本申请涉及一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，包括用于与摇臂连接的连接管，连接管靠近摇臂的一端开设有安装槽，摇臂靠近所述连接管的一端位于安装槽内，安装槽的槽壁上开设有插槽，插槽靠近安装槽槽口的一端为开口，摇臂的侧壁上设有可以在插槽内滑动的固定块，插槽的侧壁上设有供固定块滑入的固定槽；固定槽内设有可以与位于固定槽内的固定块相抵的限位块，限位块位于固定块与插槽之间；固定槽的槽壁上设有用于容纳限位块的容纳槽，限位块连接有驱动件，驱动件用于驱动限位块脱离固定槽进入容纳槽或脱离容纳槽进入固定槽。本申请具有改善用人成本高的问题的效果。申请具有改善用人成本高的问题的效果。申请具有改善用人成本高的问题的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件
[0001]本申请涉及磁控溅射镀膜玻璃生产的领域，尤其是涉及一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件。
技术介绍
[0002]真空磁控溅射镀膜连续生产线是通过采用柱状旋转靶材、平面靶材的磁控溅射，从而获得所需要的LOW
‑
E膜，为了便于检测靶材溅射情况、靶材辉光是否异常等，需要在每个靶材所在的阴极位安装观察窗以及观察窗摇臂，通过手动摇动观察窗摇臂即可观察靶材溅射情况。观察窗摇臂中的主轴和摇臂腔体之间为动密封，为保证密封性，需要对观察窗摇臂进行周期性的维护保养。
[0003]授权公告号为CN208844180U的中国专利公开了适用于真空磁控溅射镀膜腔室观察窗摇臂离线捡漏的接头组件，接头组件配合的将观察窗摇臂和检漏仪接口处角阀的连接管相连，观察窗摇臂包括主轴、套设在主轴外侧的摇臂腔体以及牵涉于摇臂腔体和所述主轴之间的第一密封组件，接头组件包括套筒、用于将套筒的一侧端部与摇臂腔体配合的密封相连的第一卡箍、配合的设于套筒与摇臂腔体连接处的第二密封组件、用于将套筒的另一侧端部与连接管配合的密封相连的第二卡箍以及配合的设于套筒与连接管连接处的第三密封组件。
[0004]相关技术中的接头组件通过卡箍分别与摇臂和检漏仪上的连接管固定连接，在安装时需要一个工作人员手持摇臂，另一个工作人员使用卡箍将摇臂与接头组件连接，用人成本较高。
技术实现思路
[0005]为了改善用人成本高的问题，本申请提供一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件。
[0006]本申请提供的一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件采用如下的技术方案：
[0007]一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，包括用于与摇臂连接的连接管，所述连接管靠近所述摇臂的一端开设有所述安装槽，所述摇臂靠近所述连接管的一端位于所述安装槽内，所述安装槽的槽壁上开设有插槽，所述插槽靠近所述安装槽槽口的一端为开口，所述摇臂的侧壁上设有可以在所述插槽内滑动的固定块，所述插槽的侧壁上设有供所述固定块滑入的固定槽；所述固定槽内设有可以与位于所述固定槽内的固定块相抵的限位块，所述限位块位于所述固定块与所述插槽之间；所述固定槽的槽壁上设有用于容纳所述限位块的容纳槽，所述限位块连接有驱动件，所述驱动件用于驱动所述限位块脱离所述固定槽进入所述容纳槽或脱离所述容纳槽进入所述固定槽。
[0008]通过采用上述技术方案，在安装摇臂时，先将摇臂上的固定块与插槽对齐，随后向安装槽内插入摇臂，当摇臂的一端与安装槽的槽底相抵时，转动摇臂，使固定块移动至固定槽内，随后移动驱动件从而可以驱动限位块移出容纳槽并与固定块相抵，借助限位块将固
定块限制在固定槽内，只需一个人即可完成安装，改善了用人成本高的问题。
[0009]优选的，所述驱动件包括设置在所述连接管外侧壁上的推动环，所述推动环的内侧壁上设有限位槽，所述限位块的侧壁上设有限位柱，所述限位柱伸出所述连接管的外侧壁且位于所述限位槽内，所述限位柱远离所述限位块的一端与所述限位槽远离所述限位块的槽壁相抵；所述限位槽远离所述限位块的槽壁为倾斜设置，且该槽壁的一端与所述推动环内侧壁之间的距离小于另一端与所述推动环内侧壁之间的距离。
[0010]通过采用上述技术方案，当固定块移动至固定槽内后，移动推动环，在限位槽远离限位块的槽壁的斜面导向下，限位块会逐渐移出容纳槽并与位于固定槽内的固定块抵接，从而对固定块进行限位，方便了摇臂的安装与固定。
[0011]优选的，所述限位柱远离所述限位块的一端设置有限位球，所述推动环上设有与所述限位球滑移配合的滑槽，所述滑槽的长度方向与所述限位槽远离所述限位块的槽壁的倾斜方向相同。
[0012]通过采用上述技术方案，在限位柱上设置限位球，并在推动环上增设与限位球滑移配合的滑槽，可以减小推动环在推动过程中与限位柱之间的摩擦，使摇臂的安装与拆卸更轻松。
[0013]优选的，所述滑槽内设有弹性件，所述弹性件一端与所述滑槽的槽壁连接，所述弹性件的另一端与所述限位球连接。
[0014]通过采用上述技术方案，当限位块位于容纳槽内时，弹性件可以提供一个力来避免限位块脱离出容纳槽，从而保证固定块在通过插槽移动至固定槽内时不受阻碍，达到方便摇臂安装的目的。
[0015]优选的，所述推动环的内侧壁上设有锁定槽，所述连接管的外侧壁上设有锁定凸棱，所述锁定凸棱位于所述锁定槽内。
[0016]通过采用上述技术方案，锁定凸棱与锁定槽相互配合可以固定推动环，防止推动环意外滑动。
[0017]优选的，所述推动环的内侧壁上设有导向块，所述连接管的外侧壁上设有供所述导向块滑动的导向槽。
[0018]通过采用上述技术方案，可以确保推动环在移动时自身不会发生转动，从而保证了推动环移动时的稳定性。
[0019]优选的，所述推动环的外侧壁上设有防滑凸棱。
[0020]通过采用上述技术方案，可以在移动推动环时增加摩擦，方便移动推动环。
[0021]优选的，所述安装槽槽口处的棱边设置为倒角。
[0022]通过采用上述技术方案，可以方便摇臂插入安装槽内，从而方便摇臂的安装。
[0023]优选的，所述安装槽的槽底设有橡胶环。
[0024]通过采用上述技术方案，可以确保连接管与摇臂之间的密封性。
[0025]优选的，所述连接管内设有固定环，所述固定环的外侧壁上连接固定杆，所述固定杆远离所述固定环的一端与所述连接管的内侧壁连接。
[0026]通过采用上述技术方案，当摇臂插入安装槽时，固定环可以对摇臂起到承托的作用，提高摇臂处于安装状态时的稳定性。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0028]1.在安装槽的槽壁上设置插槽和固定槽，并且在摇臂的侧壁上设置固定块，只需将固定块经过插槽移动至固定槽内即可将摇臂安装在连接管上，同时通过移动驱动件可以带动限位块对固定块进行限位，从而对摇臂进行固定，只需一人即可完成对摇臂的安装，改善了用人成本高的问题；
[0029]2.将驱动件设置为带有滑槽的推动环，在限位块上设置可以在滑槽内滑动的限位球，通过移动推动环可以驱动限位块与固定块相互抵接或错开，能够起到方便摇臂固定的效果；
[0030]3.在连接管内增设固定环，可以提高摇臂与安装管连接时的稳定性。
附图说明
[0031]图1是本申请实施例的整体结构示意图。
[0032]图2是本申请实施例的连接管的连接结构示意图。
[0033]图3是本申请实施例的连接管与摇臂的连接结构示意图。
[0034]图4是本申请实施例中连接管的结构示意图。
[0035]图5是本申请实施例中连接管与推动环的连接结构示意图。
[0036]图6是图5中A部分的放大图。
[0037]图7是本申请实施例中另一视角的连接管的连接结构示意图。
[0038]图8是图7中B部分的放大图。
[0039]附图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，包括用于与摇臂连接的连接管(1)，其特征在于：所述连接管(1)靠近所述摇臂(2)的一端开设有安装槽(12)，所述摇臂(2)靠近所述连接管(1)的一端位于所述安装槽(12)内，所述安装槽(12)的槽壁上开设有插槽(13)，所述插槽(13)靠近所述安装槽(12)槽口的一端为开口，所述摇臂(2)的侧壁上设有可以在所述插槽(13)内滑动的固定块(21)，所述插槽(13)的侧壁上设有供所述固定块(21)滑入的固定槽(14)；所述固定槽(14)内设有可以与位于所述固定槽(14)内的固定块(21)相抵的限位块(3)，所述限位块(3)位于所述固定块(21)与所述插槽(13)之间；所述固定槽(14)的槽壁上设有用于容纳所述限位块(3)的容纳槽(15)，所述限位块(3)连接有驱动件，所述驱动件用于驱动所述限位块(3)脱离所述固定槽(14)进入所述容纳槽(15)或脱离所述容纳槽(15)进入所述固定槽(14)。2.根据权利要求1所述的一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，其特征在于：所述驱动件包括设置在所述连接管(1)外侧壁上的推动环(4)，所述推动环(4)的内侧壁上设有限位槽(41)，所述限位块(3)的侧壁上设有限位柱(31)，所述限位柱(31)伸出所述连接管(1)的外侧壁且位于所述限位槽(41)内，所述限位柱(31)远离所述限位块(3)的一端与所述限位槽(41)远离所述限位块(3)的槽壁相抵；所述限位槽(41)远离所述限位块(3)的槽壁为倾斜设置，且该槽壁的一端与所述推动环(4)内侧壁之间的距离小于另一端与所述推动环(4)内侧壁之间的距离。3.根据权利要求2所述的一种观察窗摇臂的离线捡漏装置的接头组件，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文龙，王斌，张明华，骆陈喜，
申请(专利权)人：苏州晶博特镀膜玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。