一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用技术

本发明专利技术公开一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用，将预处理后的Al2O3陶瓷管浸入ZnO籽晶溶液中，超声，风干，重复上述步骤5～30次得到具有ZnO前驱体膜的Al2O3陶瓷管，进行热处理，得到具有ZnO种子层衬底的Al2O3陶瓷管；将具有ZnO种子层衬底的Al2O3陶瓷管浸入ZnO纳米棒生长液中，进行水热反应得到具有ZnO前驱体薄膜的Al2O3陶瓷管；对具有ZnO前驱体薄膜的Al2O3陶瓷管进行煅烧得到具有ZnO纳米棒薄膜的Al2O3陶瓷管；本发明专利技术采用水热法直接在Al2O3陶瓷管衬底上生长ZnO纳米棒阵列，简单高效，避免了传统涂敷法引起的测量误差，极大地提高了气敏材料的稳定性。极大地提高了气敏材料的稳定性。极大地提高了气敏材料的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用


[0001]本专利技术属于气敏材料制造
，具体属于一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用。

技术介绍

[0002]随着大气污染程度的日益加深，世界各地陆续出现长时间雾霾天气，大气中除有害健康的小颗粒和烟尘外，更严重的是有毒和刺激性气体，如H2S、SO
X
、NO
X
、有机物等。因有毒物质多以气相存在，难以通过过滤的手段去除，只能通过检测和净化来确保环境安全和人类健康，因此利用气体传感器对大气或人们生产和生活的废气进行检测尤为重要。此外，气体传感器在智能建筑、清洁能源汽车和无线传感器网络等领域具有潜在应用。
[0003]半导体金属氧化物ZnO在物理、化学、声学、电学、磁学、光催化等各个方面都有非常广泛的应用，并且成本低、化学稳定性好、热稳定性好。传统的水热法制备ZnO传感器，通常是先水热制备ZnO粉末，之后称取一定量置于研钵中并加入松油醇，随后研磨至浆糊状，蘸取少量均匀涂抹在陶瓷管表面，多次操作使样品在陶瓷管表面能够成膜，放入干燥箱中烘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件，其特征在于，所述Al2O3陶瓷管外表面具有ZnO纳米棒薄膜，所述ZnO纳米棒薄膜为沿晶体方向生长的ZnO单晶纳米棒阵列。2.权利要求1所述一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：S1将预处理后的Al2O3陶瓷管浸入ZnO籽晶溶液中，超声，风干，重复上述步骤5～30次得到具有ZnO前驱体膜的Al2O3陶瓷管，进行热处理，得到具有ZnO种子层衬底的Al2O3陶瓷管；S2将具有ZnO种子层衬底的Al2O3陶瓷管浸入ZnO纳米棒生长液中，进行水热反应得到具有ZnO前驱体薄膜的Al2O3陶瓷管；S3对具有ZnO前驱体薄膜的Al2O3陶瓷管进行煅烧得到具有ZnO纳米棒薄膜的Al2O3陶瓷管。3.根据权利要求2所述的一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述预处理为将Al2O3陶瓷管放入体积比为1:1:1的无水乙醇
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丙酮
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异丙酮混合溶液中，超声清洗，烘干。4.根据权利要求2所述的一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述Zn...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敬忠，白杨，雷聪，汤玉斐，赵康，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：