【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及照射紫外线的短弧型等放电灯,特别涉及在放电灯的 电极前端锥部设有散热用放射状槽的电极结构。
技术介绍
以往,在形成半导体的布线图案时,将短弧型等放电灯用作照射 紫外线的光源。这种放电灯,阳极经由电极棒被石英制的密封管保持在 放电空间内,在使阳极向上或向下的状态下,垂直点灯来使用。点亮放 电灯时,从阴极发送来的电子与阳极冲撞变成高热状态,阴极蒸发而消 耗。当电极消耗时,由于热对流,放电灯的内壁产生黑化,特别是从发 光管中央部起上部侧的内管壁产生黑化。为了防止这种情况发生,在阴 极或阳极的前端部设置放射状槽,以提高散热效果。另外,放电气体沿 着放射状槽流动,防止弧摇动。下面举出几个与之相关的现有技术的例 子。专利文献1中公开的放电灯用电极,长时间有效地发挥着电子放出物质的功能。如图4 (a)所示,在阴极的前端部形成特定的槽。 以增大有助于电子放射的电极前端部的有效表面面积。充分地扩展了电 子放出物质的表面。专利文献2中公开的放电灯,可防止放电灯的 照射光的摇动。如图4 (b)所示,在封入有稀有气体的密封体中,对 置配置有阴极和阳极。在阴极的前端部,设有 ...
【技术保护点】
一种放电灯,该放电灯在发光管内对置设置第一电极和第二电极,该第一电极具有圆柱状主体部和圆锥台状前端部,该第二电极在其与第一电极之间进行放电,其特征在于, 所述前端部包括:进行放电的前端面;外径比所述主体部的外径小的侧面部;以及从所述前端面沿着所述侧面部延伸但不到达所述主体部的放射状的多个槽部, 所述槽部的延长线既不与所述主体部相交,也不与所述前端部相交。
【技术特征摘要】
JP 2007-6-22 2007-1645781.一种放电灯,该放电灯在发光管内对置设置第一电极和第二电极,该第一电极具有圆柱状主体部和圆锥台状前端部,该第二电极在其与第一电极之间进行放电,其特征在于,所述前端部包括进行放电的前端面;外径比所述主体部的外径小的侧面部;以及从所述前端面沿着所述侧面部延伸但不到达所述主体部的放射状的多个槽部,所述槽部的延长线既不与所述主体部相交,也不与所述前端部相交。2. 根据权利要求1所述的放电灯,其特征在于, 所述前端部由具有所述前端面的第一圆锥台以及将所述第一圆锥台与所述主体部连起来的第二圆锥台构成,所述第一圆锥台与所述第二圆锥台相比,侧面部相对于轴的角度 更大。3. 根据权利要求l所述的放电灯,其特征在于, 所述前端部由具有所述前端面的第一圆锥台、与所述第一圆锥台相连的第二圆锥台以及将所述第二圆锥台与...
【专利技术属性】
技术研发人员:林武弘,
申请(专利权)人:株式会社ORC制作所,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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