保护点】
透射式Ｘ射线管，其特征在于，其设有：具有多个贯通孔且由绝缘材料制成的管座基部；以一端固定在该管座基部上且另一端从管座基部上表面分离的方式延伸的多个电极引线；固定在该电极引线的所述另一端的阴极丝；与该阴极丝相对并且在封闭端设有贯通部的帽状发射窗框体；气密性封闭该帽状发射窗框体的所述贯通部的Ｘ射线透过发射窗，气密性地将一端焊接接合在所述帽状发射窗框体的开放端并且使另一端与所述管座基部气密接合的大致筒状密封件；和排气管，使一端与所述管座基部的底面气密接合且使另一端沿从所述底面分离的方向延伸，对管内进行真空排气之后，进行气密性封闭。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-4-7 113170/20041.透射式X射线管，其特征在于，其设有具有多个贯通孔且由绝缘材料制成的管座基部；以一端固定在该管座基部上且另一端从管座基部上表面分离的方式延伸的多个电极引线；固定在该电极引线的所述另一端的阴极丝；与该阴极丝相对并且在封闭端设有贯通部的帽状发射窗框体；气密性封闭该帽状发射窗框体的所述贯通部的X射线透过发射窗，气密性地将一端焊接接合在所述帽状发射窗框体的开放端并且使另一端与所述管座基部气密接合的大致筒状密封件；和排气管，使一端与所述管座基部的底面气密接合且使另一端沿从所述底面分离的方向延伸，对管内进行真空排气之后，进行气密性封闭。2.根据权利要求1所述的透射式X射线管，其特征在于，所述管座基部为具有封闭端的帽状，在所述封闭端设有所述多个贯通孔。3.根据权利要求1或2所述的透射式X射线管，其特征在于，所述密封件在与所述管座基部的气密接合部与所述电极引线之间设有护罩。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的透射式X射线管，其特征在于，所述管座基部由陶瓷构成。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的透射式X射线管，其特征在于，所述电极引线的所述一端穿过所述管座基部的贯通孔并与管座基部固定在一起。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的透射式X射线管，其特征在于，所述电极引线由材质不同的多条金属线的结合体构成。7.根据权利要求1～6中任意一项所述的透射式X射线管，其特征在于，通过所述电极引线夹持所述阴极丝的脚部。8.透射式X射线管的制造方法，其中，透射式X射线管设有具有多个贯通孔且由绝缘材料制成的管座基部；以一端固定在该管座基部上且另一端从管座基部上表面分离的方式延伸的多个电极引线；固定在该电极引线的所述另一端的...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤雄一，森池徹，细谷清治，坛芳彦，大塚诚，
申请(专利权)人：株式会社日立医药，
类型：发明
国别省市：JP[日本]