光感测阵列模块与光收发装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光感测阵列模块与光收发装置，光感测阵列模块包括光感测阵列基板、透镜阵列及遮光层。光感测阵列基板包括排成阵列的多个像素。透镜阵列配置于光感测阵列基板的上方，且包括分别配置于这些像素上方的多个微透镜。遮光层配置于光感测阵列基板与透镜阵列之间，且包括多个通光开口。这些通光开口分别配置于这些微透镜与这些像素之间，其中入射透镜阵列的入射角至少在14度以内的光会通过这些通光开口传递至这些像素，而不会被遮光层遮挡。挡。挡。

【技术实现步骤摘要】
光感测阵列模块与光收发装置


[0001]本专利技术涉及一种光学模块与装置，且特别是涉及一种光感测阵列模块与光收发装置。

技术介绍

[0002]随着光电技术的进步，飞行时间测距装置(time
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of
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flight ranging device)或光雷达(LiDAR)被发展出来，其可测量光的飞行时间，以计算出物体的距离。
[0003]飞行时间测距装置或光雷达包括激光发射器与光感测阵列。激光发射器发出激光，以照射外界的物体。外界的物体再将激光反射回光感测阵列。
[0004]在习知的飞行时间测距装置或光雷达中，是以壳体的开口位置与大小来决定光感测阵列所侦测到的光的视场角。但当光感测阵列在壳体中的组装位置有偏差时，容易使部分的视场角被壳体遮挡，而使得边缘噪声增加。
[0005]若是使用角度滤光器(angular filter)来过滤掉信号以外的大角度光线，虽然提高了信噪比(signal
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noise ratio)，却牺牲了量子效率(quantum e本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光感测阵列模块，其特征在于，包括：光感测阵列基板，包括排成阵列的多个像素；透镜阵列，配置于所述光感测阵列基板的上方，且包括分别配置于所述多个像素上方的多个微透镜；以及遮光层，配置于所述光感测阵列基板与所述透镜阵列之间，且包括多个通光开口，所述多个通光开口分别配置于所述多个微透镜与所述多个像素之间，其中入射所述透镜阵列的入射角至少在14度以内的光会通过所述多个通光开口传递至所述多个像素，而不会被所述遮光层遮挡。2.根据权利要求1所述的光感测阵列模块，其特征在于，每一通光开口的形状与光通过对应的微透镜后在所述通光开口处所形成的光斑的形状相配合。3.根据权利要求2所述的光感测阵列模块，其特征在于，所述光斑具有至少一凹陷处，而所述通光开口的内壁具有往所述至少一凹陷处凸出的至少一凸起部。4.根据权利要求3所述的光感测阵列模块，其特征在于，所述光斑呈X形，且具有四个凹陷处，而所述通光开口的内壁具有往所述四个凹陷处凸出的四个凸起部。5.根据权利要求1所述的光感测阵列模块，其特征在于，入射所述透镜阵列的入射角至少在20度以内的光会通过所述多个通光开口传递至所述多个像素，而不会被所述遮光层遮挡。6.根据权利要求5所述的光感测阵列模块，其特征在于，入射所述透镜阵列的入射角至少在40度以内的光会通过所述多个通光开口传递至所述多个像素，而不会被所述遮光层遮挡。7.根据权利要求1所述的光感测阵列模块，其特征在于，所述遮光层为金属层。8.根据权利要求1所述的光感测阵列模块，其特征在于，所述光感测阵列基板为单光子雪崩二极管阵列基板。9.一种光收发装置，其特征在于，包括：发光元件，用以发出光束；以及光感测阵列模块，用以感测物体在反射所述光束后所产生的光，所述光感测阵列模块包括：光感测阵列基板，包括排成阵列的多个像素；透镜阵列...

【专利技术属性】
技术研发人员：范辰玮，
申请(专利权)人：神盾股份有限公司，
类型：发明
国别省市：