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描述了一种将常压电离器接口连接到真空系统的平面元件。所述元件将静电光学器件和撇取器与可以充满预定压力气体的内室结合，并通过硅的光刻、蚀刻和连接构成。...
该专利属于麦克诺塞伊可系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦克诺塞伊可系统有限公司授权不得商用。

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