本申请涉及磁控溅射成膜技术的领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射的防热变形装置，其包括腔室，所述腔室内设有两个位于基材和靶材两侧的挡管，所述挡管的两端均设有封堵板，所述封堵板与挡管共同形成导热腔。本申请在腔室内设置的挡管能够对低能粒子进行阻挡，导热腔内设置的水能够对挡管上的热量进行吸收，同时能够将热量在挡管上快速分散，有效降低了挡管发生热变形的可能性，从而能够提升磁控溅射成膜的成膜质量。的成膜质量。的成膜质量。
【技术实现步骤摘要】
一种用于磁控溅射的防热变形装置
[0001]本申请涉及磁控溅射成膜技术的领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射的防热变形装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射的工作原理是指电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出氩正离子和新的电子；新电子飞向基片，氩离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。
[0003]在磁控溅射中，能量较低的粒子在撞击向靶材的途中会向两侧偏斜，从而造成粒子和能量的浪费。因此相关技术中会在磁控溅射腔室内放置位于基材和靶材两侧的L型挡板，从而阻挡部分粒子逸散。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为粒子撞击到靶材和挡板上时会有大量的能量转换成热能，从而L型挡板易发生热变形，进而会降低溅射制成的膜的均匀性。
技术实现思路
[0005]为了磁控溅射成膜的质量，本申请提供一种用于磁控溅射的防热变形装置。
[0006]本申请提供的一种用于磁控溅射的防热变形装置，采用如下的技术方案：
[0007]一种用于磁控溅射的防热变形装置，包括腔室，所述腔室内设有两个位于基材和靶材两侧的挡管，所述挡管的两端均设有封堵板，所述封堵板与挡管共同形成导热腔。
[0008]通过采用上述技术方案，挡管的其中一个侧壁用于阻挡溅射的粒子，导热腔内盛状水，水的比热容较高，能够从挡管上吸收大量的热量，从而对挡管起到保护的作用，降低了挡管因受热而变形的可能性。同时水能够将热量快速导入挡管的其他侧壁上，提升了挡管的受热均匀性，进一步提升了挡管的耐受热变形能力，从而有效提升了磁控溅射成膜的质量。
[0009]可选的，所述挡管背离另一挡管的一侧设有用于安装挡管的安装板，所述安装板设于腔室的内壁上；
[0010]所述挡管的截面为直角三角形，所述挡管包括第一直角板、第二直角板和斜板，所述挡管靠近另一挡板的侧面为斜板，所述第一直角板安装于安装板上。
[0011]通过采用上述技术方案，粒子作用到斜板上，产生的热量较少，第一直角板安装在安装板能够提升挡管的稳定性。
[0012]可选的，所述安装板内开设有扩容腔，所述第一直角板上穿设有连接管，所述连接管连通于扩容腔。
[0013]通过采用上述技术方案，扩容腔通过连接管连通于导热腔，从而扩容腔内也能够盛装部分水用于吸收挡管上的热量，并且挡管上的热量也能够传导到安装板上。
[0014]可选的，所述安装板上穿设有第一外接管，所述第一外接管的一端连通于扩容腔，
另一端位于腔室外。
[0015]通过采用上述技术方案，第一外接管连通于扩容腔，从而能够在水的温度上升到一定的程度后对水进行更换，进而能够更加有效地对挡管进行散热，进一步降低了挡管受热变形的可能性。
[0016]可选的，所述封堵板上穿设有第二外接管，所述第二外接管的一端连通于导热腔，另一端位于腔室外。
[0017]通过采用上述技术方案，第二外接管连通于导热腔，从而水能够从第一外接管进入到导热腔内，再经过导热腔和第二外接管流出到腔室外，实现了水的快速流通，进一步提升了水在挡管内的吸热效率。
[0018]可选的，所述第一外接管和第二外接管上均设有阀门。
[0019]通过采用上述技术方案，在不需要更换水时，阀门能够封闭第一外接管和第二外接管。
[0020]可选的，所述第一直角板背离安装板的一侧设有若干安装块，所述安装板上穿设有螺丝，所述螺丝与安装块螺纹连接。
[0021]通过采用上述技术方案，挡管能够通过螺丝与安装块的连接而实现与安装板的固定。
[0022]可选的，所述扩容腔的内壁上设有若干密封管，所述螺丝穿设在密封管内。
[0023]通过采用上述技术方案，密封管降低了水沿螺丝渗透到扩容腔外的可能性，同时降低了螺丝发生锈蚀的可能性。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]1.本申请在腔室内设置的挡管能够对低能粒子进行阻挡，导热腔内设置的水能够对挡管上的热量进行吸收，同时能够将热量在挡管上快速分散，有效降低了挡管发生热变形的可能性，从而能够提升磁控溅射成膜的成膜质量；
[0026]2.本申请在安装板上开设的扩容腔连通于导热腔，从而能够提升水的容量，进一步提升了对挡管的保护作用。
附图说明
[0027]图1是本申请实施例的一种用于磁控溅射的防热变形装置的总体结构示意图。
[0028]图2是本申请实施例的腔室的剖视图。
[0029]图3是本申请实施例的挡管的剖视图。
[0030]图4是本申请实施例的密封管的剖视图。
[0031]图5是图1中A部分的放大示意图。
[0032]附图标记说明：1、腔室；2、底座；3、基材；4、靶材；5、场腔；6、安装板；7、挡管；8、第一直角板；9、第二直角板；10、斜板；11、封堵板；12、导热腔；13、扩容腔；14、连接管；15、第一外接管；16、阀门；17、第二外接管；18、安装块；19、螺洞；20、螺孔；21、螺丝；22、密封管。
具体实施方式
[0033]以下结合附图1
‑
5对本申请作进一步详细说明。
[0034]本申请实施例公开一种用于磁控溅射的防热变形装置。参照图1和图2，一种用于
磁控溅射的防热变形装置包括腔室1，腔室1内设有位于腔室1底壁上的底座2，基材3放置于底座2上。腔室1的内壁上还设有位于底座2上方的靶材4，工作时，靶材4的表面会被荷能粒子轰击，靶材4上被轰击出的粒子能够沉积在基材3的表面，从而达到镀膜的效果。
[0035]参照图2和图3，底座2与靶材4之间形成场腔5，腔室1的内壁上设有两个分别位于场腔5两侧的安装板6，安装板6靠近另一安装板6的侧壁上设有挡管7，挡管7用于阻挡低能粒子。挡管7的截面为直角三角形，挡管7包括第一直角板8、第二直角板9和斜板10，第一直角板8与第二直角板9之间的夹角为直角。第一直角板8贴合在安装板6上，第二直角板9设于挡管7靠近基材3的一端上，斜板10的一侧连接于第一直角板8，另一侧连接于第二直角板9，且斜板10设于挡管7靠近另一挡管7的一侧。第一直角板8和第二直角板9均能够对斜板10起到支撑的作用，从而提升了挡管7的稳定性，降低了挡管7受热变形的可能性。
[0036]参照图2和图3，挡管7的两端均设有封堵板11，两封堵板11与挡管7共同形成导热腔12，导热腔12内盛装有水。水具有较高的比热容，能够从斜板10上吸收大量的热量，从而降低了斜板10发生热变形的可能性。同时水是良好的导热介质，能够将斜板10上的热量快速地传导到第一直角板8和第二直角板9上，从而能够提升挡管7的受热均匀性，进一步降低了挡管7发生热变形的可能性。
[0037]参照图2和图3，安装板6上内开设有扩容腔13，挡管7上穿设有连通于导热腔12的连接管14，连接管14穿过安装板6并连通于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：包括腔室(1)，所述腔室(1)内设有两个位于基材(3)和靶材(4)两侧的挡管(7)，所述挡管(7)的两端均设有封堵板(11)，所述封堵板(11)与挡管(7)共同形成导热腔(12)。2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述挡管(7)背离另一挡管(7)的一侧设有用于安装挡管(7)的安装板(6)，所述安装板(6)设于腔室(1)的内壁上；所述挡管(7)的截面为直角三角形，所述挡管(7)包括第一直角板(8)、第二直角板(9)和斜板(10)，所述挡管(7)靠近另一挡板的侧面为斜板(10)，所述第一直角板(8)安装于安装板(6)上。3.根据权利要求2所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述安装板(6)内开设有扩容腔(13)，所述第一直角板(8)上穿设有连接管(14)，所述连接管(14)连通于扩容腔(13)。4.根据权利要求3所述的一种用于磁控溅射的防热变...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文龙，王斌，张明华，
申请(专利权)人：苏州晶博特镀膜玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：
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