用于使荫罩消磁的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于使荫罩消磁的装置，该装置包括荫罩储存架；在荫罩储存架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电（ＡＣ）产生磁场，由此去除该至少一个荫罩的磁性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种包括荫罩的装置，更具体地，涉及一种用于使荫罩消磁 的装置和方法。
技术介绍
在有机电致发光显示器件或者半导体器件中，通过使用具有预期图案的 荫罩，可以在基板上形成薄膜图案。更具体地，荫罩和基板设置在源之上，以 使荫罩设置在基板和源之间。然后，源蒸发并通过荫罩沉积在基板上。通常，在腔室中荫罩粘接到具有基板的基板支架上。荫罩和基板可以通 过木几械固定法或者磁性固定法固定到基板支架上。在机械固定法中，可以使用 销或者夹子机械地固定基板支架的侧面、荫罩和基板。在磁性固定法中，荫罩 是由磁性物质形成，并且基板和荫罩可以通过永久磁体或者电磁体磁性固定到 基板支架上。在磁性固定法中，荫罩可以被磁化，并且荫罩的相邻图案由于磁化而彼此接触，使得在基板上产生非预期的图案。图1和图2为示出根据现有技术采用磁性荫罩形成薄膜的装置的视图。 如图1所示，荫罩102设置在工艺腔室101中的掩模支架103之上。基板105设置在基板支架104之上，该基板支架104设置在工艺腔室101中的荫罩102之上。荫罩102是由不胀钢形成，该不胀钢是铁磁铁和镍的合金，并具有相对 低的热膨胀系数。与图案对应而向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于使荫罩消磁的装置，包括：荫罩储存架；在荫罩储存架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电（ＡＣ）产生磁场，由此去除所述至少一个荫罩的磁性。

【技术特征摘要】
KR 2006-6-22 10-2006-00563631、一种用于使荫罩消磁的装置，包括荫罩储存架；在荫罩储存架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电(AC)产生磁场，由此去除所述至少一个荫罩的磁性。2、 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述消磁器包括线圈和与 线圈连接的AC电源，其中所述线圈管状地安装在至少一个荫罩周围，并且所 述AC电源向线圈施加AC。3、 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述消磁器包括两个线圈 和与所述线圈连接的AC电源，其中所述线圈为环形并分别平行地设置在所述 基板盒的相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞忠根，李康柱，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]