【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种放电灯。尤其是涉及投影曝光装置、光化学反应 装置等的作为光源所使用的短弧型放电灯。现有技术公知的放电灯有各式各样的种类，而在发光管内封入有水银的高压水银灯之中，特别是短弧型的高压水银灯，由于具有放出波长365nm 的i线、波长436nm的g线的发光特性，所以被用作例如将半导体晶 圆、液晶基板等曝光的曝光装置用的光源。在这种短弧型放电灯中， 需要高输出化以便能以高处理效率来执行曝光处理。为了使高压水银灯高输出化，通常是将额定功率增大，可是在这 种情况下，通常额定电流会变大。因此，尤其是以直流方式亮灯的高 压水银灯中的阳极，会因为冲撞的电子量变多而变得高温，会有导致 熔融这样的问题。以一对电极在竖直方向上相对的姿势亮灯的高压水银灯中，也会 受到发光管内的热对流等的影响，有时位于竖直方向上方的电极会因 为电弧的热而变得高温而熔融。在电极的前端部分熔融的情况，不只是电弧变得不稳定，也会因 为构成蒸发的电极的物质附着在发光管的内壁，而导致从高压水银灯 所放射的光量降低这样的问题。为了解决以上的问题，提出了一种放电灯(参考专利文献1、 2)， 在内部所...
【技术保护点】
一种放电灯，其构成为，在发光管内以在该发光管的管轴方向上相对的方式配置的一对电极中的一个，在通过在基端侧具有开口的有底筒状的金属制的基体部、和嵌入于该基体部的内部空间内的金属制的盖部所形成的密闭空间内，封入有由熔点比构成上述基体部的金属低的金属构成的传热体，该放电灯的特征在于， 上述电极具有：沿着该电极的中心轴从上述盖部的基端部朝向上述密闭空间延伸的气体导入用流路；以及与该气体导入用流路连通并且沿着该电极的中心轴延伸的传热体捕捉空间， 该传热体捕捉空间的与上述电极的中心轴垂直的方向上的宽度，大于上述气体导入用流路。
【技术特征摘要】
JP 2007-8-20 2007-2138021.一种放电灯，其构成为，在发光管内以在该发光管的管轴方向上相对的方式配置的一对电极中的一个，在通过在基端侧具有开口的有底筒状的金属制的基体部、和嵌入于该基体部的内部空间内的金属制的盖部所形成的密闭空间内，封入有由熔点比构成上述基体部的金属低的金属构成的传热体，该放电灯的特征在于，上述电极具有沿着该电极的中心轴从上述盖部的基端部朝向上述密闭空间延伸的气体导入用流路；以及与该气体...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈沼恒夫，中岛贡，影林由郎，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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