一种彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法技术方案

本发明专利技术是关于一种彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法，所述系统包括：数据库模块，用于获取第一彩色玻璃信息、第一膜系结构组成信息及磁控溅射信息；磁控溅射模块，其与所述数据库模块连接，用于接收所述数据库模块发送的磁控溅射信息，执行彩色玻璃的每层膜系材料的磁控溅射；在线检测模块，其与所述磁控溅射模块及数据库模块连接，用于执行每层膜系材料信息的在线检测。本发明专利技术提供的彩色玻璃磁控溅射制备系统可大面积生产、精准控制玻璃透过反射颜色，是实现室内颜色呈中性或接近中性的可靠保障。另外设备安装、改造成本低，因此具有广阔的市场应用前景。市场应用前景。市场应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法


[0001]本专利技术涉及一种彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法，属于镀膜装备领域。

技术介绍

[0002]彩色玻璃通过透射和反射展现不同色彩，冷暖色调皆有，在建筑设计中独具一格。目前其色彩多来源与“中间膜
”‑
在夹胶层中混合颜料制备而成，颜色显示种类多，但其染料为有机物，耐紫外性能差，长期户外使用，颜色饱和度下降，观赏性降低。另外为实现多种色彩，需要多台挤出机共挤，这种方法成本高昂且不易实现。而在玻璃上镀膜则可以避免夹胶层产生的问题，并能产生炫彩的效果，其炫彩可以通过材料厚度的变化产生；也可以通过材料成分的改变；或者材料厚度成分同时变化。但在炫彩工艺的实现上，目前设备普遍存在着最终结果远离设计要求，无法满足应用要求的问题，这主要与镀膜设备有关，目前市场上没有专门针对颜色玻璃的磁控溅射设备，往往都是由离线LowE镀膜线改造而成，导致工艺控制上很难满足设计需求，也大大减小了颜色玻璃市场应用范围，另外现有的炫彩玻璃极易造成光污染，影响室内人员的视觉舒适度，尽管设计上可以解决此问题，但缺少合适的设备和控制工艺解决此问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法，该设备生产的彩色玻璃，可减轻光污染，提高室内人员视觉舒适度，进而增加了产品的市场竞争力。
[0004]本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本专利技术提出的一种彩色玻璃磁控溅射制备系统，包括：
[0005]数据库模块，用于获取第一彩色玻璃信息、获取所述第一膜系结构组成信息及磁控溅射信息，所述第一彩色玻璃信息至少包括透过率、透过光谱、反射率、反射光谱、透过颜色或反射颜色以及对应的第一制备工艺信息；所述第一膜系结构组成信息至少包括：彩色玻璃的每层膜系材料组成、彩色玻璃每层膜系材料的功率、氩气的流量、氧气的流量、氮气的流量、镀膜时间以及彩色玻璃的每层材料随着厚度变化的光谱、颜色变化；所述磁控溅射信息至少包括镀膜的次数、溅射速率及每次镀膜的厚度；
[0006]磁控溅射模块，其与所述数据库模块连接，用于接收所述数据库模块发送的磁控溅射信息，执行彩色玻璃的每层膜系材料的磁控溅射；
[0007]在线检测模块，其与所述磁控溅射模块及数据库模块连接，用于执行每层膜系材料的在线检测，并将在线检测的第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息传送给数据库模块与所述数据库模块获取的第一彩色玻璃信息或第一膜系结构组成信息进行比较。
[0008]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中所述磁控溅射模块包括多个依次相间连接为一体的镀膜腔体和过渡腔体，所述镀膜腔体内设有布气单元及用于固定靶材的一对阴极，所述过渡腔体内设有在线检测模块，所述在线检测模块与控制模块通讯连接。
[0009]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中所述在线检测模块包括光源、透射光谱仪及发射光谱仪，所述光源连接有光源光纤，所述发射光谱仪连接有发射光纤，所述透射光谱仪连接有多个透射光纤，多个透射光纤设于所述光源光纤的周围。
[0010]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中还包括树脂层，所述树脂层包覆所述光源光纤及反射光纤。
[0011]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中所述布气单元包括多个气路组，每个所述气路组包括总气路，所述总气路分别连接并联设置的第一支路和第二支路，所述第一支路为氩气气路；所述第二支路包括并联设置的氮气气路及氧气气路。
[0012]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中所述氩气气路、氮气气路及氧气气路还分别包括氩气源、氮气源及氧气源，以及与各气源连接的过滤器、气动切断阀、流量计；所述镀膜腔体和过渡腔体内分别设有真空计。
[0013]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中所述彩色玻璃包括玻璃基底，以及所述玻璃基的两个表面交替层叠的多个膜层。
[0014]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其中还包括控制模块，其分别连接并控制数据库模块、在线检测模块及磁控溅射模块的动作。
[0015]本专利技术的目的及解决其技术问题还可以采用以下技术方案来实现。本专利技术提出的一种彩色玻璃磁控溅射制备方法，包括以下步骤：
[0016]获取第一彩色玻璃信息，所述第一彩色玻璃信息至少包括透过率、透过光谱、反射率反射光谱、透过颜色或反射颜色以及对应的制备工艺信息；
[0017]获取与所述第一彩色玻璃信息对应的第一膜系结构组成信息，所述膜系结构组成信息至少包括：彩色玻璃的每层膜系材料组成、彩色玻璃每层膜系材料的功率、氩气的流量、氧气的流量、氮气的流量、镀膜时间以及彩色玻璃的每层材料随着厚度变化的光谱、颜色变化；
[0018]根据所述膜系结构组成信息获取磁控溅射信息，所述磁控溅射信息至少包括镀膜的次数、溅射速率及每次镀膜的厚度；
[0019]利用磁控溅射信息对每层膜系材料进行磁控溅射；
[0020]通过在线检测每层膜系材料，获取第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息，并和所述第一彩色玻璃信息或第一膜系结构组成信息进行比较。
[0021]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备方法，其中所述通过在线检测每层膜系材料，获取第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息，并和所述第一彩色玻璃信息或第一膜系结构组成信息进行比较，具体包括：将在线检测的第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息传送给数据库模块与该数据库模块存储的所述第一彩色玻璃信息或第一膜系结构组成信息进行比较；若对应的二者比较的差异大于设定值，则在所述彩色玻璃的各层膜系材料基础上，进行新的各层膜系结构设计；若对应的二者比较的差异小于设定值，则由磁控溅射模块继续执行彩色玻璃的每层膜系材料的磁控溅射。
[0022]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备方法，其中所述差异包括：透射率或反射率的偏差小于
±
2.5％，颜色的色差小于等于3.0CIELAB。
[0023]优选地，前述的彩色玻璃磁控溅射制备方法，其中所述在线检测每层膜系材料，获取第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息的步骤包括：光源发出的光通过光源光纤传
到彩色玻璃表面，反射的光通过反射光纤接收进入反射光谱仪得到反射光谱，透过的光通过透射光纤接收进入透过光谱仪得到透过光谱，将反射光谱、透过光谱分别传送给数据库模块；优选的对于多个点同时测试时，使用同一个光源，通过光纤进行分光，保障光源的一致性，有利于测试结果的相互比较和颜色的精准实现。
[0024]与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
[0025]本专利技术提供的彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法，可大面积生产、精准控制玻璃透过反射颜色，是实现室内颜色呈中性或接近中性的可靠保障，对于改善室内人员视觉舒适度至关重要；另外，所述彩色玻璃磁控溅射制备系统的设备安装、改造成本低，因此具有广阔的市场应用前景。
[0026]本专利技术提供的彩色玻璃磁控溅射制备系统及方法，可实现设计目标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，包括：数据库模块，用于获取第一彩色玻璃信息、第一膜系结构组成信息及磁控溅射信息，所述第一彩色玻璃信息至少包括透过率、透过光谱、反射率、反射光谱、透过颜色或反射颜色以及对应的第一制备工艺信息；所述第一膜系结构组成信息至少包括：彩色玻璃的每层膜系材料组成、彩色玻璃每层膜系材料的功率、氩气的流量、氧气的流量、氮气的流量、镀膜时间以及彩色玻璃的每层材料随着厚度变化的光谱、颜色变化；所述磁控溅射信息至少包括镀膜的次数、溅射速率及每次镀膜的厚度；磁控溅射模块，其与所述数据库模块连接，用于接收所述数据库模块发送的磁控溅射信息，执行彩色玻璃的每层膜系材料的磁控溅射；在线检测模块，其与所述磁控溅射模块及数据库模块连接，用于执行每层膜系材料的在线检测，并将在线检测的第二彩色玻璃信息或第二膜系结构组成信息传送给数据库模块与所述数据库模块获取的第一彩色玻璃信息或第一膜系结构组成信息进行比较。2.如权利要求1所述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，所述磁控溅射模块包括多个依次相间连接为一体的镀膜腔体和过渡腔体，所述镀膜腔体内设有布气单元及用于固定靶材的一对阴极，所述过渡腔体内设有在线检测模块，所述在线检测模块与控制模块通讯连接。3.如权利要求2所述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，所述在线检测模块包括光源、透射光谱仪及发射光谱仪，所述光源连接有光源光纤，所述发射光谱仪连接有发射光纤，所述透射光谱仪连接有多个透射光纤，多个透射光纤设于所述光源光纤的周围。4.如权利要求3所述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，还包括树脂层，所述树脂层包覆所述光源光纤及反射光纤。5.如权利要求2所述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，所述布气单元包括多个气路组，每个所述气路组包括总气路，所述总气路分别连接并联设置的第一支路和第二支路，所述第一支路为氩气气路；所述第二支路包括并联设置的氮气气路及氧气气路。6.如权利要求5所述的彩色玻璃磁控溅射制备系统，其特征在于，所述氩气气路、氮气气路及氧气气路还分别包括氩气源、氮气源及氧气源，以及与各气源连接的过滤器、气动切断阀、流量计；所述镀膜腔体和过渡腔体内分别设有真空计。7...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟政，高辉，王伟才，宋猛，余刚，汪洪，张忠伦，
申请(专利权)人：中建材科创新技术研究院山东有限公司，
类型：发明
国别省市：