【技术实现步骤摘要】
一种双自由度连续旋转面形自适应抛光装置
[0001]本技术涉及一种机械制造领域的自由曲面抛光装置，尤其涉及一种双自由度连续旋转面形自适应抛光装置。
技术介绍
[0002]近年来，随着光电通讯、生物医疗、天文光学等技术的飞速发展，超精密加工技术也相应的飞速发展，加工精度向着纳米与原子级别发展，如何提高抛光精度以及如何对自由曲面、复杂异型面进行抛光成为了必须被攻克的课题。例如复杂的大型望远镜反射镜，光刻掩膜，人工生物植入，低刚性钛合金航空发动机叶片，自由形状光学镜头等。
[0003]传统的加工技术已经可以制造出面形精度非常高的平面镜或球面镜，但也正因为光学系统是由球面镜构成，其成像质量也受到了或多或少的限制。若要消除球面镜的像差特性就需要增加镜片的数量，这也就不可避免的增加了镜头的体积和重量。如果在传统的球面镜上更改局部的曲率，就可以消除球面镜像差，提高聚焦和校准精度。在众多精密与超精密加工技术中，抛光工艺通常作为最后一道工序。因此抛光技术直接关系着表面质量是否达到所要求的精度。我国对复杂自由曲面的精密制造依然受制于抛光...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双自由度连续旋转面形自适应抛光装置，包括力位控制器(2)，所述力位控制器(2)连接有力位控制器连接器(3)和用于连接气泵管路和力位控制器的旋转接头(1)，所述力位控制器连接器(3)固定有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出端相连有减速器(11)，其特征在：所述减速器(11)的被动轴连接有旋转支座(6)，所述力位控制器连接器(3)和所述的旋转支座(6)之间设有用于防止电机线路和气泵管路缠绕的360
°
旋转装置(5)，所述旋转支座(6)上设有柔性抛光轮(8)，所述柔性抛光轮(8)由第二电机(9)驱动，所述柔性抛光轮(8)在所述第一电机(4)驱动下实现绕Z轴做连续旋转的公转，同时在第二电机(9)的带动下绕自身的旋转轴自转。2.根据权利要求1所述的双自由度连续旋转面形自适应抛光装置，其特征在于：所述力位控制器(2)用于控制所述柔性抛光轮(8)的Z向进给量及所述的柔性抛光轮(8)施加给工件的载荷。3.根据权利要求1所述的双自由度连续旋转面形自适应抛光装置，其特征在于：该装置通过所述力位控制器连接器(3)与设备或是动平台或是机器人相连。4.根据权利要求1所述的双自由度连续旋转面形自适应抛光装置，其特征在于：所述减速器(11)的输出端与连接轴的一端相连，所述的360
°
旋转装置(5)设置在所述的连接轴上，所述的旋转支座(6)设置在所述连接轴的另一端，所述的360
°
旋转装置包括定子和转子，所述的定子与所述的连接轴固连，所述的转子与所述的旋转支座(6)固连。5.根据权利要求4所述的双自由度连续旋转面形自适应抛光装置，其特征在于，所述连接...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。