下载一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用的技术资料

文档序号:31505302

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本发明公开一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用,将预处理后的Al2O3陶瓷管浸入ZnO籽晶溶液中,超声,风干,重复上述步骤5~30次得到具有ZnO前驱体膜的Al2O3陶瓷管,进行热处理,得到具有ZnO种子层衬底的Al2O3陶瓷...
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