【技术实现步骤摘要】
一种基于高折射率介质基底的微透镜
[0001]本专利技术涉及微纳光学及光学成像
，特别涉及一种基于高折射率介质基底的微透镜。
技术介绍
[0002]透镜的有限孔径尺寸会对入射光线发生衍射，这导致透镜无法把光线会聚成无限小的点，而只会在焦点上形成具有一定能量分布的艾里斑。一般来说，通过任何光学仪器成像的过程都可以认为是把物体上的无数微小的点转换成艾里斑图案，然后再把它们叠加起来，所以，所成的像无法精确地描述物体的所有细节。当两个艾里斑的最小可分辨距离为一个圆斑中心与另一个圆斑边缘重合的时候，该距离也叫做瑞利判据。透镜的成像像点大小受限于瑞利判据，即0.61λ/NA，该公式表明，光束在进行聚焦时所得到的聚焦光斑尺寸在半波长以上。因此，这阻碍了在超分辨成像和光刻中进一步增强分辨本领。而传统的增强分辨能力方案是缩小波长或增大透镜尺寸。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本专利技术实施例提供一种基于高折射率介质基底的微透镜，能够在限定的入射波段中，得到...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于高折射率介质基底的微透镜，其特征在于：包括透光的介质基底，所述介质基底具有入射面，以供入射光线射入，入射光线的波长λ∈[2.5μm
‑
25μm]，所述介质基底具有出射面；以及平凹空气腔，所述平凹空气腔设置于所述介质基底内，所述平凹空气腔一端为平面端，另一端为呈凹口的球面端，所述平凹空气腔的平面端朝向所述入射面，所述平凹空气腔的球面端的凹口朝向所述出射面，以使入射光线通过所述平凹空气腔后聚焦成焦点，从而使焦点场强的半高全宽大小小于瑞利衍射极限公式所定义的半高全宽大小。2.根据权利要求1所述的基于高折射率介质基底的微透镜，其特征在于：入射光线的波长λ∈[3μm
‑
5μm]。3.根据权利要求1所述的基于高折射率介质基底的微透镜，其特征在于：所述平凹空气腔的球面端的曲率半径R1∈[20μm
‑
200μm]。4.根据权利要求1所述的基于高折射率介质基底的微透镜，其特征在于：所述平凹空气腔的球面端中心到介质基底的出射面的距离定义为L，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志远，莫昊燃，纪子韬，郑义栋，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：
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