电离系统的微制造真空接口技术方案

描述了一种将常压电离器接口连接到真空系统的平面元件。所述元件将静电光学器件和撇取器与可以充满预定压力气体的内室结合，并通过硅的光刻、蚀刻和连接构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及质谱，并特别涉及质谱与液相色谱或毛细管电泳的联用。本专利技术更尤其涉及用于质谱系统的微制造(microengineered )接口 器件。
技术介绍
电喷雾是一种将来自液体源例如液相色谱或毛细管电泳系统的离 子连接到真空分析系统例如质镨中的方法(Whitehouse等人，1985; US 4,531,056)。液体通常是分析物在溶剂中的稀释溶液。通过强电场的 作用在含有液体的毛细管末端引起喷雾。电场从毛细管牵引出液体成为 泰勒锥(Taylor cone),所述泰勒锥在基于液体物理性质(例如其导电 性和表面张力)和毛细管直径的阈场处发射出高速喷雾。称为纳米喷雾 毛细管的小毛细管越来越多地用于降低阈值电场和喷雾体积(US 5,788,166 )。喷雾通常包含离子和液滴的混合物，所述液滴又包含相当部分的低 质量溶剂。问题通常是在热速度下将大部分的分析物作为离子连接到真 空系统中而不污染入口或引入过量的溶剂离子或中性物背景。真空接口 实现该功能。毛细管或有孔隔膜可以限制进入真空系统的总流量。通常 称为分子分离器或撇取器的锥形有孔隔膜可以在出现于中间真空的气 体喷射中动量分离离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将来自电离器的离子束传输到真空系统的微制造接口构件，所述接口由具有至少一个图案化表面的半导体材料形成，所述材料具有限定于其中的孔以便在所述材料中提供通道，通过所述通道所述离子束可以出现在真空系统。

【技术特征摘要】
GB 2006-6-8 0611221.3;GB 2006-10-12 0620256.81.一种用于将来自电离器的离子束传输到真空系统的微制造接口构件，所述接口由具有至少一个图案化表面的半导体材料形成，所述材料具有限定于其中的孔以便在所述材料中提供通道，通过所述通道所述离子束可以出现在真空系统。2. 权利要求l的接口构件，其中所述半导体材料包括多个图案化 的表面，每一个所述表面具有限定于其中的孔。3. 权利要求2的接口构件，其中在单独的半导体层上提供所述多 个表面，以堆叠布置提供所述层，其中相邻的层通过绝缘层彼此分开。4. 前述权利要求任一项的接口构件，其中所述半导体材料具有限 定于其中的撇取器。5. 前述权利要求任一项的接口构件，构造所述接口用于电喷雾电 离系统，并由每一层通过绝缘层分开的至少三个分别图案化和蚀刻的半 导体层形成所述接口，所述第一半导体层限定第一孔，所述第二半导体层限定第二孔并被通道横切，所述通道具有第 一端 和第二端， 所述第三半导体层限定第三孔和两个另外的开口 ， 和其中当将所述三层的每一层相对于彼此布置在堆叠布置中时，所述第一、第二和第三孔限定通过所述接口的导孔，并布置所述两个另外的开口以连接到所述通道的两端。6. 权利要求5的接口构件，其中所述三个孔作为离子的导孔。7. 权利要求5或6的接口构件，其中所述三个孔作为三元静电透镜。8. 权利要求5-7任一项的接口构件，其中所述第一半导体层包括 悬空电极，所述悬空电极在所述第一和第二半导体层的彼此连接处，并 与所述第二半导体层物理分离。9. 权利要求8的接口构件，其中在提供电接触到所述悬空电极的 所述第 一半导体层的上表面中提供孔。10. 权利要求8或9的接口构件，其中所述第二半导体层包括与所 述悬空电极共位的槽构形，所述槽构形在所述第二半导体层的上表面和 所述悬空电极的下表面之间提供间隙。11. 权利要求10的接口构件，其中所述槽构形形成横切所述第二半导体层的通道的一部分。12. 权利要求5-ll任一项的接口构件，其中限定所述第一和第三 孔的所述第一和第三层的侧壁包括凸出的直立构形以集中电场。13. 权利要求12的接口构件，其中所述凸出的直立构形包括倾斜 的外表面以提高动量分离。14. 权利要求13的接口构件，其中所述凸出的直立构形的每一个 包括四个(111)晶面和四个(211)晶面。15. 权利要求5-14任一项的接口构件，其中所述通道...

【专利技术属性】
技术研发人员：理查德西姆斯，理查德威廉莫斯利，
申请(专利权)人：麦克诺塞伊可系统有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]